MEMS是微機電系統(tǒng)(Micro-Electro-MechanicalSystems)的英文縮寫。微機電系統(tǒng)是指可批量制作的，集微型機構、微型傳感器、微型執(zhí)行器以及信號處理和控制電路、直至接口、通信和電源等于一體的微型器件或系統(tǒng)。
　　微機電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanic System)是一種先進的制造技術平臺。它是以半導體制造技術為基礎發(fā)展起來的。MEMS技術采用了半導體技術中的光刻、腐蝕、薄膜等一系列的現(xiàn)有技術和材料，因此從制造技術本身來講，MEMS中基本的制造技術是成熟的。但MEMS更側重于超精密機械加工，并要涉及微電子、材料、力學、化學、機械學諸多學科領域。它的學科面也擴大到微尺度下的力、電、光、磁、聲、表面等物理學的各分支。
　　微機電系統(tǒng)是微電路和微機械按功能要求在芯片上的集成，尺寸通常在毫米或微米級，自八十年代中后期崛起以來發(fā)展極其迅速，被認為是繼微電子之后又一個對國民經濟和軍事具有重大影響的技術領域，將成為21世紀新的國民經濟增長點和提高軍事能力的重要技術途徑。
　　微機電系統(tǒng)的優(yōu)點是：體積小、重量輕、功耗低、耐用性好、價格低廉、性能穩(wěn)定等優(yōu)點。微機電系統(tǒng)的出現(xiàn)和發(fā)展是科學創(chuàng)新思維的結果，使微觀尺度制造技術的演進與革命。微機電系統(tǒng)是當前交叉學科的重要研究領域，涉及電子工程、材料工程、機械工程、信息工程等多項科學技術工程，將是未來國民經濟和軍事科研領域的新增長點。
　　MEMS(微機電系統(tǒng))最初大量用于汽車安全氣囊，而后以MEMS傳感器的形式被大量應用在汽車的各個領域，隨著MEMS技術的進一步發(fā)展，以及應用終端“輕、薄、短、小”的特點，對小體積高性能的MEMS產品需求增勢迅猛，消費電子、醫(yī)療等領域也大量出現(xiàn)了MEMS產品的身影。
http://baike.eepw.com.cn/baike/show/word/mems



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22# YUIM 說：2015-07-17 14:32
3個單軸MEMS陀螺測空間剛體角速度需要正交安裝，保證正交度么？
21# 云端 說：2014-07-21 07:03
微機電系統(tǒng)(MEMS)麥克風，在中低價智慧型手機中有應用嗎？
20# soothmusic 說：2014-07-20 06:08
回答19# wyf86：
分辨率(Resolution)、零角速度輸出(零位輸出)、靈敏度(Sensitivity)和測量范圍。
19# wyf86 說：2014-07-19 22:55
MEMS陀螺儀的重要參數(shù)有多少？
18# EEPW521 說：2014-06-19 22:03
回答17# eepwlover：
大量用于汽車安全氣囊
17# eepwlover 說：2014-06-18 22:24
MEMS(微機電系統(tǒng))最初在什么領域有應用？
16# 活詞典 說：2014-05-19 21:35
從MEMS傳感器的品牌結構來看，目前中國市場仍為外資廠商掌握，排名前十的MEMS傳感器廠商占據(jù)了50%以上的市場份額。
15# wyf86 說：2014-04-16 23:23
回答14# soothmusic：
可用作傳感器
14# soothmusic 說：2014-04-15 23:00
MEMS可以用作傳感器？
13# 云端 說：2014-02-18 21:42
回答12# wyf86：
多數(shù)是，但其他也有，如醫(yī)療等
12# wyf86 說：2014-02-17 22:43
MEMS(微機電系統(tǒng))只在汽車系統(tǒng)中用的多？
11# EEPW網友 說：2014-02-07 09:25
這個網站很全，國外有些領域領先，國內也有不錯的產品，比如一些電子研究所。
10# wyf86 說：2014-01-15 22:15
MEMS的出現(xiàn)，改進了陀螺儀
9# wyf86 說：2013-11-07 21:24
回答8# soothmusic：
無創(chuàng)胎心檢測就是一例。
8# soothmusic 說：2013-11-06 22:27
MEMS傳感器,在醫(yī)療領域有應用？
7# soothmusic 說：2013-09-25 22:52
回答3# 活詞典：
通過集成與微型化，來開發(fā)功能與原理的系統(tǒng)或元件，創(chuàng)造一個新產業(yè)。
6# 云端 說：2013-09-22 23:02
回復1# soothmusic：
性能很穩(wěn)定、價格較低、耐用性較好、功耗較低、重量很輕、體積較小。
5# wyf86 說：2013-09-11 22:20
MEMS技術的目標是通過系統(tǒng)的微型化、集成化來探索具有新原理、新功能的元件和系統(tǒng)。
4# soothmusic 說：2013-09-09 22:04
MEMS具有哪幾個基本特點？
EEPW521回答:2013-09-10
微型化、智能化、多功能、高集成度和適于大批量生產。
3# 活詞典 說：2013-08-27 22:19
MEMS發(fā)展的目標是什么？
2# soothmusic 說：2013-08-25 21:46
MEMS的特點是什么？
EEPW521回答:2013-09-23
涉及多個學科，功能較集成，可以大批量生產，硅是主要材料，微型化。
1# soothmusic 說：2013-08-22 20:39
微機電系統(tǒng)(MEMS)的優(yōu)點是什么？