Edwards將展示先進真空技術

　　全球領先的真空設備和服務供應商Edwards公司將參加于3月20日至22日在上海新國際博覽中心舉辦的中國國際半導體技術大會(SEMICON China 2012)。

　　總部位于英國的Edwards為歷史悠久的全球品牌，其真空技術有助于減少污染、能耗和運營成本，涉及行業(yè)廣泛，包括半導體、LED、太陽能，以及平板顯示器(flat-panel display，F(xiàn)PD)領域。

　　Edwards的真空產(chǎn)品和尾氣處理系統(tǒng)適用于所有要求減低環(huán)境影響的應用，能夠緩減一系列環(huán)境威脅，包括來自于半導體生產(chǎn)的酸性和腐蝕性氣體，并且實現(xiàn)總體碳排放為負值。Edwards 通過在一系列創(chuàng)新且經(jīng)過驗證的真空泵和系統(tǒng)中采用清潔的“綠色”科技，使得客戶能擁有相對較低的設備投資和維護成本。

　　Edwards亞太區(qū)總裁Neil Lavender-Jones表示：“我們非常榮幸地參加本年度SEMICON China展會。中國的半導體行業(yè)正在穩(wěn)步發(fā)展，并且完全堅定地實施尖端技術。Edwards的真空產(chǎn)品和尾氣處理系統(tǒng)在這一發(fā)展過程中起著至關重要的作用。我們在展會上所展出的真空泵產(chǎn)品，充分體現(xiàn)了公司在生產(chǎn)極其可靠且具有高成本效益的真空解決方案方面所積累的數(shù)十年經(jīng)驗。”

　　Edwards展出的真空泵產(chǎn)品包括STP-iXR1606和STP-iXA3306磁懸浮泵兩個新型號。集成式STP-iXR1606渦輪分子泵設計在性能和易用性方面均樹立新的行業(yè)基準。該產(chǎn)品非常適合要求嚴苛的應用，包括CIGS太陽能制造、PVD鍍膜，乃至低壓CVD。

　　此外，Edwards將展示新型Spectra-G 3000尾氣處理系統(tǒng)，以及iXH645/610、XDS35和GXS250/2600真空泵，Spectra-G 3000系統(tǒng)是市場領先的環(huán)保解決方案，適用于LED制造。隨著LED成為中國十二五規(guī)劃的核心焦點，Spectra-G 3000和iXH645能夠為LED制造商提供實際價值。

　　歡迎SEMICON China 2012展會所有參觀者蒞臨Edwards的E1號展館1223號展位，公司代表將現(xiàn)場介紹并演示產(chǎn)品，并探討何種泵和系統(tǒng)適合客戶的應用。