三星與樂金擬于可撓OLED導(dǎo)入原子層沉積技術(shù)
三星顯示器(Samsung Display)與樂金顯示器(LG Display)目前正在研擬于可撓式OLED薄膜封裝制程上導(dǎo)入原子層沉積技術(shù)(Atomic Layer Deposition;ALD)。兩家公司都與設(shè)備協(xié)力廠合作研發(fā)ALD設(shè)備,并進(jìn)入測試階段。若導(dǎo)入ALD制程,阻擋水分及氧氣的效果會提升,將有望提升可撓式OLED面板壽命以及性能。
本文引用地址:http://m.butianyuan.cn/article/201609/310625.htm韓媒ET News報導(dǎo),三星顯示器與樂金顯示器目前正準(zhǔn)備于可撓式OLED制程上導(dǎo)入ALD技術(shù)。目前擁有顯示器用ALD技術(shù)與設(shè)備的南韓廠商有周星工程(Jusung Engineering)、Wonik IPS、AP System以及TES。據(jù)悉,樂金顯示器已結(jié)束ALD的研究,并展開制程導(dǎo)入的研發(fā)作業(yè),而三星顯示器也開始加快ALD導(dǎo)入速度。
兩家公司雖然早已開始研究ALD技術(shù),不過最近隨著可撓式OLED設(shè)備投資熱潮,提升了實際導(dǎo)入ALD技術(shù)的可能性。
因為OLED是有機(jī)材質(zhì),在對于水分及氧氣的抵抗性較不足。為了保護(hù)OLED材料,必須多次涂上薄膜保護(hù)材質(zhì)。雖然每家面板制造商在薄膜層涂抹的次數(shù)不一樣,但平均有機(jī)物薄膜和無機(jī)物薄膜約會涂抹3~5次,采用的則是Vitex的方式。
一般而言,無機(jī)物薄膜封裝可以使用PECVD、Sputtering以及ALD技術(shù)。有機(jī)物薄膜沉積則常使用Kateeva噴墨列印技術(shù)。過去,三星顯示器與樂金顯示器在無機(jī)物薄膜制程采用的都是PECVD技術(shù)。
不過最近隨著對于OLED壽命及功能改善的急迫性提升,這兩家公司都開始研擬導(dǎo)入ALD技術(shù)。主要的問題就在于,相較于可撓式OLED需求的提升,生產(chǎn)性則是下滑。
如果在顯示器上采用ALD技術(shù),可以把薄膜雜質(zhì)極小化,形成相同厚度的薄膜。透過質(zhì)量較好的薄膜,保護(hù)OLED材質(zhì)的效果就會增強,水分及氧氣就不容易進(jìn)入。無機(jī)物薄膜如果以不同納米單位來交替沉積,將可極小化整體薄膜的厚度,也就可呈現(xiàn)相當(dāng)?shù)偷耐杆?Water Vapor Transmission Rate),此外,因可更多樣地呈現(xiàn)薄膜組成,也有望克服現(xiàn)有CVD方式的材料極限。
半導(dǎo)體業(yè)界因為微細(xì)制程進(jìn)展,早已開始積極導(dǎo)入ALD。反觀顯示器業(yè)界卻在導(dǎo)入上猶豫不定,主要還是因為設(shè)備費用比PECVD來的昂貴,再加上在6代大尺寸運用以及沉積速度上仍面臨許多難題,不過,最近隨著部分問題得到解決,導(dǎo)入的可能性也日益攀升。
南韓業(yè)界人士表示,雖然無法完全進(jìn)行比較,不過大致來說,ALD沉積速度約比PECVD慢上10倍左右。如果沉積速度較慢,生產(chǎn)性就會降低。此外,大尺寸量產(chǎn)上仍是最大的障礙。不過,如果薄膜厚度可以更薄,就很值得研擬實際導(dǎo)入制程的可能性。
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