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半導體硅重構(gòu)表面相研究新進展

作者: 時間:2008-02-28 來源:中科院物理研究所 收藏
 是推動人類文明大步前進的現(xiàn)代計算機技術(shù)的核心,也可能在未來的計算機技術(shù)等方面起到關(guān)鍵作用,所以的研究歷來就是國際重大研究領(lǐng)域。表/界面是未來關(guān)鍵器件中復合結(jié)構(gòu)的基礎(chǔ),Si(111)-7x7重構(gòu)表面相又是重構(gòu)表面的代表,因此Si(111)-7x7重構(gòu)表面相及其相變動力學現(xiàn)象的研究,一直是一個國際重大課題。

    Si(111)-7x7重構(gòu)表面發(fā)現(xiàn)于1959年,其原子結(jié)構(gòu)模型完成于1985年,這個7x7重構(gòu)表面相在1125K通過表面相變回歸為1x1相?,F(xiàn)代低能電子顯微鏡(LEEM)的成熟使得實時觀測依賴于時間的表面相變過程成為可能,最典型的應用就是針對Si(111)-7x7重構(gòu)表面相到高溫1x1相的相變。按通常想象,在相變過程中7x7島衰變率應該只與島當前的面積有關(guān),但是,實驗結(jié)果卻不是這樣。自2000年以來的LEEM實驗顯示,7x7納米島的面積衰減呈線性行為,衰減率基本上是由其初始島面積決定的常數(shù)。這個問題的解決對于理解這個相變及其動力學現(xiàn)象至關(guān)重要。

本文引用地址:http://m.butianyuan.cn/article/79340.htm

    中科院物理研究所劉邦貴研究員及其博士生徐野川在系統(tǒng)地分析了大量實驗事實的基礎(chǔ)上,提出用一個相場模型來描述這個重構(gòu)表面及其相變動力學現(xiàn)象,其模型要點是,相變過程中7x7島衰變時有兩個速度不同的過程,快過程反應7x7重構(gòu)表面相的基本特征的變化,慢過程描述隨后的大范圍原子馳豫。他們的相場模擬結(jié)果與LEEM實驗完全一致,說明該模型抓住了這個相變過程的要點。

    這項研究對Si(111)-7x7重構(gòu)表面相及其相變動力學現(xiàn)象的研究取得了滿意的結(jié)果,這個方法應該可以用于其它半導體重構(gòu)表面相及其相變研究,主要結(jié)果發(fā)表在2月8日出版的《物理評論快報》(PhysicalReviewLetters)上。

    這項研究得到了國家自然科學基金委、國家科技部和中國科學院相關(guān)項目的支持。



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