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射頻工藝和手機(jī)射頻元件的集成策略

低頻和高頻RF無(wú)線系統(tǒng)的集成具有很大差異。2.采用高級(jí)CMOS工藝的掩膜成本很高，而將數(shù)字和RF集成由于RF設(shè)計(jì)...
關(guān)鍵字：集成聲表面波線性度多芯片封裝波段選擇熱特性雙極工藝 PASSI RF-MEMS 手機(jī)射頻

閃耀光柵數(shù)字微鏡的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)與驅(qū)動(dòng)仿真

　　基于MEMS的閃耀光柵數(shù)字微鏡顯示技術(shù)是一種全新的顯示技術(shù), 它的基本工作原理為：平行的復(fù)合白色光線以固定的入射角照射在閃耀光柵微鏡陣列上，驅(qū)動(dòng)電路驅(qū)動(dòng)每個(gè)像素單元的閃耀光柵微鏡偏轉(zhuǎn)不同角度，在特定的衍射方向上得到的R、G、B以及不可見(jiàn)波長(zhǎng)的光線經(jīng)過(guò)成像鏡頭后形成彩色畫面。　　微鏡結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)的基本要求　　閃耀光柵數(shù)字微鏡顯示技術(shù)的核心部件是閃耀光柵數(shù)字微鏡。要達(dá)到便攜應(yīng)用和投影應(yīng)用的目的，閃耀光柵數(shù)字微鏡結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)需滿足以下基本要求。　　盡可能減小顯示單元的尺寸　　為了得到準(zhǔn)確的基色，要求
關(guān)鍵字： MEMS 閃耀光柵數(shù)字微鏡結(jié)構(gòu) 驅(qū)動(dòng)

單電容式及差分電容式MEMS傳感器檢測(cè)系統(tǒng)

摘要：傳感器技術(shù)是信息社會(huì)的四大支柱之一，傳感器和計(jì)算機(jī)結(jié)合形成的智能系統(tǒng)大大的拓展了人類生活的空間。在傳感器家族中，根據(jù)電容的物理特性制作的傳感器占有重要地位。電容傳感器是很好的狀態(tài)傳感器，可提高電容檢測(cè)，尤其是微小電容檢測(cè)的精度，是目前測(cè)控技術(shù)的熱點(diǎn)。本文重點(diǎn)介紹一套微小電容差分高精度檢測(cè)電路，該套電路可測(cè)物體的運(yùn)動(dòng)加速度，加速度計(jì)的分辨率可達(dá)2-18。關(guān)鍵詞：電容式傳感器；MEMS；信號(hào)調(diào)理；檢測(cè)電路電容式傳感器工作原理 ?　　電容式傳感器分單電容式和差分電容式二種。如圖
關(guān)鍵字：單電容式差分電容式 MEMS 傳感器 200803

MEMS硅膜電容式氣象壓力傳感器的研制

　　1 引言　　大氣壓力傳感器在工業(yè)生產(chǎn)、氣象預(yù)報(bào)、氣候分析、環(huán)境監(jiān)測(cè)、航空航天等方面發(fā)揮著不可替代的作用。傳統(tǒng)的壓力傳感器一般為機(jī)械式，體積比較大，不利于微型化和集成化。利用MEMS技術(shù)不僅可以解決上述缺點(diǎn)，還能極大地降低成本，而性能更為優(yōu)異。如今基于MEMS技術(shù)得到廣泛應(yīng)用的壓力傳感器主要有壓阻式和電容式兩大類，壓阻式壓力傳感器的線性度很好，但精度一般，溫漂大，一致性差;電容式壓力傳感器與之相比，精度更高，溫漂小，芯片結(jié)構(gòu)更具魯棒性，但線性度差且易受寄生電容的影響。目前MEMS電容式壓力傳感器多用
關(guān)鍵字： MEMS

