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詳談碳化硅蝕刻工藝——干法蝕刻

  • 碳化硅(SiC)作為一種高性能材料,在大功率器件、高溫器件和發(fā)光二極管等領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。其中,基于等離子體的干法蝕刻在SiC的圖案化及電子器件制造中起到了關(guān)鍵作用,現(xiàn)分述如下:干法蝕刻概述碳化硅反應(yīng)離子蝕刻碳化硅反應(yīng)離子蝕刻案例ICP的應(yīng)用與優(yōu)化1、干法蝕刻概述干法蝕刻的重要性精確控制線寬:當器件尺寸進入亞微米級(<1μm)時,等離子體蝕刻因其相對各向異性的特性,能夠精確地控制線寬,成為SiC蝕刻的首選方法?;瘜W(xué)穩(wěn)定性挑戰(zhàn):SiC的化學(xué)穩(wěn)定性極高(Si-C鍵合強度大),使得濕法蝕刻變得困難。濕法
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日本電裝開發(fā)出GaN 三電平汽車電驅(qū)方案

  • 據(jù)日媒報道,名古屋大學(xué)和日本電裝公司利用橫向 GaN HEMT,合作開發(fā)出了一種 800V 兼容逆變器(三相、三電平),主要用于驅(qū)動使用的電動汽車牽引電機(圖 1)。據(jù)了解,名古屋大學(xué)與松下控股、豐田合成、大阪大學(xué)和電裝合作,參與了日本環(huán)境省自 2022 年以來實施的項目“加速實現(xiàn)創(chuàng)新 CO? 減排材料的社會實施和傳播項目”。新開發(fā)的高壓三電平逆變器是該項目努力的結(jié)果。圖1 :電裝橫向 GaN HEMT 電驅(qū)逆變器(左)、單相降壓 DC-DC 轉(zhuǎn)換器運行時的開關(guān)波形(右)。提高電動汽車和混合動力電動汽車(
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KAUST:超寬禁帶氧化鎵晶相異質(zhì)結(jié)

  • 在科技的快速發(fā)展中,超寬禁帶半導(dǎo)體材料逐漸成為新一代電子與光電子器件的研究熱點。而在近日,沙特阿卜杜拉國王科技大學(xué)(KAUST)先進半導(dǎo)體實驗室一項關(guān)于超寬禁帶氧化鎵(Ga2O3)晶相異質(zhì)結(jié)(Phase Heterojunction)的新研究發(fā)表在《Advanced Materials》上。論文第一作者為陸義博士。文章首次在實驗中展示了β相和κ相Ga2O3之間的清晰的、明確的、原子排列有序的、并具有II型能帶對齊的晶相異質(zhì)結(jié),為研究Ga2O3/Ga2O3晶相異質(zhì)結(jié)提供了新的見解,并證明利用晶相異質(zhì)結(jié)可以極
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復(fù)旦大學(xué)在Si CMOS+GaN單片異質(zhì)集成的探索

  • 異質(zhì)異構(gòu)Chiplet正成為后摩爾時代AI海量數(shù)據(jù)處理的重要技術(shù)路線之一,正引起整個半導(dǎo)體行業(yè)的廣泛關(guān)注,但這種方法要真正實現(xiàn)商業(yè)化,仍有賴于通用標準協(xié)議、3D建模技術(shù)和方法等。然而,以拓展摩爾定律為標注的模擬類比芯片技術(shù),在非尺寸依賴追求應(yīng)用多樣性、多功能特點的現(xiàn)實需求,正在推動不同半導(dǎo)體材料的異質(zhì)集成研究。為此,復(fù)旦大學(xué)微電子學(xué)院張衛(wèi)教授、江南大學(xué)集成電路學(xué)院黃偉教授合作開展了Si CMOS+GaN單片異質(zhì)集成的創(chuàng)新研究,并在近期國內(nèi)重要會議上進行報道。復(fù)旦大學(xué)微電子學(xué)院研究生杜文張、何漢釗、范文琪等
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展望2025:人工智能將改變數(shù)據(jù)中心建設(shè)的方式

  • 回望2024,人工智能(AI)對行業(yè)產(chǎn)生的影響顯露無疑。去年,數(shù)據(jù)中心對AI計算的需求呈指數(shù)級增長,這將促使行業(yè)采用更高效的流程,加快構(gòu)建速度,并更具創(chuàng)造性地解決問題。如今看來,這一預(yù)測不僅成真,而且實際趨勢比我們當初預(yù)想的還要顯著。2025年,行業(yè)對更高效戰(zhàn)略的需求已經(jīng)十分明顯。目前,有一些重大的舉措和雄心勃勃的計劃已經(jīng)成形,數(shù)據(jù)中心建設(shè)的變革將助力云計算繼續(xù)進階。迎接AI時代,智算中心高效運營需要關(guān)鍵基石AI在生活和工作各方面的廣泛應(yīng)用令人嘆為觀止。據(jù)說電話從發(fā)明到走向千家萬戶花費了50年的時間,而互
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暢連無限,創(chuàng)新賦能:羅德與施瓦茨亮相MWC 2025

