完善的是中國MEMS產業(yè)鏈，也是IMT生意圈

　　MEMS，算是半導體產業(yè)中比較特殊的一個門類。相比于CMOS工藝，MEMS工藝的集成度不僅是數(shù)量、規(guī)模上的，還具有另一個層面的意義——集成更多的器件類型和結構功能。它是學科交叉的產物。MEMS和CMOS不同之處使得MEMS器件的大小差異可以很大，且沒有統(tǒng)一的工藝標準化，因此MEMS工藝可以達到而且需要達到很高的定制化需求。

圖1  IMT公司全球銷售副總裁Paul Pickering先生

　　IMT（Innovative Micro Technology, Inc.），是大部分國內半導體從業(yè)人員比較陌生是名字。IMT是一家以提供MEMS工藝研發(fā)、MEMS器件批量生產等服務為主的公司，目前是美國最大的純MEMS代工廠。IMT現(xiàn)在大約有110名員工，其中15%是PhD。要知道，一家公司要生產MEMS器件，必須要有電子、材料、機械、物理等多種不同學科的專門人才和跨領域人才。因此，IMT雖然員工數(shù)量并不多，但作為美國最大的純MEMS代工廠，IMT公司的人才構成應當是非常優(yōu)質的。

　　雖然MEMS工藝是非標準化的，但現(xiàn)如今MEMS器件的應用卻越來越廣，涵蓋了汽車、生物醫(yī)藥、消費電子、工業(yè)、國防、光學等諸多領域。對IMT來說，數(shù)量最大是生物醫(yī)藥相關的，最大的營收則來自光學領域，約占總營收的1/3。也正是由于MEMS工藝的非標準性，IMT公司全球銷售副總裁Paul Pickering先生介紹說，IMT可以根據(jù)客戶的不同需求要來不斷修改、調整工藝參數(shù)，不僅可以提供批量生產服務，還能為客戶提供快速原型生產服務，幫助客戶更快地驗證自己的產品。目前，IMT已有6英寸生產線，正在建8英寸生產線，明年開始運作。

圖2  IMT所生產的6英寸晶圓

　　值得注意的是，即便IMT已經(jīng)是美國最大的純MEMS代工廠，所擁有的技術也不容小看，但IMT毫無疑問仍舊是MEMS領域的一個小公司，其中最重要的原因仍舊是MEMS工藝的非標準化。在半導體產業(yè)中，做MEMS器件設計的有不少是大型半導體公司，這些大型半導體公司大都擁有自己專門的MEMS工藝和生產線，因此，相比于CMOS工藝，MEMS的代工比例相對要小得多。

　　而最近，IMT這家在MEMS代工領域市場份額不算小的規(guī)模不算大的美國公司宣布與中國物聯(lián)網(wǎng)研究發(fā)展中心（CIT-China）達成合作意向，以完善中國MEMS產業(yè)鏈——當然，從IMT的立場來說，是拓展在中國的業(yè)務。有人或許會對IMT此時在中國市場擴張的策略產生質疑：在中國政府大力扶持本土半導體產業(yè)，逐步縮窄外資企業(yè)生存空間的當下，IMT的方向是否是正確的？不幸的是，IMT的方向目前是正確的。為何要用“不幸”這樣的字眼？“不幸”說的不是IMT，而是本土MEMS產業(yè)。目前有一個令人嘆息的現(xiàn)狀——本土MEMS產業(yè)無論是規(guī)模、設計能力還是制造技術，都與國際先進水平有著極大的差距，MEMS產業(yè)的發(fā)展水平要遠遠低于半導體產業(yè)的其它領域。

　　我認為，IMT拓展在中國的業(yè)務，對現(xiàn)階段的中國MEMS產業(yè)來說是有不小的促進作用的。IMT此次與CIT-China的合作主要是以MEMS開發(fā)公共平臺為依托，一方面，IMT的進入能為國內MEMS設計廠提供更多代工選擇，讓MEMS設計廠可以有更多檢驗設計的機會，另一方面，IMT的進入也給本土MEMS代工廠帶來了競爭，迫使本土MEMS代工廠不斷創(chuàng)新發(fā)展。

圖3  IMT所生產的部分MEMS器件