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利用MEMS構(gòu)建多信道可調(diào)色散補(bǔ)償儀

用可編程模擬電路實(shí)現(xiàn)MEMS陀螺儀測(cè)量系統(tǒng)

MEMS技術(shù)的發(fā)展歷史

  • MEMS第一輪商業(yè)化浪潮始于20世紀(jì)70年代末80年代初，當(dāng)時(shí)用大型蝕刻硅片結(jié)構(gòu)和背蝕刻膜片制作壓力傳感器。由于薄硅片振動(dòng)膜在壓力下變形，會(huì)影響其表面的壓敏電阻走線，這種變化可以把壓力轉(zhuǎn)換成電信號(hào)。后來的電路則
  • 關(guān)鍵字： 發(fā)展歷史  技術(shù)  MEMS  

MEMS運(yùn)動(dòng)傳感器有助于提高手持設(shè)備的可靠性

正確選擇汽車胎壓監(jiān)測(cè)系統(tǒng)使用的各種MEMS傳感器

用RF-MEMS實(shí)現(xiàn)可調(diào)諧天線

利用MEMS麥克風(fēng)改善移動(dòng)設(shè)備聲學(xué)性能

基于ARM與MEMS器件的微慣性測(cè)量裝置設(shè)計(jì)

  • 　　在仿生推進(jìn)機(jī)理的研究中，精確測(cè)量魚類尾鰭拍動(dòng)參數(shù)對(duì)于魚類仿生推進(jìn)機(jī)理研究及工程應(yīng)用具有重要的意義;然而，目前研究者大多采用分析高速攝像機(jī)拍攝的圖像獲得參數(shù)的觀測(cè)方法。這種方法受到環(huán)境與設(shè)備的限制，結(jié)果精確度較差。本設(shè)計(jì)是一種基于MEMS器件的生物運(yùn)動(dòng)微慣性測(cè)量裝置。利用該裝置實(shí)現(xiàn)了對(duì)SPC-III機(jī)器魚尾鰭拍動(dòng)參數(shù)的精確測(cè)量，為國(guó)內(nèi)首次利用MEMS器件進(jìn)行的活體魚尾鰭拍動(dòng)參數(shù)測(cè)量實(shí)驗(yàn)打下了基礎(chǔ)，為機(jī)器魚仿生推進(jìn)設(shè)計(jì)理論提供支撐。 　　1 設(shè)計(jì)要求和系統(tǒng)結(jié)構(gòu) 　　根據(jù)活體魚類的生物特征和實(shí)驗(yàn)本身的特
  • 關(guān)鍵字： ARM MEMS   

射頻工藝和手機(jī)射頻元件的集成策略

閃耀光柵數(shù)字微鏡的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)與驅(qū)動(dòng)仿真

  • 　　基于MEMS的閃耀光柵數(shù)字微鏡顯示技術(shù)是一種全新的顯示技術(shù), 它的基本工作原理為：平行的復(fù)合白色光線以固定的入射角照射在閃耀光柵微鏡陣列上，驅(qū)動(dòng)電路驅(qū)動(dòng)每個(gè)像素單元的閃耀光柵微鏡偏轉(zhuǎn)不同角度，在特定的衍射方向上得到的R、G、B以及不可見波長(zhǎng)的光線經(jīng)過成像鏡頭后形成彩色畫面。 　　微鏡結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)的基本要求 　　閃耀光柵數(shù)字微鏡顯示技術(shù)的核心部件是閃耀光柵數(shù)字微鏡。要達(dá)到便攜應(yīng)用和投影應(yīng)用的目的，閃耀光柵數(shù)字微鏡結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)需滿足以下基本要求。 　　盡可能減小顯示單元的尺寸 　　為了得到準(zhǔn)確的基色，要求
  • 關(guān)鍵字： MEMS  閃耀光柵數(shù)字微鏡  結(jié)構(gòu)  驅(qū)動(dòng)  

GPS 3D導(dǎo)航設(shè)計(jì)的穩(wěn)定性考慮

  • 摘要：?3D地圖的出現(xiàn)和推廣、更多信息點(diǎn)的地圖，使大容量的存儲(chǔ)器成為2008年導(dǎo)航產(chǎn)品發(fā)展的一個(gè)重要方向。大容量存儲(chǔ)器的需要還來源于對(duì)數(shù)據(jù)保護(hù)的需求。本文通過對(duì)比Embedded Raw MLC和Managed Nand兩種存儲(chǔ)方式，介紹了系統(tǒng)硬件和軟件設(shè)計(jì)對(duì)GPS導(dǎo)航設(shè)備穩(wěn)定性的影響。 關(guān)鍵詞：?GPS；SLC；MLC；3D導(dǎo)航 　　GPS 3D導(dǎo)航地圖的出現(xiàn)并非偶然，3D導(dǎo)航比2D顯示更多的信息量，通過3D圖像來真實(shí)地模擬顯示現(xiàn)實(shí)世界中的街道和交叉路口，駕駛者不僅可以看到詳細(xì)而
  • 關(guān)鍵字： GPS 3D  導(dǎo)航設(shè)計(jì)  穩(wěn)定性考慮  200803  

