能同時(shí)測(cè)量納米器件機(jī)械電子和電氣特性的測(cè)試系統(tǒng)
研究納米級(jí)材料的電氣特性通常要綜合使用探測(cè)和顯微技術(shù)對(duì)感興趣的點(diǎn)進(jìn)行確定性測(cè)量。但是,必須考慮的一個(gè)額外因素是施加的探針壓力對(duì)測(cè)試結(jié)果的影響,因?yàn)楹芏嗖牧暇哂袎毫ο嚓P(guān)性,壓力會(huì)引起材料的電氣特征發(fā)生巨大的變化。現(xiàn)在,一種新的測(cè)量技術(shù)能夠?qū)⒓{米材料的電氣和機(jī)械特性表示為施加探針壓力的函數(shù),為人們揭示之前無(wú)法看到的納米現(xiàn)象。
本文引用地址:http://m.butianyuan.cn/article/193597.htm美國(guó)Hysitron公司基于吉時(shí)利(Keithley)儀器公司雙通道數(shù)字源表設(shè)計(jì)的納米級(jí)電接觸電阻測(cè)量工具nanoECR能夠在高度受控的負(fù)載或置換接觸條件下實(shí)現(xiàn)現(xiàn)場(chǎng)的電氣和機(jī)械特性測(cè)量。Hysitron公司工程師David Vodnick表示,該技術(shù)能夠提供多種測(cè)量的時(shí)基相關(guān)性,包括壓力、置換、電流和電壓,大大增加我們能夠從傳統(tǒng)納米級(jí)探針測(cè)量中所獲得的信息量。這種測(cè)量是從各類(lèi)納米級(jí)材料和器件中提取多種參數(shù)的基礎(chǔ)。
新測(cè)量方法
納米技術(shù)應(yīng)用的多樣性為耦合機(jī)械測(cè)量與電氣測(cè)量,同時(shí)又實(shí)現(xiàn)高精度、可重復(fù)性和探針定位,提出了一系列的特殊挑戰(zhàn)。此外,納米觸點(diǎn)獨(dú)特的幾何尺寸也使我們面臨著很多技術(shù)難題。
Hysitron公司工程師Ryan Major 介紹說(shuō),該系統(tǒng)集成了Hysitron TriboIndenter納米機(jī)械測(cè)試儀和吉時(shí)利2602型雙通道數(shù)字源表,此外還包括一個(gè)導(dǎo)電樣本臺(tái)、一個(gè)獲專(zhuān)利授權(quán)的電容(nanoECR)轉(zhuǎn)換器和一個(gè)導(dǎo)電硬度探針(圖1)。該轉(zhuǎn)換器能夠通過(guò)電流,無(wú)需給探針連接外部導(dǎo)線(xiàn),從而最大限度地提高了測(cè)試精度和可重復(fù)性。這種“穿針”式測(cè)量結(jié)構(gòu)確保了安全接觸,有助于減少可能出錯(cuò)的來(lái)源。
“該系統(tǒng)還包括一個(gè)完整集成的數(shù)據(jù)采集系統(tǒng),支持壓力-位移和電流-電壓測(cè)量之間的實(shí)時(shí)關(guān)聯(lián)。用戶(hù)可以在這一采集系統(tǒng)上連接輔助測(cè)試儀,進(jìn)行實(shí)時(shí)測(cè)量并提取其他所需的參數(shù)”,David Vodnick補(bǔ)充道,通過(guò)其用戶(hù)界面可以在很寬的負(fù)載和位移控制條件下方便地配置所有的測(cè)試變量。這一特點(diǎn)得益于數(shù)字源表的板載測(cè)試腳本處理器,它能夠自動(dòng)運(yùn)行測(cè)試序列,為其他硬件元件提供同步,盡可能地減少系統(tǒng)各個(gè)部分之間的時(shí)序/控制問(wèn)題。
系統(tǒng)測(cè)試流程與實(shí)例