MEMS固態(tài)風(fēng)速風(fēng)向傳感器的設(shè)計(jì)與制作

　　1 引言　　風(fēng)速及風(fēng)向的測(cè)量是氣象觀測(cè)中重要的一環(huán)。風(fēng)速風(fēng)向可以基于流體力學(xué)原理、熱學(xué)原理、聲學(xué)原理和仿生學(xué)原理來(lái)測(cè)量。熱式測(cè)風(fēng)儀基于風(fēng)對(duì)熱體的對(duì)流作用來(lái)測(cè)量風(fēng)速和風(fēng)向，其存在一個(gè)精密的熱源，通過(guò)把兩對(duì)相對(duì)的熱源與熱電偶正交放置測(cè)量風(fēng)向。超聲測(cè)風(fēng)儀可以同時(shí)進(jìn)行超聲波的發(fā)射和接收，基于多普勒效應(yīng)測(cè)量風(fēng)速，用三個(gè)或者四個(gè)探頭根據(jù)三角關(guān)系測(cè)量風(fēng)向信息?；贛EMS技術(shù)傳感器有體積小、重量輕及成本低的特點(diǎn)，基于MEMS技術(shù)的風(fēng)速和風(fēng)向測(cè)量傳感器受到了研究者的重視。　　本文介紹了基于MEMS的固態(tài)風(fēng)速風(fēng)
關(guān)鍵字： MEMS

MEMS傳感器進(jìn)駐汽車發(fā)動(dòng)機(jī)

　　近年來(lái)，從半導(dǎo)體集成電路(IC)技術(shù)發(fā)展而來(lái)的MEMS (微電子機(jī)械系統(tǒng))技術(shù)日漸成熟。利用這一技術(shù)可以制作各種性能敏感的力學(xué)量、磁學(xué)量、熱學(xué)量、化學(xué)量和微生物的微型傳感器，這些傳感器的體積和能耗小，可實(shí)現(xiàn)許多全新的功能，便于大批量和高精度生產(chǎn)，單件成本低，易構(gòu)成大規(guī)模和多功能陣列，這些特點(diǎn)使得它們非常適合于汽車方面的應(yīng)用。 MEMS將成為汽車傳感器的主流技術(shù) 　　20世紀(jì)80年代微型加速度傳感器開(kāi)始用于汽車安全氣囊，它們是到目前為止大量生產(chǎn)的、并在汽車中得到廣泛應(yīng)用的微型傳感器。然而微型傳感器的
關(guān)鍵字： MEMS 傳感器

MEMS機(jī)油壓力傳感器可靠性研究

1 引言　　MEMS是在集成電路生產(chǎn)技術(shù)和專用的微機(jī)電加工方法的基礎(chǔ)上蓬勃發(fā)展起來(lái)的高新技術(shù)，用MEMS技術(shù)研制的壓力傳感器具有體積小、重量輕、響應(yīng)快、靈敏度高、易于批量生產(chǎn)、成本低的優(yōu)勢(shì)，它們已經(jīng)開(kāi)始逐步取代基于傳統(tǒng)機(jī)電技術(shù)的壓力傳感器。目前已有多種MEMS壓力傳感器應(yīng)用到了汽車電子系統(tǒng)中，如發(fā)動(dòng)機(jī)共軌壓力、機(jī)油壓力、歧管空氣進(jìn)氣壓力、汽車胎壓壓力等。其中機(jī)油壓力傳感器是用于測(cè)量汽車發(fā)動(dòng)機(jī)油壓力的重要傳感器，其可靠性直接關(guān)系到汽車和人的安全性。本文選用MEMS壓力芯片，成功開(kāi)發(fā)出汽車發(fā)動(dòng)機(jī)機(jī)油壓力傳
關(guān)鍵字： MEMS 傳感器

