3d-mems 文章進(jìn)入3d-mems技術(shù)社區(qū)

MEMS機(jī)油壓力傳感器可靠性研究

1 引言　　MEMS是在集成電路生產(chǎn)技術(shù)和專用的微機(jī)電加工方法的基礎(chǔ)上蓬勃發(fā)展起來的高新技術(shù)，用MEMS技術(shù)研制的壓力傳感器具有體積小、重量輕、響應(yīng)快、靈敏度高、易于批量生產(chǎn)、成本低的優(yōu)勢，它們已經(jīng)開始逐步取代基于傳統(tǒng)機(jī)電技術(shù)的壓力傳感器。目前已有多種MEMS壓力傳感器應(yīng)用到了汽車電子系統(tǒng)中，如發(fā)動(dòng)機(jī)共軌壓力、機(jī)油壓力、歧管空氣進(jìn)氣壓力、汽車胎壓壓力等。其中機(jī)油壓力傳感器是用于測量汽車發(fā)動(dòng)機(jī)油壓力的重要傳感器，其可靠性直接關(guān)系到汽車和人的安全性。本文選用MEMS壓力芯片，成功開發(fā)出汽車發(fā)動(dòng)機(jī)機(jī)油壓力傳
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汽車MEMS傳感器應(yīng)用及發(fā)展

摘要：本文通過大量的文獻(xiàn)資料，評(píng)述汽車MEMS（微機(jī)電系統(tǒng)）傳感器的應(yīng)用現(xiàn)狀及發(fā)展趨勢，其中重點(diǎn)介紹幾種傳感器的原理和結(jié)構(gòu)，同時(shí)對(duì)該領(lǐng)域的產(chǎn)業(yè)化也進(jìn)行了探討。關(guān)鍵詞：汽車傳感器、微機(jī)電系統(tǒng)、力敏器件。一、引言　　MEMS是在集成電路生產(chǎn)技術(shù)和專用的微機(jī)電加工方法的基礎(chǔ)上蓬勃發(fā)展起來的高新科技，其研究開發(fā)主要集中在微傳感器、微執(zhí)行器和微系統(tǒng)三個(gè)方面，目前主導(dǎo)MEMS市場的傳感器已形成產(chǎn)業(yè)。用此技術(shù)研制的五花八門的微傳感器具有體積小、質(zhì)量輕、響應(yīng)快、靈敏度高、易生產(chǎn)、成本低的優(yōu)勢，可以測量各種物理
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傳統(tǒng)半導(dǎo)體廠商對(duì)MEMS的思考

最近幾年來MEMS（Micro Electro MECHANICAL Systems）技術(shù)在國內(nèi)外得到了迅猛的發(fā)展，MEMS產(chǎn)品已經(jīng)有了開拓性的應(yīng)用，MEMS產(chǎn)業(yè)鏈將會(huì)迅速掘起，預(yù)計(jì)2007年全球MEMS元器件銷售總額將突破70億美元。
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傳感器：與IC趨于集成MEMS遍及高端

汽車電子控制系統(tǒng)的“正常運(yùn)轉(zhuǎn)”離不開傳感器的保駕護(hù)航，通過傳感器可將各種諸如壓力、流量、位置、高度、距離、速度、轉(zhuǎn)速、溫度等信號(hào)傳遞到動(dòng)力系統(tǒng)、安全系統(tǒng)等控制單元，達(dá)到汽車正常駕駛的目的。
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三軸加速度計(jì)在水下結(jié)構(gòu)振動(dòng)測試中的應(yīng)用

電子產(chǎn)品世界,為電子工程師提供全面的電子產(chǎn)品信息和行業(yè)解決方案,是電子工程師的技術(shù)中心和交流中心,是電子產(chǎn)品的市場中心,EEPW 20年的品牌歷史,是電子工程師的網(wǎng)絡(luò)家園
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飛思卡爾建成先進(jìn)的200-mm MEMS生產(chǎn)線

