Lasertec護(hù)膜和掩膜雜質(zhì)粒子檢查設(shè)備

Lasertec日前宣布成功地推出了新型護(hù)膜和掩膜異物檢查設(shè)備——PEGSIS P100。這個(gè)設(shè)備能與90nm甚至更小尺寸半導(dǎo)體器件設(shè)計(jì)規(guī)則的掩膜兼容，具有很高的檢查速率和靈敏度。Lasertec將這個(gè)產(chǎn)品視為2006年之前的旗艦產(chǎn)品，計(jì)劃在2006年受理10部訂單。
該設(shè)備不僅將檢測(cè)靈敏度提高到了4μm，還能通過明視場(chǎng)檢查進(jìn)行缺陷檢測(cè)。只要缺陷的種類清楚了，就能選擇合理的洗凈方法。今后幾個(gè)月內(nèi)還將配備可清除異物的選配功能，據(jù)介紹能夠當(dāng)場(chǎng)清除異物。包括掩膜搬運(yùn)等時(shí)間在內(nèi)護(hù)膜表面和掩膜背面的檢測(cè)時(shí)間不足10分鐘。