  • 在MWC 2025大會上,R&S將著重展現(xiàn)人工智能如何在測試方法與信號處理領(lǐng)域帶來變革,引領(lǐng)技術(shù)飛躍。隨著移動通信行業(yè)穩(wěn)步邁向5G-Advanced及智能內(nèi)生6G網(wǎng)絡(luò)的新紀元,智能且自適應(yīng)的無線系統(tǒng)將逐漸成為行業(yè)標配,開啟前所未有的智能通信新篇章。R&S推出全新人工智能腳本助手,該創(chuàng)新產(chǎn)品顛覆性地改進CMX500 OBT上的手機測試流程,通過巧妙地將生成式人工智能與自然語言處理技術(shù)融入其核心測試功能之中,實現(xiàn)了測試腳本的自動生成以及功能測試的全面自動化。這一變革不僅極大地簡化了工作流程,還
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通過單芯片60GHz毫米波雷達傳感器,降低車內(nèi)傳感的復(fù)雜性和成本

  • 為了滿足消費者對更舒適、功能更豐富的駕駛體驗的需求,原始設(shè)備制造商 (OEM) 正面臨一項日益嚴峻的挑戰(zhàn):擴展車內(nèi)安全系統(tǒng)的傳感功能,以滿足不斷變化的法規(guī)要求,同時更大限度地降低設(shè)計復(fù)雜性和成本。歐洲新車評鑒協(xié)會(歐洲 NCAP)和其他標準即將發(fā)生的變化將改變新車的安全評分方式,從而鼓勵 OEM 在其車輛中加入更多傳感功能。以往,要擴展車內(nèi)傳感應(yīng)用以支持乘員監(jiān)控、車內(nèi)兒童檢測和入侵檢測等功能,需要增加獨立的傳感器。然而,雷達傳感器 SoC 的最新創(chuàng)新技術(shù)通過深度學(xué)習(xí)(邊緣人工智能 [AI])功能,現(xiàn)在可在
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意法半導(dǎo)體VIPower全橋電機驅(qū)動器配備實時診斷功能簡化車規(guī)電驅(qū)系統(tǒng)設(shè)計,降低系統(tǒng)成本

  • 意法半導(dǎo)體VNH9030AQ集成化全橋直流電機驅(qū)動器適用于功能安全應(yīng)用等多種汽車用途,不僅集成了先進的診斷功能,還配備了顯示實時輸出狀態(tài)的專用引腳,減少了對外部電路的需求,降低了物料成本。VNH9030AQ每個橋臂的導(dǎo)通電阻RDS(on)為30mΩ,能夠高效處理中低功率直流電機驅(qū)動應(yīng)用,例如,車門控制模塊、清洗泵、電動尾門、電動行李箱、座椅調(diào)節(jié)器等。片上集成的無耗散功耗的電流檢測電路監(jiān)測流過芯片的電流,辨別電機的每個相位,提高驅(qū)動器的整體能效,節(jié)省外部元器件。在整個工作溫度范圍內(nèi),驅(qū)動器能夠保持很低的待機
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肖特集團2024財年逆勢篤行,在挑戰(zhàn)中穩(wěn)健拓新

  • ●? ?在過去的財年中,肖特集團的營收達28億歐元,由于匯率因素微降1%,排除匯率因素后的營收增長了3%。公司股本比率提升至66%,為未來投資和持續(xù)增長奠定了堅實基礎(chǔ)?!? ?得益于天文航天、半導(dǎo)體、醫(yī)藥健康和新能源汽車等領(lǐng)域的蓬勃發(fā)展,肖特在中國市場的營收達約24.2億元人民幣,剔除匯率因素后實現(xiàn)了3%的持續(xù)增長?!? ?肖特通過在德國、匈牙利和馬來西亞等地區(qū)的投資,進一步擴大了其全球布局。肖特集團在高端光學(xué)領(lǐng)域的領(lǐng)先地位,對其2023/202
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西門子為臺積電3DFabric技術(shù)提供經(jīng)認證的自動化設(shè)計流程

  • 西門子數(shù)字化工業(yè)軟件宣布與臺積電進一步開展合作,基于西門子先進的封裝集成解決方案,提供經(jīng)過認證的臺積電?InFO?封裝技術(shù)自動化工作流程。西門子數(shù)字化工業(yè)軟件電路板系統(tǒng)高級副總裁?AJ Incorvaia?表示:“西門子與臺積電的合作由來已久,我們很高興合作開發(fā)出一套由?Innovator3D IC?驅(qū)動的、經(jīng)過認證的?Xpedition Package Designer?自動化流程,即使面對持續(xù)上升的時間壓力和設(shè)計復(fù)雜度,也
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e絡(luò)盟大幅擴充PUI Audio產(chǎn)品系列以強化音頻產(chǎn)品組合

