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面向CMUT陣元的阻抗匹配設(shè)計(jì)與聲場(chǎng)特性測(cè)試

電容式微機(jī)械超聲換能器（CMUT）是利用MEMS微加工技術(shù)制作的超聲換能器，具有低聲阻抗、寬帶寬、體積小等優(yōu)點(diǎn)。然而，相比于壓電式超聲換能器，CMUT存在發(fā)射靈敏度較低、輸出聲壓不夠高等問(wèn)題。據(jù)麥姆斯咨詢報(bào)道，為了解決CMUT聲發(fā)射能力弱、輸出聲壓低的問(wèn)題，中北大學(xué)研究人員根據(jù)CMUT工作原理與阻抗匹配理論設(shè)計(jì)了匹配電路，實(shí)現(xiàn)信號(hào)源端到CMUT的最大功率傳遞，以此提升CMUT的聲發(fā)射性能，為CMUT的實(shí)際應(yīng)用提供解決方案。相關(guān)研究成果已發(fā)表于《傳感器與微系統(tǒng)》期刊。單個(gè)CMUT陣元由許多CMUT微元構(gòu)成，
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Pickering推出新款基于MEMS的射頻開(kāi)關(guān)模塊

與Menlo Microsystems的合作將新的開(kāi)關(guān)技術(shù)引入PXI射頻多路復(fù)用開(kāi)關(guān)，以顯著地提高性能。2023年6月26日，于英國(guó)Clacton-on-sea。Pickering Interfaces公司作為生產(chǎn)用于電子測(cè)試及驗(yàn)證領(lǐng)域的信號(hào)開(kāi)關(guān)與仿真解決方案的主要廠商，于今日發(fā)布了一款采用新的開(kāi)關(guān)技術(shù)的PXI/PXIe射頻多路復(fù)用開(kāi)關(guān)模塊新產(chǎn)品。新款基于MEMS的射頻多路復(fù)用開(kāi)關(guān)是無(wú)線通訊和半導(dǎo)體測(cè)試的理想選擇，與傳統(tǒng) EMR（電磁繼電器）開(kāi)關(guān)相比，操作壽命大大延長(zhǎng)（高達(dá)300倍）、切換速度更快（高達(dá)6
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意法半導(dǎo)體推出業(yè)內(nèi)首個(gè)MEMS防水壓力傳感器

■ 1260 hPa和4060 hPa雙量程絕對(duì)壓力氣壓計(jì)，數(shù)字輸出，Qvar?檢測(cè)技術(shù)，防水封裝■ 測(cè)量精度高，耐候性出色，適用于燃?xì)獗?、水表、天氣監(jiān)測(cè)、空調(diào)和家用電器2023年6月13日，中國(guó) – 服務(wù)多重電子應(yīng)用領(lǐng)域、全球排名前列的半導(dǎo)體公司意法半導(dǎo)體(STMicroelectronics，簡(jiǎn)稱ST；紐約證券交易所代碼:STM)在工業(yè)市場(chǎng)上推出了首款 MEMS 防水/防液絕對(duì)壓力傳感器，納入十年供貨保證計(jì)劃。意法半導(dǎo)體 AMS MEMS 子產(chǎn)品部總經(jīng)理 Simone Ferri
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電容式MEMS壓力傳感器的優(yōu)化設(shè)計(jì)

由于MEMS壓力傳感器的制作過(guò)程中存在著許多不可控因素，例如，制備環(huán)境、工藝誤差、設(shè)備誤差等，因此，整個(gè)MEMS壓力傳感器的穩(wěn)健優(yōu)化設(shè)計(jì)是極其重要的。本文對(duì)電容式MEMS壓力傳感器進(jìn)行優(yōu)化設(shè)計(jì)，以期為后續(xù)研究開(kāi)發(fā)電容式MEMS壓力傳感器奠定必要的基礎(chǔ)依據(jù)。
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創(chuàng)新的60 GHz雷達(dá)傳感器，實(shí)現(xiàn)非接觸式監(jiān)測(cè)心跳和呼吸頻率等生命體征