　　飛思卡爾半導(dǎo)體建成先進(jìn)的微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)200-mm(8-inch)生產(chǎn)線來滿足不斷增長的傳感器市場需求。這套新生產(chǎn)線是在飛思卡爾設(shè)在德克薩斯州奧斯汀的Oak Hill Fab建成的，是對(duì)公司在日本仙臺(tái)的現(xiàn)有150-mm(6-inch) MEMS生產(chǎn)線的補(bǔ)充。　　隨著MEMS傳感器市場的持續(xù)增長，大批量MEMS生產(chǎn)技術(shù)仍顯得至關(guān)重要。飛思卡爾在生產(chǎn)基于MEMS的傳感器方面已有25年以上的歷史，是業(yè)界領(lǐng)先的大批量傳感器提供商，可提供全面的加速、壓力和接近傳感器。借助可實(shí)現(xiàn)全面的傳感、控制、連接
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市場分析：大陸傳感器產(chǎn)業(yè)面臨新發(fā)展

　　中國傳感器近年來，通過技術(shù)引進(jìn)與改造，中國大陸敏感元件及傳感器業(yè)已形成一定的產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)與生產(chǎn)能力，MEMS等5項(xiàng)新型傳感器已列入研究開發(fā)的重點(diǎn)。據(jù)信息產(chǎn)業(yè)部科技情報(bào)研究所編制的《2006～2007年中國電子廠商名錄》統(tǒng)計(jì)，目前中國大陸有455個(gè)從事敏感元件及傳感器生產(chǎn)的廠商，所涉及企業(yè)多達(dá)1,400多家，呈現(xiàn)出良好的發(fā)展態(tài)勢，但綜合實(shí)力較強(qiáng)的骨干企業(yè)較少。目前，能批量生產(chǎn)的產(chǎn)品涉及光敏、電壓敏、熱敏、力敏、氣敏、磁敏和濕敏7大類，約3,000多個(gè)品種。據(jù)中國電子元件協(xié)會(huì)統(tǒng)計(jì)，2006年中國大陸傳感器產(chǎn)品
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高通公司為韓國KTF提供低功耗顯示技術(shù)

　　美國高通公司的全資子公司高通MEMS技術(shù)有限公司今天宣布，韓國KT Freetel(KTF)公司宣布選擇高通公司基于MEMS的 mirasol ™顯示技術(shù)用于其SHOW WCDMA監(jiān)控系統(tǒng)。KTF是韓國最大的電信運(yùn)營商之一，也是韓國首家WCDMA無線運(yùn)營商。KTF公司和高通公司將在2008年國際消費(fèi)電子展的高通公司合作伙伴展區(qū)(南3號(hào)館，展位號(hào)30340)上展示該SHOW監(jiān)控系統(tǒng)。　　KTF的SHOW監(jiān)控系統(tǒng)利用3G WCDMA將SHOW攝像裝置拍攝的實(shí)況視頻傳輸?shù)街付ǖ囊苿?dòng)電話，是進(jìn)
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新型傳感器研發(fā)呈現(xiàn)的五大特點(diǎn)

　　當(dāng)今世界發(fā)達(dá)國家對(duì)傳感器技術(shù)發(fā)展極為重視，視為涉及國家安全、經(jīng)濟(jì)發(fā)展和科技進(jìn)步的關(guān)鍵技術(shù)之一，將其列入國家科技發(fā)展戰(zhàn)略計(jì)劃之中。因此，近年來傳感技術(shù)迅速發(fā)展，傳感器新原理、新材料和新技術(shù)的研究更加深入、廣泛，傳感器新品種、新結(jié)構(gòu)、新應(yīng)用不斷涌現(xiàn)、層出不窮。　　微型化速度加快　　值得特別關(guān)注的是近年來隨著集成微電子機(jī)械加工技術(shù)的日趨成熟，傳感器制作技術(shù)進(jìn)入了一個(gè)展新階段。微電子技術(shù)和微機(jī)械技術(shù)相結(jié)合，器件結(jié)構(gòu)從二維到三維，實(shí)現(xiàn)進(jìn)一步微型化、微功耗，并研究把傳感器送入人體，進(jìn)入血管，研究稱分子的重
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加速度計(jì)與MEMS明日之星

