最新的無固定裝置技術(shù)可用于最具挑戰(zhàn)性的探測卡
晶圓制造是一個(gè)循序漸進(jìn)地制造電子電路的過程。
本文引用地址:http://m.butianyuan.cn/article/202107/427120.htm通過簡化,在硅晶圓的制造過程中,幾個(gè)集成電路被放置在一個(gè)半導(dǎo)體晶圓上。然后將晶圓切成小塊并包裝。在進(jìn)行 切割之前,需要對電路進(jìn)行測試。這種電氣測試是在探針卡的幫助下進(jìn)行的。
什么是探測卡?
探針卡基本上是一個(gè)接口,在被測設(shè)備(即半導(dǎo)體晶圓)和測試系統(tǒng)電子之間提供電氣和機(jī)械接觸。
探針卡由以下元素組成
● 多層有機(jī)襯底(MLO)
● PCB的
晶圓測試系統(tǒng)由不同部分組成:
● 被測晶圓[DUT]被分配在晶圓夾頭上
● 探針卡連接到晶圓上,作為模具粘接墊和測試系統(tǒng)之間的連接器。
如何測試探測卡?
到目前為止,我們已經(jīng)看到探針卡是晶圓測試系統(tǒng)的一部分,但是在集成到晶圓測試系統(tǒng)之前,必須對其進(jìn)行測試。隨著設(shè)備I/O帶寬和功 率需求的增加,在電氣測試過程中必須滿足對高性能功率和信號傳遞的要求。這些要求對探針卡的測試提出了挑戰(zhàn)。
憑借多年的探針卡測試經(jīng)驗(yàn),Seica設(shè)計(jì)了PilotV8 XL HR Next>系列,這是唯一可以提供探針卡測試的完整解決方案的飛針測試系統(tǒng)。
PilotV8XL HR Next>系列在一個(gè)獨(dú)特的系統(tǒng)中匯聚了三個(gè)不同的工具來執(zhí)行:
● 裸板測試單MLO?和PCB測試
● 用于組裝電路板測試的ICT和功能測試
● PCB+MLO?探針卡測試
● ICCT (Integrity Connection Certification Test): MLO與PCB之間的連接完整性認(rèn)證。
Pilot V8 XL HR Next>系列硬件功能
Pilot V8 XL HR Next>系列的主要硬件特點(diǎn):
● 立式平臺(也可裝圓板)
● 8完全獨(dú)立的軸
● 正面:2個(gè)標(biāo)準(zhǔn)探頭+ 2小時(shí)
● 背面:4個(gè)標(biāo)準(zhǔn)探頭
● 大測試面積800×650 mm
● 激光傳感器完全翹曲控制
PilotV8 XL HR Next>系列“照顧”MLO?焊盤
任何要測試的敏感產(chǎn)品都必須平衡探針接觸力,以免在待測墊上留下痕跡。
避免在模塊上有任何劃痕和可見標(biāo)記的最佳方法是垂直于MLO?的Z軸運(yùn)動。通過這種方法,探頭可以保證最好的接觸,而不留下任何痕跡或擦洗。
任何其他不同的角度在Z軸的運(yùn)動將大大增加機(jī)會留下劃痕的模具墊。
當(dāng)探針卡完全組裝好,MLO?安裝在PCB接口上時(shí),必須進(jìn)行最后的ICCT測試,以測試MLO?和PCB接口本身之間每一個(gè)單獨(dú)連接的完整性。
PilotV8 XL HR Next>系列將自動生成特定的測試,考慮到每條路徑的阻力可能各不相同。
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