EUV光刻取得成功，Lasertec功不可沒(méi)

　　在經(jīng)歷了二十多年的研發(fā)之后，芯片制造商在一項(xiàng)能夠大幅度提升硅片上晶體管密度的技術(shù)上壓下了重注，那就是EUV光刻。他們能夠取得成功，日本東京郊區(qū)的一家名為Lasertec小公司功不可沒(méi)。

　　Lasertec是世界上為數(shù)不多的做光罩缺陷檢驗(yàn)的公司。我們知道，在芯片生產(chǎn)過(guò)程中，光罩必須是完美的，如果出現(xiàn)任何差錯(cuò)，即使是微小的差錯(cuò)，最終都會(huì)導(dǎo)致芯片無(wú)法使用，而Lasertec就是為光罩質(zhì)量保駕護(hù)航的。

　　過(guò)去幾十年，在摩爾定律的推動(dòng)下，芯片制程已經(jīng)推進(jìn)到了7nm，這就使得傳統(tǒng)的DUV光刻無(wú)法再繼續(xù)按照這個(gè)規(guī)律演進(jìn)，產(chǎn)業(yè)界經(jīng)過(guò)多年的探索，就將目光投向了EUV。但作為一項(xiàng)難道極大的技術(shù)，產(chǎn)業(yè)鏈在各個(gè)環(huán)節(jié)上面臨挑戰(zhàn)。而Lasertec就是為了突破這些困難而生的。

　　據(jù)彭博社報(bào)道，在2017年，總部位于日本橫濱的Lasertec解決了EUV光刻的最后一大難題。他們制造出了能夠檢測(cè)空白EUV光罩內(nèi)部缺陷的機(jī)器，并成為這個(gè)行業(yè)的壟斷者，這也幫助他們的股票在過(guò)去兩年內(nèi)暴漲三倍。

　　Lasertec從2017年到現(xiàn)在的股價(jià)走勢(shì)

　　Lasertec總裁Osamu Okabayashi告訴彭博社記者，Lasertec 已經(jīng)收到了40億日元(3600萬(wàn)美元)的EUV空白光罩檢測(cè)機(jī)器訂單。他指出，該公司可能會(huì)在今年夏天看到額外的銷(xiāo)售額，這主要取決于三星電子公司和TSMC大規(guī)模生產(chǎn)的速度。周二，Lasertec在東京收盤(pán)上漲5.2%，這也是自本月初以來(lái)的最大漲幅。

　　“我們花了六年時(shí)間開(kāi)發(fā)這種設(shè)備，”O(jiān)kabayashi在接受采訪時(shí)說(shuō)?！按藭r(shí)它已成為行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，其他人很難進(jìn)入這個(gè)領(lǐng)域?！?/p>

　　EUV掩模由大約80個(gè)交替放置的硅和鉬(molybdenum)層組成，售價(jià)可以高達(dá)100,000美元的價(jià)格。目前全球只有Hoya Corp.和AGC Inc.兩家公司(均在日本)制造空白光罩(blank)。Lasertec的機(jī)器可以在早期幫助發(fā)現(xiàn)問(wèn)題，這對(duì)于提高技術(shù)成本具有競(jìng)爭(zhēng)力至關(guān)重要?！皩?duì)于EUV，光罩必須是完美的，”O(jiān)kabayashi強(qiáng)調(diào)。

　　EUV光刻是如此復(fù)雜和昂貴，這就導(dǎo)致到目前為止，只有三星和臺(tái)積電表示他們將使用它轉(zhuǎn)向7納米芯片制造。英特爾公司則推遲了其推出，Globalfoundries Inc.則完全放棄了先進(jìn)制程工藝的研發(fā)。

　　三星表示，此舉可讓芯片面積有效率提高40%，性能提升20%，功耗降低一半。Apple的7納米處理器由臺(tái)積電制造，專(zhuān)門(mén)用于機(jī)器學(xué)習(xí)應(yīng)用。在過(guò)去的幾個(gè)月里，高通公司和華為技術(shù)公司各自推出了一款7納米芯片，為5G設(shè)備賦能。

　　“以前，芯片需求完全取決于個(gè)人電腦的產(chǎn)品周期，”O(jiān)kabayashi說(shuō)?！暗S后出現(xiàn)了智能手機(jī)，很快我們就可以將AI，IOT和5G添加到推動(dòng)半導(dǎo)體需求的應(yīng)用列表中去?！?/p>

　　新訂單的影響需要一段時(shí)間才能顯示收益，因?yàn)镋UV空白測(cè)試人員需要大約兩年時(shí)間才能建立。Lasertec預(yù)測(cè)截至6月30日的銷(xiāo)售額將增長(zhǎng)32%至280億日元，而營(yíng)業(yè)收入將增長(zhǎng)14%。根據(jù)分析師的估計(jì)，下一財(cái)年的收入可能會(huì)增長(zhǎng)約50%，利潤(rùn)可能會(huì)翻倍。

　　新訂單的影響需要一段時(shí)間才能顯示收益，因?yàn)镋UV blank測(cè)試人員需要大約兩年時(shí)間才能建立。Lasertec預(yù)測(cè)，截至6月30日，公司的銷(xiāo)售額將增長(zhǎng)32%至280億日元，而營(yíng)業(yè)收入將增長(zhǎng)14%。根據(jù)分析師的估計(jì)，下一財(cái)年的收入可能會(huì)增長(zhǎng)約50%，利潤(rùn)可能會(huì)翻倍。