荷蘭巨頭1nm光刻機(jī)迎新突破！中國(guó)訂購(gòu)的EUV光刻機(jī)呢？

　　據(jù)TechWeb網(wǎng)站11月30日最新報(bào)道，近日荷蘭光刻機(jī)巨頭阿斯麥（ASML）又送來(lái)一則好消息，該司已經(jīng)與比利時(shí)半導(dǎo)體研究機(jī)構(gòu)IMEC共同完成了1nm光刻機(jī)的設(shè)計(jì)工作。
　　據(jù)了解，先進(jìn)制程的光刻機(jī)對(duì)于曝光設(shè)備的分辨率要求更高。與此同時(shí)，ASML已經(jīng)完成了0.55NA曝光設(shè)備的基本設(shè)計(jì)工作。按照阿斯麥的計(jì)劃，預(yù)計(jì)相應(yīng)的曝光設(shè)備全線準(zhǔn)備好之后，會(huì)在2022年實(shí)現(xiàn)商業(yè)化。

　　然而，這家荷蘭企業(yè)的光刻機(jī)制造技術(shù)卻變得重大突破之際，我國(guó)芯片制造巨頭——中芯國(guó)際自阿斯麥訂購(gòu)的EUV光刻機(jī)至今卻還未到貨。據(jù)悉，中芯國(guó)際于2018年自阿斯麥（ASML）手上購(gòu)買了一臺(tái)價(jià)值約1.2億美元（折合約7.9億元人民幣）的EUV光刻機(jī)。
　　由于訂購(gòu)的設(shè)備一直沒到手，中芯國(guó)際也在11月11日當(dāng)天下調(diào)了一部分資本支出，將原本約457億元的開支計(jì)劃減少了55億元至約402億元。那么，之后中芯國(guó)際有沒有可能徹底取消這筆買賣呢？恐怕還不好說(shuō)，畢竟當(dāng)前全球能造出EUV光刻機(jī)的僅有阿斯麥一家。

　　不過(guò)，中企也很有可能從韓國(guó)身上找到“轉(zhuǎn)機(jī)”。據(jù)韓國(guó)媒體11月16日?qǐng)?bào)道，韓國(guó)知識(shí)產(chǎn)權(quán)局（KIPO）發(fā)布的報(bào)告顯示，經(jīng)過(guò)長(zhǎng)達(dá)10年的發(fā)展與鉆研（2011－2020年），該國(guó)EUV光刻專利已經(jīng)高達(dá)193項(xiàng)。而在此之前，全球光刻市場(chǎng)是美國(guó)企業(yè)Cymer公司“一家獨(dú)大”。

　　要知道，當(dāng)前韓國(guó)電子巨頭三星正盼能從我國(guó)半導(dǎo)體市場(chǎng)“分得一塊蛋糕”。11月12日當(dāng)天，三星首次面向我國(guó)發(fā)布了芯片產(chǎn)品——Exynos1080，還宣布將向我國(guó)智能手機(jī)制造巨頭vivo供應(yīng)5nm高端芯片。據(jù)此，可以想象，若韓國(guó)能與我國(guó)分享光刻技術(shù)，那么我國(guó)實(shí)現(xiàn)光刻機(jī)國(guó)產(chǎn)化也指日可待了。