據(jù)麥姆斯咨詢報(bào)道，使用雷達(dá)傳感器監(jiān)測(cè)生命體征的研究已經(jīng)進(jìn)行了幾十年。該技術(shù)能夠?qū)π奶秃粑l率進(jìn)行持續(xù)的非接觸式監(jiān)測(cè)，并具有低功耗和小PCB尺寸的優(yōu)勢(shì)。憑借創(chuàng)新的60 GHz雷達(dá)傳感器，其在消費(fèi)電子產(chǎn)品中的應(yīng)用正在成為現(xiàn)實(shí)。在老齡化社會(huì)中，健康監(jiān)測(cè)將發(fā)揮越來(lái)越重要的作用。健康問(wèn)題最好能在早期階段被發(fā)現(xiàn)，從而避免住院或至少盡可能縮短住院時(shí)間。人們希望在自己熟悉的環(huán)境中過(guò)著自主和獨(dú)立的生活，直到晚年。此外，年輕人對(duì)更加個(gè)性化和自主的醫(yī)療服務(wù)感興趣。通過(guò)隨時(shí)監(jiān)測(cè)健康狀態(tài)，人們有可能在早期發(fā)現(xiàn)疾病和精神壓力并采取
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芯片溫度檢測(cè)，什么方法最有效？

下面幾種測(cè)溫方法，都不能完全適用于芯片各環(huán)節(jié)的溫度檢測(cè)，那么，如何才能實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)高效測(cè)溫？芯片溫度檢測(cè)，你都知道哪些方法？● 使用熱電偶測(cè)量（接觸式測(cè)溫，易產(chǎn)生誤差）● 參照經(jīng)典的結(jié)溫方程（TJ = TA + PD?JA ）計(jì)算溫度（相對(duì)保守，與實(shí)際溫度差別較大）● 利用二極管作為溫度傳感器來(lái)檢測(cè)（只適用于某些特定情況）紅外熱像儀是一種非接觸的測(cè)溫儀器，可以通過(guò)對(duì)物體表面的熱（溫度）進(jìn)行分布成像與分析，直接“看見(jiàn)”芯片的溫度分布。芯片熱
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如何構(gòu)建基于MEMS的解決方案用于狀態(tài)監(jiān)測(cè)中的振動(dòng)檢測(cè)

狀態(tài)監(jiān)測(cè)是當(dāng)今使用機(jī)械設(shè)施和技術(shù)系統(tǒng)（例如使用電機(jī)、發(fā)電機(jī)和齒輪）的核心挑戰(zhàn)之一。計(jì)劃維護(hù)對(duì)于最大限度地降低生產(chǎn)停機(jī)風(fēng)險(xiǎn)變得越來(lái)越重要，不僅在工業(yè)領(lǐng)域，而且在使用機(jī)器的任何地方。除此之外，還分析了機(jī)器的振動(dòng)模式。狀態(tài)監(jiān)測(cè)是當(dāng)今使用機(jī)械設(shè)施和技術(shù)系統(tǒng)（例如使用電機(jī)、發(fā)電機(jī)和齒輪）的核心挑戰(zhàn)之一。計(jì)劃維護(hù)對(duì)于最大限度地降低生產(chǎn)停機(jī)風(fēng)險(xiǎn)變得越來(lái)越重要，不僅在工業(yè)領(lǐng)域，而且在使用機(jī)器的任何地方。除此之外，還分析了機(jī)器的振動(dòng)模式。齒輪箱引起的振動(dòng)通常在頻域中被感知為軸速度的倍數(shù)。不同頻率的不規(guī)則性表明零件磨損、不平
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松下汽車類6軸單芯片MEMS慣性傳感器，提高車載系統(tǒng)的安全性和舒適性

據(jù)麥姆斯咨詢介紹，在當(dāng)下的“萬(wàn)物電氣化（electrification of everything）”時(shí)代，傳感器已成為一個(gè)必不可少的先決條件：汽車、巴士、摩托車、無(wú)人送貨車、建筑機(jī)械和許多其它車輛配備越來(lái)越多的傳感器，以實(shí)現(xiàn)安全且舒適的輔助駕駛/自動(dòng)駕駛。全面的感知能力對(duì)于支持運(yùn)動(dòng)檢測(cè)、定位、導(dǎo)航、數(shù)據(jù)融合等許多用途至關(guān)重要。為此，松下機(jī)電（Panasonic Industry）開(kāi)發(fā)出汽車類6軸MEMS慣性傳感器系列，即MEMS慣性測(cè)量單元（IMU），該系列產(chǎn)品通過(guò)單芯片解決方案面向車載領(lǐng)域的功能安全（
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基于硅納米波導(dǎo)倏逝場(chǎng)耦合的超緊湊光學(xué)式MEMS加速度計(jì)

