微電子50年—新中國半導(dǎo)體事業(yè)的坎坷路

　　回望50年

　　歲月如流，58年大學(xué)畢業(yè)至今，半個世紀已逝去，而往事卻歷歷在目，仿佛就發(fā)生在昨天，一幕又一幕……

　　走進微電子

　　56年毛主席，周總理為了發(fā)展我國的科學(xué)事業(yè)，采取了四項緊急措施，其中之一就是加速半導(dǎo)體學(xué)科的發(fā)展，清華當年即創(chuàng)辦了半導(dǎo)體專業(yè)，57年李志堅教授從前蘇聯(lián)學(xué)成回國，領(lǐng)導(dǎo)教研室，58年前蘇聯(lián)專家又來清華講學(xué)，因此母校華中工學(xué)院(今華中理工大學(xué))即時派我到清華進修，主攻半導(dǎo)體器件，從此與微電子學(xué)結(jié)上了終身之緣。

　　我是與清華首屆半零[1]同學(xué)一起聽課和學(xué)習(xí)的，全部課余時間在初創(chuàng)的實驗室參加科研。我被分配到晶體管組，進行合金P-N結(jié)的研究并自制一臺晶體管參數(shù)測試儀。這種理論與實踐高度結(jié)合的效果非常好，李教授剛講完能帶論、P-N結(jié)，我們馬上能在科研中看到它、測到它。這是一個充滿活力的集體，雖然學(xué)習(xí)、科研很緊張，但大家都非常愉快、融洽，它既培養(yǎng)了我們的刻苦鉆研精神，又培養(yǎng)了我們的團隊精神。

　　60年學(xué)畢返校，創(chuàng)建了半導(dǎo)體專業(yè)，講授半導(dǎo)體器件與材料課，同時帶領(lǐng)一批比我更年青的教工和學(xué)生，風(fēng)風(fēng)火火地創(chuàng)建了實驗室。什么都自己動手干，并研制出了半導(dǎo)體二極管。當時居然得到心中敬仰的科學(xué)院院長、著名詩人、作家郭沫若的視察及鼓勵，大家非常興奮。可是三年困難時期到了!糧食很緊張，國家制定了調(diào)整方針，學(xué)校對一批剛上馬的專業(yè)也調(diào)整了，半導(dǎo)體下馬。62年10月按應(yīng)屆畢業(yè)生分配到了中科院計算所二室101組(固體電路組)工作。一進實驗室，四壁空空，只看見一個年青人，身穿白大褂，蹲在一個電爐旁邊，爐上有一個玻璃燒杯，里面有幾塊指甲蓋大小的紫藍色硅片，他說：“這是要做二極管的”。我心里暗想，似曾相識!后來才了解到，本組是由59年剛回國的青年科學(xué)家黃敞研究員領(lǐng)導(dǎo)，他還在北大講授半導(dǎo)體器件課，52年美國哈佛大學(xué)畢業(yè)后即從事晶體三極管的創(chuàng)業(yè)工作，應(yīng)該屬于晶體管的創(chuàng)始人之一。58年就在美國電化學(xué)與半導(dǎo)體會議上發(fā)表過外延模型，并預(yù)言可以改善晶體管特性。當時組里正在研究厚膜電阻譯碼器二極管矩陣(混合集成電路)以及外延技術(shù)，這在國內(nèi)是領(lǐng)先的，與世界亦是同步的。我立即被分配負責(zé)研制平面二極管，接著研制外延小功率開關(guān)三極管，一切都很吸引人，開始埋頭苦干。63年9月，我們組被命名為十一室(集成電路研究室)。

　　激情燃燒的日子---參加微型計算機研制

　　65年8月，我們?nèi)⒓恿艘粋€院里召開的大會，黨委書記兼副院長張勁夫在臺上來回走動，激動地揮動雙手說：“我提著腦袋把任務(wù)給你們要來了，你們要好好干”!，會上宣布，成立計算所二部，亦稱“156”，專門研制微型計算機。我們在臺下，亦熱血沸騰!深知自己參加的工作，是國家所急需，是時代賦予的使命，心中既高興，又緊張!隨后，很快從科大、清華調(diào)來了十來個畢業(yè)生，干部及設(shè)備也配齊了。特別是從東北光機所三天之內(nèi)調(diào)來了一個室。我被任命負責(zé)研制外延中功率開關(guān)三極管，這個任務(wù)難度很大，初期做出的P-N結(jié)總是低壓擊穿，飽和壓降也下不來，于是將全組排成三班倒。大家都是隨叫隨到，正副組長則是12小時一輪換，常常一天干13-14個小時。黃敞先生也親自指導(dǎo)，教我不要局限一點，要全面考慮各種參數(shù)的全面配合，我們又重新設(shè)計了版圖……那時全組團結(jié)得如一個人，人人盡職盡責(zé)，指到哪，打到哪，真是激情燃燒的日子!部室領(lǐng)導(dǎo)也抓的非常緊。科研處處長馬慶魁就常站在實驗室外面等著芯片，副主任何紹宗晚上給我們送面條、面包……情景十分感人。主任趙松巖則遙望南樓，感慨的說：“燈火輝煌156”。記得我們室有一個叫韓景春的同志，負責(zé)封裝，既無資料更無經(jīng)驗，只有不斷地摸索才能前進，在他試驗用什么化學(xué)藥品時，沒有高級設(shè)備去分析，只靠舌頭去嘗，感到不對勁時，就跑到水龍頭處馬上用水沖。在這樣的條件下，他把研制出的組件硬是給封好了!76年他重病在身，已病危了，我去看他時，他已經(jīng)神志不清了，但還陸陸續(xù)續(xù)跟我說：“毛主席還活著，他正在深圳的上空走著呢!”聽著聽著，我的淚水灑滿了面頰。當時就是這樣一群人，為了國家的需要，無私地奉獻著自己的青春乃至生命!既無職稱、無榮譽，更無光環(huán)、獎金，卻默默無聞地工作了一輩子，他們什么也不求，只求祖國的富強!