　　微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)在發(fā)展了近四十年后，近來因?yàn)橛螒驒C(jī)(Wii、PS3)、手機(jī)(iPhone)、MP3(iPod touch)等消費(fèi)性電子產(chǎn)品的應(yīng)用，終于劃下時(shí)代性的一刻，成功打入產(chǎn)量最大的消費(fèi)性市場。這對(duì)于微機(jī)電產(chǎn)業(yè)來說無疑是值得慶賀的時(shí)刻，因?yàn)橛刑嗟难邪l(fā)心力已投入這項(xiàng)將微機(jī)械與微電子工程融合的微機(jī)電設(shè)計(jì)訴求之上，如今總算看到令人欣慰的一些成果。　　當(dāng)然，這仍然只是MEMS進(jìn)軍更廣泛市場的一個(gè)開端，打開這個(gè)市場的功臣即是加速度計(jì)(accelerometer)。在本文中將會(huì)對(duì)加速度計(jì)的技術(shù)及應(yīng)
關(guān)鍵字： 0712_A 雜志_技術(shù)長廊 MEMS 微機(jī)電系統(tǒng) 嵌入式

ST 4 x 4mm模擬輸出加速計(jì)自由度更高

世界領(lǐng)先的微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）器件供應(yīng)商意法半導(dǎo)體（紐約證券交易所代碼：STM）今天公布一個(gè)新的三軸模擬輸出傳感器解決方案，進(jìn)一步加強(qiáng)了該公司的尺寸極小的“低g”線性加速計(jì)的產(chǎn)品陣容。新產(chǎn)品LIS344AL是一個(gè)注重成本的MEMS解決方案，在電路板上的占位面積非常小，功耗低，特別適合電池供電和空間受限制的便攜設(shè)備，如手機(jī)、便攜媒體播放器、PDA或遙控器。新產(chǎn)品在一個(gè)封裝內(nèi)整合了一個(gè)強(qiáng)健的三軸MEMS傳感器和一個(gè)CMOS接口芯片，不論設(shè)備的方位如何，三軸傳感功能都能提供傾斜和運(yùn)動(dòng)的信息。 LIS344A
關(guān)鍵字： ST 模擬輸出加速計(jì) MEMS 消費(fèi)電子消費(fèi)電子

MEMS振蕩器101(圖)

關(guān)鍵字： MEMS 101 振蕩器

傳動(dòng)力與美的科技

電子科技的發(fā)展到了今天，有關(guān)數(shù)字運(yùn)算與訊號(hào)處理的能力，已經(jīng)達(dá)到了所謂「信息革命」的效果。如此輝煌顯著的成就，將會(huì)持續(xù)帶動(dòng)社會(huì)型態(tài)與生活習(xí)慣的改變，這應(yīng)該也是毋庸置疑的一件事
關(guān)鍵字： MEMS 電子感測組件

RFMD MEMS技術(shù)將在RF應(yīng)用中實(shí)現(xiàn)突破性整合

　　日前，RF Micro Devices(RFMD)宣布推出專有微機(jī)電系統(tǒng) (MEMS) - 面向 RF 及其他應(yīng)用的技術(shù)。RFMD 期望其專有的 MEMS 技術(shù)將在 RF 及其他應(yīng)用中實(shí)現(xiàn)突破性的性能及空前水平的功能整合。　　RFMD 推出的第一批 RF MEMS 器件將是面向 3G 多模手機(jī)的 RF MEMS 發(fā)送/接收開關(guān)及 RF MEMS 模式開關(guān)。通過極大減小產(chǎn)品占位面積并提高效率，從而延長手機(jī)通話時(shí)間，RFMD 的 MEMS 開關(guān)技術(shù)將有助于加速 3G 部署。當(dāng)與面向前端解決方案(GaA
關(guān)鍵字：嵌入式系統(tǒng) 單片機(jī) RFMD RF MEMS RF IF

Akustica CMOS MEMS數(shù)字傳聲器銷售量突破兩百萬大關(guān)

益登科技所代理的系統(tǒng)單芯片聲學(xué)系統(tǒng)領(lǐng)先開發(fā)商Akustica日前宣布，其數(shù)字傳聲器產(chǎn)品銷售量已突破兩百萬大關(guān)，這是該公司繼三個(gè)月前突破百萬銷售量后的另一重要里程碑。Akustica自從推出首款和獲獎(jiǎng)的AKU2000數(shù)字傳聲器后，在短短的15個(gè)月內(nèi)就將銷售量增至百萬以上。今天，移動(dòng)個(gè)人計(jì)算機(jī)對(duì)高質(zhì)量語音輸入的強(qiáng)勁需求促使Akustica再度推出3款數(shù)字傳聲器，同時(shí)快速提升產(chǎn)能以滿足客戶要求。 A
關(guān)鍵字：消費(fèi)電子 Akustica CMOS MEMS 數(shù)字傳聲器消費(fèi)電子