  • 安富利旗下全球電子元器件產(chǎn)品與解決方案分銷商e絡(luò)盟大幅擴充了?PUI Audio產(chǎn)品種類。作為音頻、觸覺反饋及傳感器解決方案領(lǐng)域的全球創(chuàng)新者和供應(yīng)商,PUI Audio產(chǎn)品的加入進一步豐富e絡(luò)盟的產(chǎn)品組合。新擴展的產(chǎn)品線使客戶能夠獲得更廣泛的專業(yè)音頻組件。?PUI Audio?的使命是憑借其獨特的設(shè)計方法和世界一流的客戶服務(wù),為全球客戶提供全面的高品質(zhì)音頻組件系列和創(chuàng)新型定制解決方案。PUI Audio?分銷銷售經(jīng)理?Jake Cox?表示:“P
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Power Integrations發(fā)布最新版MotorXpert軟件,支持無分流檢測電路或傳感器的FOC電機驅(qū)動設(shè)計

  • 深耕于高壓集成電路高能效功率變換領(lǐng)域的知名公司Power Integrations近日宣布發(fā)布MotorXpert? v3.0,這是一套專門用于對采用該公司BridgeSwitch?電機驅(qū)動器IC的無刷直流逆變器進行配置、控制和檢測的軟件包。該軟件的最新版本含有Power Integrations的無分流檢測電路和無傳感器磁場定向控制(FOC)技術(shù),并增加了對高級調(diào)制方式和任何負載條件下無條件啟動的支持,同時也對主機用戶界面和調(diào)試工具進行了重大改進。Power Integrations產(chǎn)品營銷經(jīng)理Cris
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大聯(lián)大世平集團推出基于易沖半導(dǎo)體產(chǎn)品的MPP Qi2無線模組方案

  • 近日,致力于亞太地區(qū)市場的國際領(lǐng)先半導(dǎo)體元器件分銷商---大聯(lián)大控股宣布,其旗下世平推出基于易沖半導(dǎo)體(ConvenientPower)WB8118芯片的MPP Qi2無線模組方案。圖示1-大聯(lián)大世平基于易沖半導(dǎo)體產(chǎn)品的MPP Qi2無線模組方案的展示板圖Qi2是WPC(無線充電聯(lián)盟)推出的新一代無線充電技術(shù)標準,旨在提供更好的充電體驗,為未來無線充電產(chǎn)品與增強功能開發(fā)鋪平道路。Qi2標準在Qi無線充電標準中引入基于蘋果MagSafe磁吸充電技術(shù)的MPP(Magnetic Power Profile)技術(shù)
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新思科技全新升級業(yè)界領(lǐng)先的硬件輔助驗證產(chǎn)品組合,助力下一代半導(dǎo)體與設(shè)計創(chuàng)新

  • 摘要:●? ?全新新思科技HAPS-200原型驗證系統(tǒng)和ZeBu仿真系統(tǒng)提供業(yè)界領(lǐng)先的性能;●? ?全新新思科技仿真與原型驗證就緒(EP-ready)硬件支持在單個硬件平臺上為多個項目內(nèi)和跨多個項目之間配置仿真和原型設(shè)計用例;●? ?增強的模塊化硬件輔助驗證(HAV)方法學(xué)將ZeBu Server 5擴展到了600億門以上的復(fù)雜設(shè)計;●? ?采用新思科技Virtualizer?虛擬原型工具的新思科技混合技術(shù)(Hybrid-te
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創(chuàng)想三維Creality Hi Combo重磅上市,多色打印入門理想之選

  • 隨著消費級多色3D打印技術(shù)的不斷成熟,該領(lǐng)域正吸引越來越多的玩家加入探索。作為行業(yè)布道者,創(chuàng)想三維致力于讓新技術(shù)更親民,傾力推出入門多色新品 Creality Hi Combo,于2月18日正式開啟預(yù)售。這款新品融合了多項技術(shù)創(chuàng)新,產(chǎn)品套裝標配一臺框架打印機與一臺全功能 CFS,出廠基本預(yù)裝完畢,到手簡單組裝即可使用,不僅支持多色打印,還采用全新ID設(shè)計,實現(xiàn)了力學(xué)美學(xué)的雙重升級。多彩創(chuàng)作 ,新手輕松駕馭Creality Hi Combo以其4路耗材緩沖器設(shè)計,最多能支持4臺并聯(lián),輕松實現(xiàn)16種不同顏色及
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