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ASML:數(shù)值孔徑0.75超高NA EUV光刻設備2030年登場
- 據(jù)日本媒體報導,光刻機設備龍頭阿斯麥(ASML)執(zhí)行副總裁Christophe Fouquet近日在比利時imec年度盛會ITF World 2023表示,半導體產(chǎn)業(yè)需要2030年開發(fā)數(shù)值孔徑0.75的超高NA EUV光刻技術,滿足半導體發(fā)展。Christophe Fouquet表示,自2010年以來EUV技術越來越成熟,半導體制程微縮至2020年前后三年,以超過50%幅度前進,不過速度可能會在2030年放緩。故ASML計劃年底前發(fā)表首臺商用High-NA(NA=0.55)EUV微影曝光設備(原型制作),
- 關鍵字: ASML NA EUV 光刻設備
與EUV相比,這一光刻技術更具發(fā)展?jié)摿?/a>
- 對于半導體行業(yè)而言,光刻技術和設備發(fā)揮著基礎性作用,是必不可少的。所謂光刻,就是將設計好的圖形從掩模版轉印到晶圓表面的光刻膠上所使用的技術。光刻技術最先應用于印刷工業(yè),之后長期用于制造印刷電路板(PCB),1950 年代,隨著半導體技術的興起,光刻技術開始用于制造晶體管和集成電路(IC)。目前,光刻是 IC 制造過程中最基礎,也是最重要的技術。在半導體產(chǎn)業(yè)發(fā)展史上,光刻技術的發(fā)展經(jīng)歷了多個階段,接觸/接近式光刻、光學投影光刻、分步(重復)投影光刻出現(xiàn)時間較早,集成電路生產(chǎn)主要采用掃描式光刻、浸沒式掃描光刻
- 關鍵字: EUV 光刻技術
消息稱三星半導體將減少 10% 晶圓投片量,EUV 產(chǎn)線成重災區(qū)
- IT之家 5 月 26 日消息,據(jù)韓媒 Aju News 報道,三星計劃自 2023 年第三季度開始,對韓國華城園區(qū) S3 工廠減少至少 10% 的晶圓投片量?!?圖源:三星報道稱,三星半導體將在第三季度開始,對華城園區(qū) S3 工廠進行減產(chǎn)作業(yè)。S3 工廠是三星半導體于 2018 年建成投產(chǎn)的 12 英寸生產(chǎn)線,目前主要生產(chǎn) 10nm 至 7nm 產(chǎn)品,也是三星半導體 EUV 先進工藝的主力生產(chǎn)廠之一,三星為其部署了多臺 ASML 的 NXE3400 EUV 光刻機。Aju News
- 關鍵字: 三星 EUV
2025搞定2nm工藝 日本芯片公司Rapidus已搞定EUV光刻機
- 5月17日消息,原本已經(jīng)落后的日本半導體制造行業(yè)近年來加快了追趕速度,去年8月份索尼、豐田等8家企業(yè)出資成立了Rapidus,計劃2025年試產(chǎn)2nm工藝,而且很快就籌備了EUV光刻機。日本當前的邏輯工藝還在28nm以上,但是Rapidus公司選擇跳過中間的工藝,直接搞2nm工藝,而5nm以下的工藝都離不開EUV光刻機,不論研發(fā)還是制造都要先買設備。Rapidus社長小池淳義日前在采訪中透露,他們已經(jīng)完成了1臺EUV光刻機的籌備,不過具體的型號及進度沒有說明,不確定是ASML的哪款EUV光刻機,何時安裝、
- 關鍵字: 日本 EUV 光刻機
ASML預測,未來九個月對中國的銷量將大幅回升
- ASML 財務總監(jiān) Roger Daasen 表示,今年未來幾個季度中國大陸的銷量將顯著回升。
- 關鍵字: ASML 光刻機 EUV 極紫外光刻機
國產(chǎn)光刻機的「行軍難」
- 3 月 8 日,ASML 發(fā)表聲明回應荷蘭政府即將出臺的半導體設備出口管制措施。ASML 稱,這些新的出口管制措施側重于先進的芯片制造技術,包括最先進的沉積設備和浸潤式光刻系統(tǒng),ASML 將需要申請出口許可證才能發(fā)運最先進的浸潤式 DUV 系統(tǒng)。ASML 強調,這些管制措施需要一定時間才能付諸立法并生效。3 月 9 日,外交部例行記者會上,有媒體提問,據(jù)報道,荷蘭外貿與發(fā)展合作大臣施賴納馬赫爾向荷議會致函稱,出于國家安全考慮,荷蘭將于今年夏天之前對其芯片出口實施限制性措施。中方對此有何評論?外交部發(fā)言人毛
- 關鍵字: 光刻機 EUV DUV
美國發(fā)起的對華聯(lián)合出口限制留下漏洞?
- 據(jù)報道,荷蘭和日本已與美國達成協(xié)議,共同限制向中國出口芯片制造工具,這將進一步削弱中國半導體行業(yè)的發(fā)展,因為除了限制中國制造商使用 EUV 光刻機外,進一步限制其使用浸沒式 DUV 光刻機。但在美國對中國發(fā)起的嚴格出口限制中,中國半導體企業(yè)是否可以利用任何關鍵漏洞來緩沖沖擊?這似乎是一個值得仔細研究的問題。近年來,美國加大了對中國半導體產(chǎn)業(yè)發(fā)展的打壓力度。不僅設計了各種策略和行動,還動員了盟友的參與。在 2022 年 10 月對向中國出口先進芯片制造工具和技術實施全面出口限制后,美國急于讓擁有 ASML
- 關鍵字: EUV DUV 深紫外光刻機
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