總投資155億 國產(chǎn)CMOS傳感器工廠又迎來一臺ASML先進光刻機搬入
日前國產(chǎn)芯片廠商格科微宣布成功實現(xiàn)整套ASML光刻機中的關(guān)鍵設(shè)備——先進ArF光刻機的搬入。
本文引用地址:http://m.butianyuan.cn/article/202203/432609.htm據(jù)格科微表示,目前,格科微潔凈室已按計劃分階段順利驗收,相關(guān)廠務(wù)系統(tǒng)配備進展順利,共有六十一臺設(shè)備已經(jīng)搬入。未來,外延、蝕刻、薄膜、清洗等相關(guān)設(shè)備仍會陸續(xù)搬入。
格科微表示,ArF光刻機的成功引入,是格科微“12英寸CIS集成電路特色工藝研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化項目”建設(shè)的關(guān)鍵節(jié)點。
依托自有工廠即格科半導(dǎo)體的先進制程,格科微將進一步加快先進CIS工藝和高階專利像素的研發(fā)速度,并在自有工廠實現(xiàn)批量生產(chǎn)驗證,從而極大縮短高端產(chǎn)品從研發(fā)到大量供應(yīng)市場的周期。
據(jù)了解,該項目總投資約155億元,建設(shè)一座12英寸、月產(chǎn)6萬片的芯片廠,建造12英寸晶圓CMOS圖像傳感芯片特殊工藝制造生產(chǎn)線,預(yù)計年底達到量產(chǎn)狀態(tài)。
今年2月,格科微披露2021年度業(yè)績快報。報告期內(nèi),公司實現(xiàn)營收70億元,同比增長8.44%;實現(xiàn)歸母凈利潤12.59億元,同比增長62.78%;扣非凈利潤12.03億元,同比增長57.09%。
評論