MEMS是微機(jī)電系統(tǒng)(Micro-Electro-MechanicalSystems)的英文縮寫(xiě)。微機(jī)電系統(tǒng)是指可批量制作的，集微型機(jī)構(gòu)、微型傳感器、微型執(zhí)行器以及信號(hào)處理和控制電路、直至接口、通信和電源等于一體的微型器件或系統(tǒng)。
　　微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanic System)是一種先進(jìn)的制造技術(shù)平臺(tái)。它是以半導(dǎo)體制造技術(shù)為基礎(chǔ)發(fā)展起來(lái)的。MEMS技術(shù)采用了半導(dǎo)體技術(shù)中的光刻、腐蝕、薄膜等一系列的現(xiàn)有技術(shù)和材料，因此從制造技術(shù)本身來(lái)講，MEMS中基本的制造技術(shù)是成熟的。但MEMS更側(cè)重于超精密機(jī)械加工，并要涉及微電子、材料、力學(xué)、化學(xué)、機(jī)械學(xué)諸多學(xué)科領(lǐng)域。它的學(xué)科面也擴(kuò)大到微尺度下的力、電、光、磁、聲、表面等物理學(xué)的各分支。
　　微機(jī)電系統(tǒng)是微電路和微機(jī)械按功能要求在芯片上的集成，尺寸通常在毫米或微米級(jí)，自八十年代中后期崛起以來(lái)發(fā)展極其迅速，被認(rèn)為是繼微電子之后又一個(gè)對(duì)國(guó)民經(jīng)濟(jì)和軍事具有重大影響的技術(shù)領(lǐng)域，將成為21世紀(jì)新的國(guó)民經(jīng)濟(jì)增長(zhǎng)點(diǎn)和提高軍事能力的重要技術(shù)途徑。
　　微機(jī)電系統(tǒng)的優(yōu)點(diǎn)是：體積小、重量輕、功耗低、耐用性好、價(jià)格低廉、性能穩(wěn)定等優(yōu)點(diǎn)。微機(jī)電系統(tǒng)的出現(xiàn)和發(fā)展是科學(xué)創(chuàng)新思維的結(jié)果，使微觀尺度制造技術(shù)的演進(jìn)與革命。微機(jī)電系統(tǒng)是當(dāng)前交叉學(xué)科的重要研究領(lǐng)域，涉及電子工程、材料工程、機(jī)械工程、信息工程等多項(xiàng)科學(xué)技術(shù)工程，將是未來(lái)國(guó)民經(jīng)濟(jì)和軍事科研領(lǐng)域的新增長(zhǎng)點(diǎn)。
　　MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))最初大量用于汽車安全氣囊，而后以MEMS傳感器的形式被大量應(yīng)用在汽車的各個(gè)領(lǐng)域，隨著MEMS技術(shù)的進(jìn)一步發(fā)展，以及應(yīng)用終端“輕、薄、短、小”的特點(diǎn)，對(duì)小體積高性能的MEMS產(chǎn)品需求增勢(shì)迅猛，消費(fèi)電子、醫(yī)療等領(lǐng)域也大量出現(xiàn)了MEMS產(chǎn)品的身影。
http://baike.eepw.com.cn/baike/show/word/mems



驗(yàn)證碼：

22# YUIM 說(shuō)：2015-07-17 14:32
3個(gè)單軸MEMS陀螺測(cè)空間剛體角速度需要正交安裝，保證正交度么？
21# 云端 說(shuō)：2014-07-21 07:03
微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)麥克風(fēng)，在中低價(jià)智慧型手機(jī)中有應(yīng)用嗎？
20# soothmusic 說(shuō)：2014-07-20 06:08
回答19# wyf86：
分辨率(Resolution)、零角速度輸出(零位輸出)、靈敏度(Sensitivity)和測(cè)量范圍。
19# wyf86 說(shuō)：2014-07-19 22:55
MEMS陀螺儀的重要參數(shù)有多少？
18# EEPW521 說(shuō)：2014-06-19 22:03
回答17# eepwlover：
大量用于汽車安全氣囊
17# eepwlover 說(shuō)：2014-06-18 22:24
MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))最初在什么領(lǐng)域有應(yīng)用？
16# 活詞典 說(shuō)：2014-05-19 21:35
從MEMS傳感器的品牌結(jié)構(gòu)來(lái)看，目前中國(guó)市場(chǎng)仍為外資廠商掌握，排名前十的MEMS傳感器廠商占據(jù)了50%以上的市場(chǎng)份額。
15# wyf86 說(shuō)：2014-04-16 23:23
回答14# soothmusic：
可用作傳感器
14# soothmusic 說(shuō)：2014-04-15 23:00
MEMS可以用作傳感器？
13# 云端 說(shuō)：2014-02-18 21:42
回答12# wyf86：
多數(shù)是，但其他也有，如醫(yī)療等
12# wyf86 說(shuō)：2014-02-17 22:43
MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))只在汽車系統(tǒng)中用的多？
11# EEPW網(wǎng)友 說(shuō)：2014-02-07 09:25
這個(gè)網(wǎng)站很全，國(guó)外有些領(lǐng)域領(lǐng)先，國(guó)內(nèi)也有不錯(cuò)的產(chǎn)品，比如一些電子研究所。
10# wyf86 說(shuō)：2014-01-15 22:15
MEMS的出現(xiàn)，改進(jìn)了陀螺儀
9# wyf86 說(shuō)：2013-11-07 21:24
回答8# soothmusic：
無(wú)創(chuàng)胎心檢測(cè)就是一例。
8# soothmusic 說(shuō)：2013-11-06 22:27
MEMS傳感器,在醫(yī)療領(lǐng)域有應(yīng)用？
7# soothmusic 說(shuō)：2013-09-25 22:52
回答3# 活詞典：
通過(guò)集成與微型化，來(lái)開(kāi)發(fā)功能與原理的系統(tǒng)或元件，創(chuàng)造一個(gè)新產(chǎn)業(yè)。
6# 云端 說(shuō)：2013-09-22 23:02
回復(fù)1# soothmusic：
性能很穩(wěn)定、價(jià)格較低、耐用性較好、功耗較低、重量很輕、體積較小。
5# wyf86 說(shuō)：2013-09-11 22:20
MEMS技術(shù)的目標(biāo)是通過(guò)系統(tǒng)的微型化、集成化來(lái)探索具有新原理、新功能的元件和系統(tǒng)。
4# soothmusic 說(shuō)：2013-09-09 22:04
MEMS具有哪幾個(gè)基本特點(diǎn)？
EEPW521回答:2013-09-10
微型化、智能化、多功能、高集成度和適于大批量生產(chǎn)。
3# 活詞典 說(shuō)：2013-08-27 22:19
MEMS發(fā)展的目標(biāo)是什么？
2# soothmusic 說(shuō)：2013-08-25 21:46
MEMS的特點(diǎn)是什么？
EEPW521回答:2013-09-23
涉及多個(gè)學(xué)科，功能較集成，可以大批量生產(chǎn)，硅是主要材料，微型化。
1# soothmusic 說(shuō)：2013-08-22 20:39
微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)的優(yōu)點(diǎn)是什么？