汽車MEMS傳感器應(yīng)用及發(fā)展

摘要：本文通過(guò)大量的文獻(xiàn)資料，評(píng)述汽車MEMS（微機(jī)電系統(tǒng)）傳感器的應(yīng)用現(xiàn)狀及發(fā)展趨勢(shì)，其中重點(diǎn)介紹幾種傳感器的原理和結(jié)構(gòu)，同時(shí)對(duì)該領(lǐng)域的產(chǎn)業(yè)化也進(jìn)行了探討。關(guān)鍵詞：汽車傳感器、微機(jī)電系統(tǒng)、力敏器件。一、引言　　MEMS是在集成電路生產(chǎn)技術(shù)和專用的微機(jī)電加工方法的基礎(chǔ)上蓬勃發(fā)展起來(lái)的高新科技，其研究開(kāi)發(fā)主要集中在微傳感器、微執(zhí)行器和微系統(tǒng)三個(gè)方面，目前主導(dǎo)MEMS市場(chǎng)的傳感器已形成產(chǎn)業(yè)。用此技術(shù)研制的五花八門的微傳感器具有體積小、質(zhì)量輕、響應(yīng)快、靈敏度高、易生產(chǎn)、成本低的優(yōu)勢(shì)，可以測(cè)量各種物理
關(guān)鍵字： MEMS 傳感器

傳統(tǒng)半導(dǎo)體廠商對(duì)MEMS的思考

最近幾年來(lái)MEMS（Micro Electro MECHANICAL Systems）技術(shù)在國(guó)內(nèi)外得到了迅猛的發(fā)展，MEMS產(chǎn)品已經(jīng)有了開(kāi)拓性的應(yīng)用，MEMS產(chǎn)業(yè)鏈將會(huì)迅速掘起，預(yù)計(jì)2007年全球MEMS元器件銷售總額將突破70億美元。
關(guān)鍵字：半導(dǎo)體 MEMS

傳感器：與IC趨于集成MEMS遍及高端

汽車電子控制系統(tǒng)的“正常運(yùn)轉(zhuǎn)”離不開(kāi)傳感器的保駕護(hù)航，通過(guò)傳感器可將各種諸如壓力、流量、位置、高度、距離、速度、轉(zhuǎn)速、溫度等信號(hào)傳遞到動(dòng)力系統(tǒng)、安全系統(tǒng)等控制單元，達(dá)到汽車正常駕駛的目的。
關(guān)鍵字：傳感器 IC MEMS

三軸加速度計(jì)在水下結(jié)構(gòu)振動(dòng)測(cè)試中的應(yīng)用

電子產(chǎn)品世界,為電子工程師提供全面的電子產(chǎn)品信息和行業(yè)解決方案,是電子工程師的技術(shù)中心和交流中心,是電子產(chǎn)品的市場(chǎng)中心,EEPW 20年的品牌歷史,是電子工程師的網(wǎng)絡(luò)家園
關(guān)鍵字： MEMS ADXL330

飛思卡爾建成先進(jìn)的200-mm MEMS生產(chǎn)線

　　飛思卡爾半導(dǎo)體建成先進(jìn)的微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)200-mm(8-inch)生產(chǎn)線來(lái)滿足不斷增長(zhǎng)的傳感器市場(chǎng)需求。這套新生產(chǎn)線是在飛思卡爾設(shè)在德克薩斯州奧斯汀的Oak Hill Fab建成的，是對(duì)公司在日本仙臺(tái)的現(xiàn)有150-mm(6-inch) MEMS生產(chǎn)線的補(bǔ)充。　　隨著MEMS傳感器市場(chǎng)的持續(xù)增長(zhǎng)，大批量MEMS生產(chǎn)技術(shù)仍顯得至關(guān)重要。飛思卡爾在生產(chǎn)基于MEMS的傳感器方面已有25年以上的歷史，是業(yè)界領(lǐng)先的大批量傳感器提供商，可提供全面的加速、壓力和接近傳感器。借助可實(shí)現(xiàn)全面的傳感、控制、連接
關(guān)鍵字：飛思卡爾半導(dǎo)體 MEMS MCU和嵌入式微處理器

