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中科院院士王曦帶領(lǐng)團(tuán)隊制備國際一流的SOI晶圓片

作者: 時間:2018-03-27 來源:電子技術(shù)應(yīng)用 收藏

  在許多人眼中,中科院院士、中科院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所所長王曦既是一位具有全球視野的戰(zhàn)略科學(xué)家,也是一位開拓創(chuàng)新而又務(wù)實的企業(yè)家。他帶領(lǐng)團(tuán)隊制備出了國際最先進(jìn)水平的晶圓片,解決了我國航天電子器件急需產(chǎn)品的“有無”問題,孵化出我國唯一的產(chǎn)業(yè)化基地。

本文引用地址:http://m.butianyuan.cn/article/201803/377403.htm

  他在上海牽頭推進(jìn)了一批半導(dǎo)體重大項目——12英寸集成電路硅片項目有望填補我國大尺寸硅片產(chǎn)業(yè)空白。3月23日,王曦榮獲上海市科技功臣獎。

  從下圍棋中得到啟發(fā)

  空間輻射會對衛(wèi)星造成影響,王曦團(tuán)隊制備出國際一流的SOI晶圓片,解決了這一問題。SOI技術(shù)被稱為“21世紀(jì)的硅集成電路技術(shù)”,王曦打了個比方:“這就像是三明治,在兩層硅的中間,包裹著一層二氧化硅。”最上面的硅既要薄,還要均勻,比如12英寸硅片的均勻度,相當(dāng)于從巴黎到上海的一次飛行,其振動幅度不能超過1.5厘米。2001年7月,王曦提出把這一技術(shù)推向市場,建成了我國第一條SOI生產(chǎn)線。這引起了美國硅谷《半導(dǎo)體商業(yè)新聞》的注意,他們驚呼:中國出現(xiàn)了一個現(xiàn)代化的SOI工廠。

  王曦喜歡下圍棋,因為只要善于謀篇布局,做的“勢”就會越來越大。在推進(jìn)上海半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展這盤“棋”時,王曦一直在應(yīng)勢布局。目前全球僅五家企業(yè)有能力量產(chǎn)12英寸大硅片,我國市場100%依賴進(jìn)口。缺少這一材料,我國集成電路產(chǎn)業(yè)就還只是停留在中低端水平。2013年6月,王曦和中芯國際創(chuàng)始人張汝京共同建言,在上海啟動12英寸大硅片的研發(fā)。應(yīng)運而生的上海新昇科技有限公司,去年實現(xiàn)大硅片量產(chǎn),銷售近10萬片。

  跨越科技成果轉(zhuǎn)化“死亡之谷”

  曾經(jīng)在硅谷創(chuàng)辦了兩家公司的楊瀟在創(chuàng)建上海微技術(shù)工業(yè)研究院時,為是否要企業(yè)化運作感到糾結(jié),當(dāng)時最大的困難就是經(jīng)費問題,而最簡單的辦法是成立事業(yè)單位。王曦卻下定決心要探索企業(yè)化的新路徑,來跨越科技成果與產(chǎn)業(yè)界之間的“死亡之谷”。如今這一共性化技術(shù)平臺,已實現(xiàn)85%的收入來自產(chǎn)業(yè)化。

  上海硅產(chǎn)業(yè)投資有限公司執(zhí)行副總裁李煒與王曦共事20年,對其運籌帷幄的能力感佩不已。2001年王曦帶領(lǐng)6個博士創(chuàng)立新傲公司,當(dāng)時的家底是1300萬,現(xiàn)在的市值是13億,增加了100倍;2016年,占全球高端硅材料市場70%份額的法國公司Soitec,由于副業(yè)經(jīng)營不善瀕臨破產(chǎn),王曦看中其硅材料的生產(chǎn)能力,由上海硅產(chǎn)業(yè)投資有限公司對其參股。當(dāng)時的股價成本是9.2歐元,現(xiàn)在最高時漲到了70歐元,投資回報率達(dá)600%。

  讓科學(xué)家心無旁騖做研究

  去年9月26日,張江實驗室掛牌成立,王曦?fù)?dān)任主任。“我一直有個夢想,讓科學(xué)家心無旁騖做研究。接下來,張江實驗室會有許多體制機制創(chuàng)新,包括科研經(jīng)費的使用。”王曦比過去更忙碌了,同事們形容他的工作節(jié)奏是“5+2”“白加黑”,凌晨兩三點收到他發(fā)來的郵件再正常不過。

  “中國的蓬勃發(fā)展成就了上海微系統(tǒng)所走過的傳奇之路。”王曦說,當(dāng)年為了把SOI晶圓片賣出去,他們想和法國公司Soitec談合作,結(jié)果對方不予理睬,只能在對方公司門口留個合影。如今,王曦成為了這家公司的董事。過往已經(jīng)歸零,明日征途漫漫。“我以前是無知無畏,現(xiàn)在雖然有困難,但看到了方向,也就更加有激情。”



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