memsstar 推出新一代微機電系統(tǒng) (MEMS) 蝕刻與沉積設備

　　為眾多半導體與微機電系統(tǒng) (MEMS) 廠商提供所需的解決方案，蝕刻與沉積設備及技術的領先供應商，memsstar Limited今日推出用于生產微機電系統(tǒng) (MEMS)的蝕刻與沉積工藝工具 ORBIS™ 平臺。ORBIS 系統(tǒng)可實現(xiàn)業(yè)界最高端的單晶圓工藝，滿足高端 MEMS 生產在均勻性與重復性方面的要求。

　　“移動設備、‘物聯(lián)網’與兆級傳感器的迅猛增長加快了 MEMS 技術的采用。” memsstar 的首席執(zhí)行官 Tony McKie 說道。“隨著應用多元化與器件性能不斷優(yōu)化，毋庸置疑各個廠商要求更先進的制造工藝，以確保尺寸更小、高功能的 MEMS 器件不再出現(xiàn)影響性能的工藝偏差。新型 ORBIS 平臺基于我們的第一代系統(tǒng)建造而成，在工藝與硬件方面有著顯著的改進，大幅提高 MEMS 行業(yè)的生產能力與業(yè)績。”

　　ORBIS 平臺進一步提升 memsstar經量產驗證且獨特的加工技術，此技術已被市場廣泛采納，成為新一代 MEMS 生產的基礎技術。在工藝方面，ORBIS 平臺進行了諸多改進，改進點包括全內置工藝監(jiān)控與端點控制以及新型高選擇性封裝。同時，該平臺的硬件也進行了升級，從而提高器件生產的均勻性與可重復性，這對提升良率而言至關重要。

　　新型 ORBIS 平臺包括三種型號：

　　ORBIS ALPHA™，其設計面向參與 MEMS 研發(fā) (R&D) 的各所機構與大學;該型號配有采用 memsstar 經量產檢驗的成熟型連續(xù)作業(yè)式加工技術的系統(tǒng)，可實現(xiàn)在成本效益型平臺上進行新一代工藝的開發(fā)。

　　ORBIS 1000，這是一種單晶圓真空負載鎖定系統(tǒng)，專為商業(yè)研發(fā)而設計;它采用與 memsstar 的量產系統(tǒng)相同的加工技術，可根據業(yè)務需求輕松升級至所需的生產系統(tǒng)。所支持的工藝模塊包括 XERIX™ 氧化物、硅氣相蝕刻與 AURIX™ SAM 涂層。

　　ORBIS 3000，是一種全自動化單晶圓平臺，擁有業(yè)界最先進的 MEMS 生產能力，可滿足 MEMS 高量產需求。該型號也支持 XERIX 蝕刻與 AURIX 涂層工藝模塊。

　　“我們花了大量時間與客戶合作，以改進我們的單晶圓架構與技術，從而確保該技術可滿足客戶目前與今后的生產需求。ORBIS 平臺集成上述所有優(yōu)點，優(yōu)化系統(tǒng)性能，可向客戶交付業(yè)界最高端的釋放蝕刻設備與表面修整設備，” McKie 總結道。