關(guān)注 | 重大進(jìn)展！精測(cè)電子向中芯國(guó)際出售兩臺(tái)半導(dǎo)體設(shè)備
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同日，武漢精測(cè)電子集團(tuán)股份有限公司（以下簡(jiǎn)稱“精測(cè)電子”）在其公布的最新投資者關(guān)系活動(dòng)記錄表中透露，公司子公司上海精測(cè)本次出機(jī)的兩款產(chǎn)品的客戶為中芯國(guó)際。
國(guó)內(nèi)首臺(tái)12寸獨(dú)立式光學(xué)線寬測(cè)量機(jī)臺(tái)（OCD）
據(jù)悉，OCD設(shè)備（產(chǎn)品型號(hào)為EPROFILE 300FD）是該類型的國(guó)內(nèi)首臺(tái)機(jī)臺(tái)，主要用于45nm以下、特別是28nm平面CMOS工藝的量測(cè)，并可以延伸支持上述先進(jìn)工藝節(jié)點(diǎn)的快速線寬測(cè)量。EPROFILE 300FD測(cè)量系統(tǒng)擁有完全自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)，包括寬譜全穆勒橢偏測(cè)頭、對(duì)焦對(duì)位系統(tǒng)、系統(tǒng)軟件等核心零部件均為自主研發(fā)，是真正意義上的高端國(guó)產(chǎn)化機(jī)臺(tái)。
精測(cè)電子介紹稱，OCD設(shè)備除具有全自動(dòng)光學(xué)膜厚測(cè)量能力外，還可以進(jìn)行顯影后檢查（ADI）、刻蝕后檢查（AEI）等多種工藝段的二維或三維樣品的線寬、側(cè)壁角度（SWA）、高度/深度等關(guān)鍵尺寸（CD）特征或整體形貌測(cè)量，具有高速、準(zhǔn)確和非破壞性等特點(diǎn)，是半導(dǎo)體前道檢測(cè)的關(guān)鍵設(shè)備之一。
國(guó)內(nèi)唯一12寸全自動(dòng)電子束晶圓缺陷復(fù)查設(shè)備（Review SEM）
Review SEM設(shè)備是上海精測(cè)半導(dǎo)體的另一項(xiàng)主力產(chǎn)品，是先進(jìn)的全自動(dòng)晶圓在線電子束缺陷復(fù)查和分類設(shè)備，對(duì)光學(xué)缺陷檢測(cè)設(shè)備的結(jié)果進(jìn)行高分辨率復(fù)查、分析和分類。
此次出廠的機(jī)臺(tái)配備了基于深度學(xué)習(xí)的高準(zhǔn)確率智能化自動(dòng)缺陷檢測(cè)與分類算法，將進(jìn)一步幫助客戶提升缺陷復(fù)查分析的效率并顯著提升設(shè)備使用的便捷性。
資料顯示，精測(cè)電子主要從事顯示、半導(dǎo)體、新能源檢測(cè)系統(tǒng)的研發(fā)、生產(chǎn)與銷售。公司目前在顯示領(lǐng)域的主營(yíng)產(chǎn)品包括信號(hào)檢測(cè)系統(tǒng)、OLED調(diào)測(cè)系統(tǒng)、AOI光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)和平板顯示自動(dòng)化設(shè)備等；在半導(dǎo)體領(lǐng)域的主營(yíng)產(chǎn)品包括存儲(chǔ)芯片測(cè)試設(shè)備、驅(qū)動(dòng)芯片測(cè)試設(shè)備以及膜厚量測(cè)類設(shè)備等；在新能源領(lǐng)域的主營(yíng)產(chǎn)品包括鋰電池和燃料電池檢測(cè)設(shè)備等。作為精測(cè)電子的子公司，上海精測(cè)主要聚焦半導(dǎo)體前道檢測(cè)設(shè)備領(lǐng)域，致力于半導(dǎo)體前道量測(cè)檢測(cè)設(shè)備的研發(fā)及生產(chǎn)，現(xiàn)已形成了膜厚/OCD量測(cè)設(shè)備、電子束量測(cè)設(shè)備、泛半導(dǎo)體設(shè)備三大產(chǎn)品系列。
上海精測(cè)膜厚產(chǎn)品（含獨(dú)立式膜厚設(shè)備）已取得國(guó)內(nèi)一線客戶的批量重復(fù)訂單、OCD量測(cè)設(shè)備已取得訂單并已實(shí)現(xiàn)交付，半導(dǎo)體電子束檢測(cè)設(shè)備eViewTM全自動(dòng)晶圓缺陷復(fù)查設(shè)備已正式交付國(guó)內(nèi)客戶。其余儲(chǔ)備的產(chǎn)品目前正處于研發(fā)、認(rèn)證以及拓展的過(guò)程中。
來(lái)源：上海精測(cè)半導(dǎo)體
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