mems 介紹
MEMS是微機電系統(tǒng)的縮寫。MEMS主要包括微型機構、微型傳感器、微型執(zhí)行器和相應的處理電路等幾部分,它是在融合多種微細加工技術,并應用現(xiàn)代信息技術的最新成果的基礎上發(fā)展起來的高科技前沿學科。
MEMS技術的發(fā)展開辟了一個全新的技術領域和產業(yè),采用MEMS技術制作的微傳感器、微執(zhí)行器、微型構件、微機械光學器件、真空微電子器件、電力電子器件等在航空、航天、汽車、生物醫(yī)學、環(huán)境監(jiān)控、軍事以及幾 [ 查看詳細 ]
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