單電容式及差分電容式MEMS傳感器檢測(cè)系統(tǒng)

  • 摘要：傳感器技術(shù)是信息社會(huì)的四大支柱之一，傳感器和計(jì)算機(jī)結(jié)合形成的智能系統(tǒng)大大的拓展了人類生活的空間。在傳感器家族中，根據(jù)電容的物理特性制作的傳感器占有重要地位。電容傳感器是很好的狀態(tài)傳感器，可提高電容檢測(cè)，尤其是微小電容檢測(cè)的精度，是目前測(cè)控技術(shù)的熱點(diǎn)。本文重點(diǎn)介紹一套微小電容差分高精度檢測(cè)電路，該套電路可測(cè)物體的運(yùn)動(dòng)加速度，加速度計(jì)的分辨率可達(dá)2-18。 關(guān)鍵詞：電容式傳感器；MEMS；信號(hào)調(diào)理；檢測(cè)電路 電容式傳感器工作原理 ?　　電容式傳感器分單電容式和差分電容式二種。如圖
  • 關(guān)鍵字： 單電容式  差分電容式  MEMS  傳感器  200803  

MEMS硅膜電容式氣象壓力傳感器的研制

  • 　　1 引言 　　大氣壓力傳感器在工業(yè)生產(chǎn)、氣象預(yù)報(bào)、氣候分析、環(huán)境監(jiān)測(cè)、航空航天等方面發(fā)揮著不可替代的作用。傳統(tǒng)的壓力傳感器一般為機(jī)械式，體積比較大，不利于微型化和集成化。利用MEMS技術(shù)不僅可以解決上述缺點(diǎn)，還能極大地降低成本，而性能更為優(yōu)異。如今基于MEMS技術(shù)得到廣泛應(yīng)用的壓力傳感器主要有壓阻式和電容式兩大類，壓阻式壓力傳感器的線性度很好，但精度一般，溫漂大，一致性差;電容式壓力傳感器與之相比，精度更高，溫漂小，芯片結(jié)構(gòu)更具魯棒性，但線性度差且易受寄生電容的影響。目前MEMS電容式壓力傳感器多用
  • 關(guān)鍵字： MEMS  

MEMS固態(tài)風(fēng)速風(fēng)向傳感器的設(shè)計(jì)與制作

  • 　　1 引言 　　風(fēng)速及風(fēng)向的測(cè)量是氣象觀測(cè)中重要的一環(huán)。風(fēng)速風(fēng)向可以基于流體力學(xué)原理、熱學(xué)原理、聲學(xué)原理和仿生學(xué)原理來測(cè)量。熱式測(cè)風(fēng)儀基于風(fēng)對(duì)熱體的對(duì)流作用來測(cè)量風(fēng)速和風(fēng)向，其存在一個(gè)精密的熱源，通過把兩對(duì)相對(duì)的熱源與熱電偶正交放置測(cè)量風(fēng)向。超聲測(cè)風(fēng)儀可以同時(shí)進(jìn)行超聲波的發(fā)射和接收，基于多普勒效應(yīng)測(cè)量風(fēng)速，用三個(gè)或者四個(gè)探頭根據(jù)三角關(guān)系測(cè)量風(fēng)向信息。基于MEMS技術(shù)傳感器有體積小、重量輕及成本低的特點(diǎn)，基于MEMS技術(shù)的風(fēng)速和風(fēng)向測(cè)量傳感器受到了研究者的重視。 　　本文介紹了基于MEMS的固態(tài)風(fēng)速風(fēng)
  • 關(guān)鍵字： MEMS  

MEMS傳感器進(jìn)駐汽車發(fā)動(dòng)機(jī)

  • 　　近年來，從半導(dǎo)體集成電路(IC)技術(shù)發(fā)展而來的MEMS (微電子機(jī)械系統(tǒng))技術(shù)日漸成熟。利用這一技術(shù)可以制作各種性能敏感的力學(xué)量、磁學(xué)量、熱學(xué)量、化學(xué)量和微生物的微型傳感器，這些傳感器的體積和能耗小，可實(shí)現(xiàn)許多全新的功能，便于大批量和高精度生產(chǎn)，單件成本低，易構(gòu)成大規(guī)模和多功能陣列，這些特點(diǎn)使得它們非常適合于汽車方面的應(yīng)用。 MEMS將成為汽車傳感器的主流技術(shù) 　　20世紀(jì)80年代微型加速度傳感器開始用于汽車安全氣囊，它們是到目前為止大量生產(chǎn)的、并在汽車中得到廣泛應(yīng)用的微型傳感器。然而微型傳感器的
  • 關(guān)鍵字： MEMS 傳感器  
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