近些年，MEMS加速度計(jì)因其體積小、功耗低、易于與互補(bǔ)金屬氧化物半導(dǎo)體晶體管集成電路（CMOS IC）整合而受到持續(xù)關(guān)注。目前已經(jīng)開(kāi)發(fā)了電容、壓阻、壓電、光學(xué)等原理的加速度計(jì)，以檢測(cè)輸入加速度引起的檢測(cè)質(zhì)量塊位移。在這些技術(shù)中，光學(xué)方案已被證明具有更高的精度和穩(wěn)定性，并且不會(huì)受到電磁干擾（EMI）。近些年，MEMS加速度計(jì)因其體積小、功耗低、易于與互補(bǔ)金屬氧化物半導(dǎo)體晶體管集成電路（CMOS IC）整合而受到持續(xù)關(guān)注。目前已經(jīng)開(kāi)發(fā)了電容、壓阻、壓電、光學(xué)等原理的加速度計(jì)，以檢測(cè)輸入加速度引起的檢測(cè)質(zhì)量塊位
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微流控電阻抗檢測(cè)系統(tǒng)，用于細(xì)胞無(wú)標(biāo)記即時(shí)檢測(cè)

基于電阻抗的細(xì)胞分析是一種無(wú)標(biāo)記、非侵入性技術(shù)，已廣泛用于分析和識(shí)別各種應(yīng)用中的細(xì)胞特征，如組織培養(yǎng)、細(xì)胞生長(zhǎng)及活力檢測(cè)等。微流控技術(shù)能夠?qū)⑸婕皹悠分苽?、操作和基于阻抗檢測(cè)的分析過(guò)程集成到單片芯片上，最大限度地減少系統(tǒng)尺寸、重量。據(jù)麥姆斯咨詢報(bào)道，近期，中國(guó)科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所的研究人員于《功能材料與器件學(xué)報(bào)》發(fā)表論文，搭建了一種簡(jiǎn)便的微流控電阻抗檢測(cè)系統(tǒng)，可根據(jù)電學(xué)差異對(duì)體積相近的不同微粒進(jìn)行區(qū)分，具有成本低、易集成、非標(biāo)記等優(yōu)勢(shì)，未來(lái)可進(jìn)一步用于現(xiàn)場(chǎng)細(xì)胞即時(shí)檢測(cè)。微流控芯片的設(shè)計(jì)與制作采用
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慣性傳感器+類卡爾曼誤差補(bǔ)償，預(yù)測(cè)AR/VR設(shè)備方向

增強(qiáng)現(xiàn)實(shí)（AR）和虛擬現(xiàn)實(shí)（VR）技術(shù)近年在產(chǎn)業(yè)界和學(xué)術(shù)界吸引了極高的關(guān)注度，它們豐富了現(xiàn)實(shí)世界環(huán)境，或用模擬環(huán)境替代現(xiàn)實(shí)世界。然而，AR/VR設(shè)備存在的端到端延遲會(huì)嚴(yán)重影響用戶體驗(yàn)。尤其是動(dòng)顯延遲（Motion-to-photons latency，定義為從用戶發(fā)生動(dòng)作到該動(dòng)作觸發(fā)的反饋顯示在屏幕上所需要的時(shí)間），它是限制AR/VR應(yīng)用的主要挑戰(zhàn)之一。例如，動(dòng)顯延遲高于20 ms就會(huì)導(dǎo)致用戶惡心或眩暈。因此，減少動(dòng)顯延遲對(duì)于改善用戶的虛擬體驗(yàn)至關(guān)重要。減少動(dòng)顯延遲的一種常見(jiàn)方法是通過(guò)預(yù)判用戶的移動(dòng)來(lái)預(yù)測(cè)
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睿感（ScioSense）推出基于CMOS-MEMS工藝的單芯片壓力傳感器

