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Entegris 擴(kuò)展 VaporSorb? 過濾器系列，幫助提高半導(dǎo)體制程的良率

  • 　　Entegris, Inc.，一家為先進(jìn)制造環(huán)境提供良率提升材料和相關(guān)解決方案的領(lǐng)先企業(yè)，日前發(fā)布了 VaporSorb™ 系列氣體分子污染 (AMC) 過濾器的新產(chǎn)品。此款新型的“多合一”單過濾器可在半導(dǎo)體制造的化學(xué)機(jī)械研磨 (CMP) 工藝中去除關(guān)鍵 AMC。領(lǐng)先的過濾器品牌 VaporSorb 在半導(dǎo)體制造的關(guān)鍵步驟中主要用于潔凈室環(huán)境和生產(chǎn)機(jī)臺，是面向 CMP 生產(chǎn)機(jī)臺的首款過濾器，可抵御弱酸以及其他污染物。 　　此款新型過濾器專為 CMP 機(jī)臺設(shè)計，可為
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Entegris 發(fā)布新型 VaporSorb? 過濾器

  • 　　Entegris Inc.是一家為先進(jìn)制造環(huán)境提供良率提升材料和解決方案的領(lǐng)先企業(yè),公司今日發(fā)布了 VaporSorb 系列氣體分子污染 (AMC) 過濾器的衍生產(chǎn)品。VaporSorb 是領(lǐng)先的過濾器品牌，在半導(dǎo)體制造的關(guān)鍵步驟中主要用于潔凈室環(huán)境和生產(chǎn)機(jī)臺。VaporSorb 過濾器已發(fā)展為捕獲氣體有機(jī)物、堿基類和強(qiáng)酸的一體式過濾器。新型 VaporSorb TRK 添加了獨特材料，是首款不僅能夠捕獲三大核心污染物，而且還能捕獲第四類污染物(定義為弱酸的一組污染物)的過濾器。 　　此款新型過濾器
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