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南大光電:預計今年底建成一條光刻膠生產線

作者: 時間:2019-07-19 來源:南大光電 收藏

在互動平臺透露,公司設立光刻膠事業(yè)部,并成立了全資子公司“寧波材料有限公司”,全力推進“ArF光刻膠開發(fā)和項目”落地實施。目前該項目完成的研發(fā)技術正在等待驗收中,預計2019年底建成一條光刻膠生產線,項目基地建設順利。

本文引用地址:http://m.butianyuan.cn/article/201907/402866.htm

官網顯示,是一家專業(yè)從事高純研發(fā)、生產和銷售的高新技術企業(yè),公司于2012年8月7日在深圳證券交易所創(chuàng)業(yè)板掛牌上市。

憑借30多年來的技術積累優(yōu)勢,公司先后攻克了國家863計劃MO源全系列產品、國家“02—專項”高純電子氣體(砷烷、磷烷)研發(fā)與產業(yè)化、ALD/CVD前驅體產業(yè)化等多個困擾我國數(shù)十年的項目,填補了多項國內空白。2017年,南大光電承擔了集成電路芯片制造用關鍵核心材料之一的193nm光刻膠材料的研發(fā)與產業(yè)化項目。

通過承擔國家重大技術攻關項目并實現(xiàn)產業(yè)化,南大光電形成了MO源、電子特氣、ALD/CVD前驅體材料和光刻膠四大業(yè)務板塊。



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