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微波多層板反鉆孔之金屬化孔互連

作者: 時(shí)間:2011-07-12 來源:網(wǎng)絡(luò) 收藏
3.2.2.2 反面反(8-8-1)

本文引用地址:http://m.butianyuan.cn/article/191101.htm

  位置1(左上部)

終點(diǎn)起點(diǎn)單位值實(shí)際值(mm)
內(nèi)層銅箔厚度241228130.0325
介質(zhì)層厚度228461820.455
深度228421860.465

  位置2(左下部)

終點(diǎn)起點(diǎn)單位值實(shí)際值(mm)
內(nèi)層銅箔厚度299284150.0375
介質(zhì)層厚度2841021820.455
深度300942060.515

  位置3(右上部)

終點(diǎn)起點(diǎn)單位值實(shí)際值(mm)
內(nèi)層銅箔厚度271258130.0325
介質(zhì)層厚度258781800.45
反鉆孔深度264731910.4775

  位置4(右下部)

終點(diǎn)起點(diǎn)單位值實(shí)際值(mm)
內(nèi)層銅箔厚度275260150.0375
介質(zhì)層厚度260821780.445
反鉆孔深度275752000.5

  位置5(中心部)

終點(diǎn)起點(diǎn)單位值實(shí)際值(mm)
內(nèi)層銅箔厚度274260140.035
介質(zhì)層厚度260851750.4375
反鉆孔深度248791690.4225

  4 討論

  4.1 反鉆孔深度一致性

  4.1.1 單面反鉆孔(正面8-1-1)

位置
反鉆孔深度0.48
剛好全鉆掉內(nèi)層銅
0.4925
剛好全鉆掉內(nèi)層銅
0.48
鉆掉內(nèi)層銅一半略少
0.47
剛好鉆至內(nèi)層銅
0.485
鉆掉內(nèi)層銅一半

  4.1.2 兩面反鉆孔(正面8-1-1 、反面8-8-1)

  4.1.2.1 正面反鉆孔(8-1-1)

位置
反鉆孔深度0.455
鉆掉內(nèi)層銅一半
0.475
剛好全鉆掉內(nèi)層銅
0.435
差內(nèi)層銅厚至內(nèi)層銅
0.4775
稍鉆掉一點(diǎn)內(nèi)層銅

0.5275
全掉鉆內(nèi)層銅還過一些

  4.1.2.2 反面反鉆孔(8-8-1)

位置
反鉆孔深度0.465
剛好鉆至內(nèi)層銅
0.4775
鉆掉內(nèi)層銅一小半
0.4225
差內(nèi)層銅厚至內(nèi)層銅
0.515
剛好全鉆掉內(nèi)層銅

0.5
剛好全鉆掉內(nèi)層銅



關(guān)鍵詞: 多層板 鉆孔 金屬 互連

評(píng)論


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