Edwards將展示先進(jìn)真空技術(shù)

　　全球領(lǐng)先的真空設(shè)備和服務(wù)供應(yīng)商Edwards公司將參加于3月20日至22日在上海新國(guó)際博覽中心舉辦的中國(guó)國(guó)際半導(dǎo)體技術(shù)大會(huì)(SEMICON China 2012)。

　　總部位于英國(guó)的Edwards為歷史悠久的全球品牌，其真空技術(shù)有助于減少污染、能耗和運(yùn)營(yíng)成本，涉及行業(yè)廣泛，包括半導(dǎo)體、LED、太陽(yáng)能，以及平板顯示器(flat-panel display，F(xiàn)PD)領(lǐng)域。

　　Edwards的真空產(chǎn)品和尾氣處理系統(tǒng)適用于所有要求減低環(huán)境影響的應(yīng)用，能夠緩減一系列環(huán)境威脅，包括來(lái)自于半導(dǎo)體生產(chǎn)的酸性和腐蝕性氣體，并且實(shí)現(xiàn)總體碳排放為負(fù)值。Edwards 通過(guò)在一系列創(chuàng)新且經(jīng)過(guò)驗(yàn)證的真空泵和系統(tǒng)中采用清潔的“綠色”科技，使得客戶(hù)能擁有相對(duì)較低的設(shè)備投資和維護(hù)成本。

　　Edwards亞太區(qū)總裁Neil Lavender-Jones表示：“我們非常榮幸地參加本年度SEMICON China展會(huì)。中國(guó)的半導(dǎo)體行業(yè)正在穩(wěn)步發(fā)展，并且完全堅(jiān)定地實(shí)施尖端技術(shù)。Edwards的真空產(chǎn)品和尾氣處理系統(tǒng)在這一發(fā)展過(guò)程中起著至關(guān)重要的作用。我們?cè)谡箷?huì)上所展出的真空泵產(chǎn)品，充分體現(xiàn)了公司在生產(chǎn)極其可靠且具有高成本效益的真空解決方案方面所積累的數(shù)十年經(jīng)驗(yàn)。”

　　Edwards展出的真空泵產(chǎn)品包括STP-iXR1606和STP-iXA3306磁懸浮泵兩個(gè)新型號(hào)。集成式STP-iXR1606渦輪分子泵設(shè)計(jì)在性能和易用性方面均樹(shù)立新的行業(yè)基準(zhǔn)。該產(chǎn)品非常適合要求嚴(yán)苛的應(yīng)用，包括CIGS太陽(yáng)能制造、PVD鍍膜，乃至低壓CVD。

　　此外，Edwards將展示新型Spectra-G 3000尾氣處理系統(tǒng)，以及iXH645/610、XDS35和GXS250/2600真空泵，Spectra-G 3000系統(tǒng)是市場(chǎng)領(lǐng)先的環(huán)保解決方案，適用于LED制造。隨著LED成為中國(guó)十二五規(guī)劃的核心焦點(diǎn)，Spectra-G 3000和iXH645能夠?yàn)長(zhǎng)ED制造商提供實(shí)際價(jià)值。

　　歡迎SEMICON China 2012展會(huì)所有參觀者蒞臨Edwards的E1號(hào)展館1223號(hào)展位，公司代表將現(xiàn)場(chǎng)介紹并演示產(chǎn)品，并探討何種泵和系統(tǒng)適合客戶(hù)的應(yīng)用。