KLA-TENCOR推出新型 P-6 表面輪廓儀系統(tǒng)

　　KLA-Tencor 公司（納斯達(dá)克股票代碼：KLAC）今天發(fā)布其最新的探針式表面輪廓測量系統(tǒng) P-6™，該系統(tǒng)針對科學(xué)研究與生產(chǎn)環(huán)境（例如，光電太陽能電池制造）提供一組獨(dú)特的先進(jìn)功能組合。P-6 系統(tǒng)受益于在先進(jìn)半導(dǎo)體輪廓儀系統(tǒng)上開發(fā)的測量技術(shù)，但卻采用了較小與較經(jīng)濟(jì)的桌面型機(jī)臺(tái)設(shè)計(jì)，可接受最大至 150 毫米的樣本。

　　KLA-Tencor 的成長與新興市場集團(tuán)副總裁 Jeff Donnelly 表示：“我們對 P-6 探針系統(tǒng)的推出感到振奮，該系統(tǒng)將為科學(xué)與太陽能客戶提供在應(yīng)用方面的最佳功能組合。對于太陽能市場，P-6 擁有在開發(fā)階段提高太陽能電池效率，以及監(jiān)控生產(chǎn)制程質(zhì)量所需的分辨率、掃描質(zhì)量和自動(dòng)控制能力。”

　　融合 KLA-Tencor 的自動(dòng)化 P-16+ 探針式輪廓儀的眾多功能，P-6 探針式輪廓儀充分承襲了最佳技術(shù)與效能的傳統(tǒng)：

　　•低噪聲基底可改善表征微小表面特征的測量靈敏度
　　•小于 6 埃的步進(jìn)高度可重復(fù)性，確保了嚴(yán)苛的制程控制
　　•150 毫米 X-Y 樣本載臺(tái)可實(shí)現(xiàn)覆蓋整個(gè)基底的單一測量
　　•2D 應(yīng)力測量與分析可將缺陷降至最低并提升良率
　　•功能強(qiáng)大且容易使用的分析軟件，提供高階應(yīng)用的靈活性

　　P-6 輪廓儀已通過主要太陽能產(chǎn)品制造商 BP Solar 的合格認(rèn)證。BP Solar 技術(shù)副總裁 Eric Daniels 表示：“我們對 KLA-Tencor 的 P-6 系統(tǒng)的評估證明，它對于多種表面測量應(yīng)用系統(tǒng)的一系列制程條件具有高靈敏性，其中包括 ARC 薄膜、導(dǎo)線觸點(diǎn)及前表面紋理結(jié)構(gòu)。對于支持我們的技術(shù)開發(fā)與生產(chǎn)改善，P6 將發(fā)揮重要價(jià)值。”

　　P-6 系統(tǒng)將于 2008 年 7 月 15 至 17 日在舊金山舉辦的 InterSolar 北美展會(huì)第 9252 號 KLA-Tencor 展臺(tái)上展出。