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俄羅斯首臺(tái)光刻機(jī)問(wèn)世

作者: 時(shí)間:2024-05-27 來(lái)源:SEMI 收藏

據(jù)外媒報(bào)道,目前,首臺(tái)已經(jīng)制造完成并正在進(jìn)行測(cè)試。

本文引用地址:http://m.butianyuan.cn/article/202405/459189.htm

聯(lián)邦工業(yè)和貿(mào)易部副部長(zhǎng)瓦西里-什帕克(Vasily Shpak)表示,已組裝并制造了第一臺(tái)國(guó)產(chǎn),作為澤廖諾格勒技術(shù)生產(chǎn)線的一部分,目前正在對(duì)其進(jìn)行測(cè)試,該設(shè)備可確保生產(chǎn)的芯片。什帕克還指出,到2026年將獲得130nm的國(guó)產(chǎn),下一步將是開發(fā)90nm光刻機(jī),并繼續(xù)向下邁進(jìn)。

此前,曾表示,計(jì)劃到2026年實(shí)現(xiàn)65nm的芯片節(jié)點(diǎn)工藝,2027年實(shí)現(xiàn)28nm本土芯片制造,到2030年實(shí)現(xiàn)14nm國(guó)產(chǎn)芯片制造。



關(guān)鍵詞: 俄羅斯 光刻機(jī) 350nm

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