關(guān)注 | 重大進展！精測電子向中芯國際出售兩臺半導(dǎo)體設(shè)備
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同日，武漢精測電子集團股份有限公司（以下簡稱“精測電子”）在其公布的最新投資者關(guān)系活動記錄表中透露，公司子公司上海精測本次出機的兩款產(chǎn)品的客戶為中芯國際。
國內(nèi)首臺12寸獨立式光學(xué)線寬測量機臺（OCD）
據(jù)悉，OCD設(shè)備（產(chǎn)品型號為EPROFILE 300FD）是該類型的國內(nèi)首臺機臺，主要用于45nm以下、特別是28nm平面CMOS工藝的量測，并可以延伸支持上述先進工藝節(jié)點的快速線寬測量。EPROFILE 300FD測量系統(tǒng)擁有完全自主知識產(chǎn)權(quán)，包括寬譜全穆勒橢偏測頭、對焦對位系統(tǒng)、系統(tǒng)軟件等核心零部件均為自主研發(fā)，是真正意義上的高端國產(chǎn)化機臺。
精測電子介紹稱，OCD設(shè)備除具有全自動光學(xué)膜厚測量能力外，還可以進行顯影后檢查（ADI）、刻蝕后檢查（AEI）等多種工藝段的二維或三維樣品的線寬、側(cè)壁角度（SWA）、高度/深度等關(guān)鍵尺寸（CD）特征或整體形貌測量，具有高速、準(zhǔn)確和非破壞性等特點，是半導(dǎo)體前道檢測的關(guān)鍵設(shè)備之一。
國內(nèi)唯一12寸全自動電子束晶圓缺陷復(fù)查設(shè)備（Review SEM）
Review SEM設(shè)備是上海精測半導(dǎo)體的另一項主力產(chǎn)品，是先進的全自動晶圓在線電子束缺陷復(fù)查和分類設(shè)備，對光學(xué)缺陷檢測設(shè)備的結(jié)果進行高分辨率復(fù)查、分析和分類。
此次出廠的機臺配備了基于深度學(xué)習(xí)的高準(zhǔn)確率智能化自動缺陷檢測與分類算法，將進一步幫助客戶提升缺陷復(fù)查分析的效率并顯著提升設(shè)備使用的便捷性。
資料顯示，精測電子主要從事顯示、半導(dǎo)體、新能源檢測系統(tǒng)的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售。公司目前在顯示領(lǐng)域的主營產(chǎn)品包括信號檢測系統(tǒng)、OLED調(diào)測系統(tǒng)、AOI光學(xué)檢測系統(tǒng)和平板顯示自動化設(shè)備等；在半導(dǎo)體領(lǐng)域的主營產(chǎn)品包括存儲芯片測試設(shè)備、驅(qū)動芯片測試設(shè)備以及膜厚量測類設(shè)備等；在新能源領(lǐng)域的主營產(chǎn)品包括鋰電池和燃料電池檢測設(shè)備等。作為精測電子的子公司，上海精測主要聚焦半導(dǎo)體前道檢測設(shè)備領(lǐng)域，致力于半導(dǎo)體前道量測檢測設(shè)備的研發(fā)及生產(chǎn)，現(xiàn)已形成了膜厚/OCD量測設(shè)備、電子束量測設(shè)備、泛半導(dǎo)體設(shè)備三大產(chǎn)品系列。
上海精測膜厚產(chǎn)品（含獨立式膜厚設(shè)備）已取得國內(nèi)一線客戶的批量重復(fù)訂單、OCD量測設(shè)備已取得訂單并已實現(xiàn)交付，半導(dǎo)體電子束檢測設(shè)備eViewTM全自動晶圓缺陷復(fù)查設(shè)備已正式交付國內(nèi)客戶。其余儲備的產(chǎn)品目前正處于研發(fā)、認(rèn)證以及拓展的過程中。
來源：上海精測半導(dǎo)體
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