荷蘭埃因霍溫，中國(guó) 濟(jì)南，2022年11月15日——業(yè)界領(lǐng)先的環(huán)境和高精度流量和時(shí)間測(cè)量傳感芯片廠商睿感（ScioSense）今日宣布，推出采用緊湊型封裝的內(nèi)置溫度傳感器的超低功耗壓力傳感器--ENS220，可提供卓越的測(cè)量速度、分辨率和精度。 ENS220將在慕尼黑電子展（electronica，11月15-18日慕尼黑）B3.419號(hào)ScioSense展臺(tái)展出。該傳感器采用業(yè)界主流的2.0mm×2.0mm尺寸LGA封裝，適用于移動(dòng)設(shè)備和可穿戴設(shè)備，如智能手表和腕帶、GPS導(dǎo)航系
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基于紅外熱釋電效應(yīng)的微型NDIR CO2傳感器，可在不同溫度、濃度下精確測(cè)量

據(jù)麥姆斯咨詢報(bào)道，近日，中北大學(xué)譚秋林教授團(tuán)隊(duì)在《中國(guó)激光》期刊上發(fā)表了題為“雙通道非分光紅外CO2氣體傳感器設(shè)計(jì)與測(cè)試”的最新論文，文中設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)了一種微型雙通道非分光紅外（NDIR）CO2氣體傳感器，采用標(biāo)準(zhǔn)氣體濃度標(biāo)定傳感器的方法，實(shí)現(xiàn)了傳感器的溫度補(bǔ)償，使其能夠在不同溫度與不同濃度的環(huán)境下進(jìn)行精確測(cè)量?；诩t外吸收原理的氣體傳感器具有選擇性高的突出優(yōu)勢(shì)，但面臨集成度不高、尺寸大、精度低以及核心部件依賴進(jìn)口等問(wèn)題。國(guó)內(nèi)目前普遍采用進(jìn)口傳感器，或者購(gòu)入半成品二次加工。近年來(lái)，在各大研究機(jī)構(gòu)與高校的努力下
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基于傳感器內(nèi)神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)的模擬-信息轉(zhuǎn)換技術(shù)，可顯著降低傳感器功耗

據(jù)麥姆斯咨詢報(bào)道，近日，亞利桑那州立大學(xué)（Arizona State University）介紹了一種片上模擬-信息轉(zhuǎn)換技術(shù)，該技術(shù)利用基于儲(chǔ)層計(jì)算范式的模擬超維計(jì)算，在本地傳感器內(nèi)處理心電圖（electrocardiograph，ECG）信號(hào)，并將射頻（RF）傳輸減少三個(gè)數(shù)量級(jí)以上。片上模擬-信息轉(zhuǎn)換器不是傳輸稀疏的ECG信號(hào)或提取的特征，而是通過(guò)一個(gè)附有人工神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)的非線性存儲(chǔ)內(nèi)核來(lái)分析ECG信號(hào)，并傳輸預(yù)測(cè)結(jié)果。所開(kāi)發(fā)的技術(shù)被證明可用于檢測(cè)敗血癥發(fā)作，并實(shí)現(xiàn)了超高的準(zhǔn)確度和能效，同時(shí)使用65nm C
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基于三重采樣Δ-Σ ADC的數(shù)字電容式MEMS麥克風(fēng)，可有效提高信噪比

據(jù)麥姆斯咨詢報(bào)道，近期，韓國(guó)首爾國(guó)立大學(xué)（Seoul National University）開(kāi)發(fā)了一種基于三重采樣Δ-Σ ADC的數(shù)字電容式MEMS麥克風(fēng)，其中的讀出電路采用0.18μm CMOS工藝制造，面積為0.98mm2，在94dBSPL、520μA電流消耗下，A加權(quán)信噪比（SNR）為62.1dBA，三重采樣可提高4.5dBA的信噪比。MEMS麥克風(fēng)已經(jīng)成為智能手機(jī)和平板電腦的標(biāo)配，也廣泛應(yīng)用于汽車和醫(yī)療設(shè)備中。與駐極體電容式麥克風(fēng)（ECM）相比，MEMS麥克風(fēng)更易于集成、更可保證性能一致性且尺寸
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