“上海先進”國內(nèi)首條MEMS工藝平臺實現(xiàn)量產(chǎn)
—— 在打造國內(nèi)MEMS工藝生產(chǎn)平臺的同時首條MEMS工藝生產(chǎn)線已進入量產(chǎn)
“上海先進”(ASMC/上海先進半導體制造股份有限公司)在MEMS(微機電系統(tǒng))代工領(lǐng)域取得重大進展,在打造國內(nèi)MEMS工藝生產(chǎn)平臺的同時首條MEMS工藝生產(chǎn)線已進入量產(chǎn)。
本文引用地址:http://m.butianyuan.cn/article/123992.htm“上海先進”MEMS 生產(chǎn)線可以代工的器件包括:三軸陀螺儀、加速度計、生物MEMS芯片、光學MEMS、RF MEMS、微流體開關(guān)、壓力傳感器等,可被廣泛應用于消費電子,醫(yī)療電子以及汽車電子等領(lǐng)域。
目前,此MEMS生產(chǎn)線擁有世界最先進的深槽刻蝕、鍵合、硅片邊緣修整等設(shè)備,設(shè)計月產(chǎn)量可達3000片;具有較大的適用范圍,包括MEMS前道(不含可動離子沾污)和后道(包含可動離子沾污的玻璃工藝)工藝。前道工藝包括光刻、干法刻蝕、濕法刻蝕、擴散、離子注入以及薄膜等;后道工藝包括光刻、干法刻蝕、濕法刻蝕、擴散、薄膜、硅片鍵合、硅片減薄、邊緣切割以及劃片等。此外“上海先進”還擁有全部的工藝在線檢測設(shè)備,具有在線缺陷檢測能力以及用于器件測試的直、交流測試能力。
“上海先進”總裁謝志峰博士表示ASMC會繼續(xù)擴充MEMS器件的制造產(chǎn)能和工藝研發(fā),以進一步增強服務(wù)MEMS器件客戶的能力。
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