市場(chǎng)分析：大陸傳感器產(chǎn)業(yè)面臨新發(fā)展

　　中國(guó)傳感器近年來(lái)，通過(guò)技術(shù)引進(jìn)與改造，中國(guó)大陸敏感元件及傳感器業(yè)已形成一定的產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)與生產(chǎn)能力，MEMS等5項(xiàng)新型傳感器已列入研究開(kāi)發(fā)的重點(diǎn)。據(jù)信息產(chǎn)業(yè)部科技情報(bào)研究所編制的《2006～2007年中國(guó)電子廠商名錄》統(tǒng)計(jì)，目前中國(guó)大陸有455個(gè)從事敏感元件及傳感器生產(chǎn)的廠商，所涉及企業(yè)多達(dá)1,400多家，呈現(xiàn)出良好的發(fā)展態(tài)勢(shì)，但綜合實(shí)力較強(qiáng)的骨干企業(yè)較少。目前，能批量生產(chǎn)的產(chǎn)品涉及光敏、電壓敏、熱敏、力敏、氣敏、磁敏和濕敏7大類，約3,000多個(gè)品種。據(jù)中國(guó)電子元件協(xié)會(huì)統(tǒng)計(jì)，2006年中國(guó)大陸傳感器產(chǎn)品
關(guān)鍵字：傳感器 MEMS 傳感器執(zhí)行器

高通公司為韓國(guó)KTF提供低功耗顯示技術(shù)

　　美國(guó)高通公司的全資子公司高通MEMS技術(shù)有限公司今天宣布，韓國(guó)KT Freetel(KTF)公司宣布選擇高通公司基于MEMS的 mirasol ™顯示技術(shù)用于其SHOW WCDMA監(jiān)控系統(tǒng)。KTF是韓國(guó)最大的電信運(yùn)營(yíng)商之一，也是韓國(guó)首家WCDMA無(wú)線運(yùn)營(yíng)商。KTF公司和高通公司將在2008年國(guó)際消費(fèi)電子展的高通公司合作伙伴展區(qū)(南3號(hào)館，展位號(hào)30340)上展示該SHOW監(jiān)控系統(tǒng)。　　KTF的SHOW監(jiān)控系統(tǒng)利用3G WCDMA將SHOW攝像裝置拍攝的實(shí)況視頻傳輸?shù)街付ǖ囊苿?dòng)電話，是進(jìn)
關(guān)鍵字：高通 MEMS KTF 音視頻技術(shù)

新型傳感器研發(fā)呈現(xiàn)的五大特點(diǎn)

　　當(dāng)今世界發(fā)達(dá)國(guó)家對(duì)傳感器技術(shù)發(fā)展極為重視，視為涉及國(guó)家安全、經(jīng)濟(jì)發(fā)展和科技進(jìn)步的關(guān)鍵技術(shù)之一，將其列入國(guó)家科技發(fā)展戰(zhàn)略計(jì)劃之中。因此，近年來(lái)傳感技術(shù)迅速發(fā)展，傳感器新原理、新材料和新技術(shù)的研究更加深入、廣泛，傳感器新品種、新結(jié)構(gòu)、新應(yīng)用不斷涌現(xiàn)、層出不窮。　　微型化速度加快　　值得特別關(guān)注的是近年來(lái)隨著集成微電子機(jī)械加工技術(shù)的日趨成熟，傳感器制作技術(shù)進(jìn)入了一個(gè)展新階段。微電子技術(shù)和微機(jī)械技術(shù)相結(jié)合，器件結(jié)構(gòu)從二維到三維，實(shí)現(xiàn)進(jìn)一步微型化、微功耗，并研究把傳感器送入人體，進(jìn)入血管，研究稱分子的重
關(guān)鍵字：傳感器 MEMS 芯片傳感器