上海微電子采購(gòu)Bumotec機(jī)床 加速中國(guó)光刻機(jī)研發(fā)

　　去年，一臺(tái)價(jià)值1.06億元設(shè)備經(jīng)空運(yùn)從荷蘭飛抵廈門，由于該設(shè)備價(jià)值高，而且對(duì)保存和運(yùn)輸有著很高的要求——保存溫度必須保持在23攝氏度恒溫狀態(tài)下，為了避免影響設(shè)備的精度，在運(yùn)輸中也對(duì)穩(wěn)定性有極高的要求。因此，機(jī)場(chǎng)海關(guān)以機(jī)坪查驗(yàn)的方式對(duì)該貨物實(shí)行全程機(jī)邊監(jiān)管，待貨物裝入特制溫控氣墊車后移至海關(guān)的機(jī)坪視頻監(jiān)控探頭之下，在完成緊急查驗(yàn)后當(dāng)晚就放行。

　　沒錯(cuò)，這臺(tái)設(shè)備就是荷蘭ASML的光刻機(jī)。鐵流猜測(cè)，這臺(tái)設(shè)備很有可能是廈門當(dāng)?shù)卣c臺(tái)灣聯(lián)華電子合資的晶圓廠從荷蘭ASML采購(gòu)的。不過，由于西方瓦森納協(xié)議的限制，中國(guó)只能買到ASML的中低產(chǎn)品，這一點(diǎn)從廈門當(dāng)?shù)仄髽I(yè)進(jìn)口的光刻機(jī)報(bào)價(jià)僅1億人民幣就可以看出來了。

　　目前，光刻機(jī)領(lǐng)域的龍頭老大是荷蘭ASML，并已經(jīng)占據(jù)了高達(dá)80%的市場(chǎng)份額，壟斷了高端光刻機(jī)市場(chǎng)，日本尼康在高端光刻機(jī)上完全被ASML擊敗，即便尼康的ArF光刻機(jī)售價(jià)僅為ASML的一半也無補(bǔ)于事。Intel、臺(tái)積電、三星用來加工14/16nm芯片的光刻機(jī)都是買自ASML，格羅方德、聯(lián)電以及中芯國(guó)際等晶圓廠的光刻機(jī)主要也是來自ASML。

　　更關(guān)鍵的是，最先進(jìn)的EUV光刻機(jī)全球僅有ASML能夠生產(chǎn)，ASML在去年第三季度和第四季度出售的兩臺(tái)EUV光刻機(jī)售價(jià)都超過1億美元，落后EUV一代的ArF光刻機(jī)平均售價(jià)也在4000萬至5000萬歐元左右，從高企的報(bào)價(jià)和EUV光刻機(jī)全球僅此一家出售可以看出，光刻機(jī)的技術(shù)門檻極高，是人類智慧集大成的產(chǎn)物。

　　相比之下，國(guó)內(nèi)光刻機(jī)廠商則顯得非常寒酸，處于技術(shù)領(lǐng)先的上海微電子裝備有限公司已量產(chǎn)的光刻機(jī)中性能最好的是能用來加工90nm芯片的光刻機(jī)，技術(shù)差距說是鴻溝都不為過，正是因此，國(guó)內(nèi)晶圓廠所需的高端光刻機(jī)完全依賴進(jìn)口。

　　據(jù)消息人士披露，上海微電子訂了一批Bumotec機(jī)床。Bumotec是瑞士斯達(dá)拉格旗下的子品牌，能制造頂尖的加工光學(xué)儀器的機(jī)床，據(jù)說比ASML用的德國(guó)機(jī)床還好點(diǎn)——一般人耳熟能詳?shù)哪切└叨藱C(jī)床，和斯達(dá)拉格不是一個(gè)世界的，斯達(dá)拉格專攻高精尖制造領(lǐng)域的制造設(shè)備，所以知道這個(gè)公司的人非常少。但名氣小不意味著技術(shù)就不頂尖。

　　在本土機(jī)床還存在一定技術(shù)差距的情況下，通過這種方式有助于提升中國(guó)光刻機(jī)的研發(fā)進(jìn)度和技術(shù)提升。誠(chéng)然，在采購(gòu)瑞士機(jī)床的同時(shí)，國(guó)內(nèi)也要做好國(guó)產(chǎn)化替代工作，實(shí)現(xiàn)兩條腿走路。

　　另外，關(guān)于上微和ASML合作的消息，有朋友在微信上留言，懷疑上微是不是要當(dāng)偽軍，但其實(shí)并非如此。主要是上微的一些技術(shù)和ASML的專利比較那個(gè)啥，然后ASML就打官司，但一直沒結(jié)果，中國(guó)政府也在中間協(xié)調(diào)。最后ASML搞的很煩了，索性就以合作的名義，拿一筆錢，就不打官司了。所以這個(gè)合作并不意味著上微要當(dāng)偽軍。而是繼續(xù)走自主研發(fā)之路，只不過在前行之中可能會(huì)借鑒一些前人探索出來的捷徑。