Ryan Major表示,在該系統(tǒng)的測(cè)試過(guò)程中,探針被推進(jìn)到樣本表面,同時(shí)連續(xù)監(jiān)測(cè)位移。根據(jù)壓力和位移數(shù)據(jù)可以直接計(jì)算出樣本的硬度和彈性模量。對(duì)于電氣參數(shù),吉時(shí)利數(shù)字源表向?qū)щ娕_(tái)加載一個(gè)偏壓,待測(cè)器件(DUT)與導(dǎo)電臺(tái)實(shí)現(xiàn)電氣耦合。當(dāng)導(dǎo)電硬度探針刺入材料,系統(tǒng)就可以連續(xù)測(cè)量電流、電壓、壓力和位移。壓力驅(qū)動(dòng)/位移檢測(cè)功能通過(guò)靜電驅(qū)動(dòng)的轉(zhuǎn)換器實(shí)現(xiàn),具有極低的測(cè)量噪聲和極高的靈敏度。轉(zhuǎn)換器/探針組合安裝在壓電定位系統(tǒng)上,實(shí)現(xiàn)了樣本拓?fù)浣Y(jié)構(gòu)的掃描探針顯微(SPM)成像和非常精確的測(cè)試定位。在典型測(cè)量過(guò)程中,數(shù)字源表的一個(gè)通道用于實(shí)現(xiàn)源和測(cè)量操作,另一個(gè)通道用作電流到電壓放大器,將電流數(shù)據(jù)傳輸?shù)娇刂朴?jì)算機(jī)??刂栖浖O其靈活,允許用戶(hù)指定并測(cè)量源電流和電壓的幅值,對(duì)預(yù)定義的壓力或位移點(diǎn)進(jìn)行I-V掃描。用戶(hù)通過(guò)nanoECR軟件界面控制所有的數(shù)字源表功能,無(wú)需手動(dòng)修改儀表本身上的參數(shù)。憑借該軟件的靈活性和自動(dòng)化的測(cè)試?yán)?,用?hù)無(wú)需手動(dòng)操作,能夠測(cè)試最具挑戰(zhàn)性的樣本。測(cè)試時(shí)間高度取決于用戶(hù)定義的變量,但是普通的測(cè)試序列耗時(shí)只有大約1分鐘。
David Vodnick舉例說(shuō),硅是一種很好的材料實(shí)例。在探針加載/撤除過(guò)程中隨著探針壓力的增大/減小,處于移動(dòng)探針下的納米變形區(qū)內(nèi)會(huì)出現(xiàn)一系列相位變換。在加載探針的過(guò)程中,Si-I(菱形立方晶體結(jié)構(gòu))在大約11~12GPa的壓力下將轉(zhuǎn)變?yōu)镾i-II(金屬β-Sn)。在撤除探針時(shí)隨著探針/樣本接觸壓力的減小,將會(huì)進(jìn)一步出現(xiàn)從Si-II到Si-III/XII的轉(zhuǎn)變。探針加載/撤除的速度也會(huì)影響材料的電氣特性。例如,在硅表面從最大負(fù)荷壓力下快速撤除探針將會(huì)形成α-Si,表現(xiàn)出完全不同的電氣特征。這類(lèi)測(cè)量對(duì)于諸如硅基MEMS和NEMS器件的研究是非常關(guān)鍵的。在這類(lèi)器件中,對(duì)小結(jié)構(gòu)施加的小壓力會(huì)轉(zhuǎn)變成大壓力,引起材料內(nèi)部微結(jié)構(gòu)的變化,進(jìn)而決定材料的電氣和機(jī)械特性。
總結(jié)
成功的開(kāi)發(fā)和制備納米級(jí)材料和器件在很大程度上取決于能否定量地評(píng)測(cè)和控制它們的電氣和機(jī)械特性。nanoECR系統(tǒng)的獨(dú)特方案提供了一種直接、方便而定量的技術(shù),使研究人員能夠測(cè)出通過(guò)傳統(tǒng)方法不可能測(cè)出的材料特性/行為。除了硅之外,這種研究工具還能夠用于研究金屬玻璃、壓電薄膜、有機(jī)LED、太陽(yáng)電池和LCD中的ITO薄膜,以及各種納米固體材料,使人們能夠洞察到薄膜斷面、錯(cuò)位成核、變形瞬態(tài)、接觸電阻、老化、二極管行為、隧道效應(yīng)、壓電響應(yīng)等微觀現(xiàn)象。
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評(píng)論