佳能發(fā)售半導體光刻機解決方案平臺“Lithography Plus”

佳能將于2022年9月5日起發(fā)售解決方案平臺“Lithography Plus^１”服務(wù)（以下簡稱“Lithography Plus”），該系統(tǒng)匯聚佳能在半導體制造領(lǐng)域超過50年的技術(shù)積淀，以包括曝光工藝在內(nèi)的海量半導體制造數(shù)據(jù)為支持，在提升設(shè)備維護運轉(zhuǎn)率的同時，能夠?qū)崿F(xiàn)半導體制造工藝的優(yōu)化。

 佳能陸續(xù)推出了具有高處理性能的KrF光刻機和支持多種設(shè)備的i線光刻機等一系列產(chǎn)品，多年來一直積極地為購置佳能光刻機的客戶提供技術(shù)支持?！?/span>Lithography Plus”通過綜合運用技術(shù)經(jīng)驗與數(shù)據(jù)積累，在實現(xiàn)高效維護作業(yè)的同時，提高了光刻機運轉(zhuǎn)率，助力生產(chǎn)效率的提升。

1.為半導體光刻機帶來更高效的運營支持

該系統(tǒng)具有光刻機狀態(tài)分析、定期維護結(jié)果分析和光刻機停止原因分析多種功能。根據(jù)這些數(shù)據(jù)，光刻機操作員可以更輕松地制定部件更換與維護方案，做好光刻機的曝光質(zhì)量控制。此外，該系統(tǒng)的“控制面板（Dash Board）”功能可實現(xiàn)工廠內(nèi)多個光刻機數(shù)據(jù)可視化，進一步提高了操作員維護業(yè)務(wù)的效率。

2.搭載能夠有效提升半導體光刻機運轉(zhuǎn)率的功能

通過“異常檢測”功能，可監(jiān)視光刻機的工作狀態(tài)，檢測發(fā)生的異常及征兆，防止光刻機停止工作。此外，“自動恢復”功能也有助于故障修復作業(yè)。作業(yè)無法自動恢復時，可以通過分析設(shè)備狀態(tài)，提供故障修復手冊，詳細介紹修復方法，來確保故障的順利修復。此外，佳能的專家工程師可以通過遠程客服系統(tǒng)，遠程共享和了解設(shè)備狀態(tài)，詳細解答操作員提出的問題。

3. 工法（Recipe）²優(yōu)化功能助力實現(xiàn)高成品率

該系統(tǒng)搭載的“工藝解決方案”功能匯集了佳能迄今為止積累的光刻機優(yōu)化案例，并對相關(guān)工法（Recipe）進行了優(yōu)化。通過精細對準和線寬控制設(shè)置，可提供自動優(yōu)化后的工法（Recipe），從新型半導體工藝投入初期開始，為實現(xiàn)高成品率³提供支持。此外，該系統(tǒng)還具備與APC⁴等工藝設(shè)備的接口，可與生產(chǎn)管理系統(tǒng)聯(lián)動運行。

1.產(chǎn)品詳細信息請參閱佳能官網(wǎng)：https://global.canon/ja/product/indtech/semicon/index.html

2.針對不同設(shè)備和制造流程的產(chǎn)品制造要求

3.產(chǎn)品合格率

4.Advanced Process Control : 按批次指示最佳處理條件的機構(gòu)。具有反映上一次加工結(jié)果和顯示上一道工藝結(jié)果預測值等的功能

〈新產(chǎn)品特征〉

l  “質(zhì)量把控（Quality Control）”功能可通過分析光刻機的狀態(tài)，進行設(shè)備質(zhì)量管理。用戶可以利用該功能實時掌握質(zhì)量下降的征兆和對準精度，提前對性能進行維護。

l  “數(shù)據(jù)趨勢監(jiān)測（Data Trend Monitor）”功能可實現(xiàn)設(shè)備傳感器數(shù)據(jù)和測量數(shù)值的可視化，進行經(jīng)時變化、產(chǎn)品設(shè)備依賴性及設(shè)備事件相關(guān)調(diào)查。用戶可以利用該功能輕松地判斷是否做出響應，確定響應方法和時間等。

l  “故障履歷”功能可以顯示設(shè)備停止原因排名，通過該功能可實時掌握需要處理的事項。

l  數(shù)據(jù)可視化“控制面板（Dash Board）”功能可在一個界面上顯示維護作業(yè)所需的數(shù)據(jù)，也可以根據(jù)用戶的角色和用途進行定制。

Dash Board示意圖

l  “異常檢測”功能，可根據(jù)從半導體光刻機內(nèi)各種傳感器獲得的信息，監(jiān)視光刻機狀況，捕捉異常征兆，提前采取措施，防止設(shè)備停止工作。用戶可根據(jù)檢測結(jié)果采取必要的措施。

l  自動恢復功能可在設(shè)備停止工作的狀態(tài)下，判斷是否可以恢復，如果可以恢復，設(shè)備會自動恢復運轉(zhuǎn)。例如，發(fā)生地震等災害時，可使暫停工作的設(shè)備恢復到原來的工作狀態(tài)。

l  如果需要人工修復支持，該系統(tǒng)會根據(jù)設(shè)備停止狀態(tài)顯示有效的修復步驟實施手冊，為順利修復提供支持。

部件定位手冊

l  佳能的專家工程師能夠?qū)崟r遠程檢查設(shè)備狀態(tài)，并提供遠程客戶服務(wù)。該系統(tǒng)搭載了從故障預防到故障發(fā)生后的處理等不同情形下的修復支持功能，以確保高水準的設(shè)備運轉(zhuǎn)率。

遠程客戶服務(wù)示意圖

l  通過對應用于不同產(chǎn)品器件、不同工藝的產(chǎn)品制造工法（Recipe）進行自動優(yōu)化，能有助于縮短從產(chǎn)品啟動制造到穩(wěn)定量產(chǎn)的周轉(zhuǎn)時間（TAT⁵）。該系統(tǒng)搭載的“工藝解決方案”功能，可通過精細對準和線寬控制設(shè)置，自動提供相關(guān)優(yōu)化工法（Recipe），從新型半導體制造投入初期開始，為實現(xiàn)高成品率提供支持。未來，佳能將繼續(xù)提供技術(shù)支持服務(wù)，以幫助客戶解決各種問題。

5. 周轉(zhuǎn)時間。指從試制產(chǎn)品投入到穩(wěn)定量產(chǎn)所需的時間。

l  具備與APC（Advanced Process Control）等工藝設(shè)備的接口，可與生產(chǎn)管理系統(tǒng)聯(lián)動運行。