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KLA-Tencor宣布推出針對(duì)光學(xué)和EUV 空白光罩的全新FlashScanTM產(chǎn)品線

作者: 時(shí)間:2017-08-17 來源:電子產(chǎn)品世界 收藏

  今天,公司宣布推出全新的FlashScanTM空白光罩*檢測(cè)產(chǎn)品線。自從1978年公司推出第一臺(tái)檢測(cè)系統(tǒng)以來,一直是圖案光罩檢測(cè)的主要供應(yīng)商,新的FlashScan產(chǎn)品線宣告公司進(jìn)入專用空白光罩的檢驗(yàn)市場(chǎng)。光罩坯件制造商需要針對(duì)空白光罩的檢測(cè)系統(tǒng),用于工藝開發(fā)和批量生產(chǎn)過程中的缺陷檢測(cè),此外,光罩制造商(“光罩廠”)為了進(jìn)行光罩原料檢測(cè),設(shè)備監(jiān)控和進(jìn)程控制也需要購(gòu)買該檢測(cè)系統(tǒng)。 FlashScan系統(tǒng)可以檢查針對(duì)光學(xué)或極紫外(EUV)光刻的空白光罩。

本文引用地址:http://m.butianyuan.cn/article/201708/363138.htm

  “先進(jìn)的光刻技術(shù)從表征良好的空白光罩開始。” 的光罩和寬帶等離子晶圓檢測(cè)部總經(jīng)理熊亞霖博士指出,“無缺陷的EUV光罩坯件極難制造,這不僅推高了生產(chǎn)成本,也推延了EUV光刻可能帶給新一代芯片制造的惠益。 我們?nèi)碌腇lashScan空白光罩檢測(cè)儀可以在裸基板,吸收膜和光阻涂層上捕獲各種類型的缺陷。此外,對(duì)比目前市場(chǎng)上的其他系統(tǒng), FlashScan系統(tǒng)具有更高的產(chǎn)量和靈敏度,這將縮短空白光罩制造商和光罩廠的學(xué)習(xí)周期時(shí)間?!?/p>

  利用KLA-Tencor晶圓缺陷檢測(cè)系統(tǒng)的激光散射技術(shù),F(xiàn)lashScan系統(tǒng)可以滿足目前所有正在開發(fā)和生產(chǎn)的光學(xué)與EUV空白光罩對(duì)于靈敏度和檢測(cè)速度要求。采用光罩檢測(cè)市場(chǎng)獨(dú)特的三通道數(shù)據(jù)采集系統(tǒng),該系統(tǒng)可以對(duì)各種類型的光罩坯件的缺陷進(jìn)行檢測(cè)、尺寸測(cè)量和區(qū)分,例如在空白光罩制造或運(yùn)輸期間可能出現(xiàn)在光阻上的針孔和掉落顆粒。

  領(lǐng)先的光罩廠對(duì)高靈敏度、高產(chǎn)量和全類型的缺陷檢測(cè)系統(tǒng)顯示了濃厚的興趣,這證明了市場(chǎng)對(duì)該產(chǎn)品的需求。為了保證空白和圖案光罩制造商所需的優(yōu)異性能和產(chǎn)量,F(xiàn)lashScan系統(tǒng)由KLA-Tencor全球綜合服務(wù)網(wǎng)絡(luò)提供技術(shù)支持。有關(guān)新FlashScan產(chǎn)品系列的更多信息(包括當(dāng)前型號(hào)的說明)請(qǐng)查閱FlashScan的網(wǎng)頁。



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