MEMS集成化及智能化是趨勢爆發(fā)點為定時振蕩器

作者：時間：2013-11-19 來源：網(wǎng)絡(luò)

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ING-BOTTOM: 0px; WIDOWS: 2; TEXT-TRANSFORM: none; TEXT-INDENT: 0px; MARGIN: 0px 0px 20px; PADDING-LEFT: 0px; PADDING-RIGHT: 0px; FONT: 14px/25px 宋體, arial; WHITE-SPACE: normal; ORPHANS: 2; LETTER-SPACING: normal; COLOR: rgb(0,0,0); WORD-SPACING: 0px; PADDING-TOP: 0px; -webkit-text-size-adjust: auto; -webkit-text-stroke-width: 0px">　　EPCOS目前推出的主要產(chǎn)品業(yè)已結(jié)合檢測大氣壓力、溫度以及高度三種功能的傳感器。器件本身除了在尺寸高度上具有優(yōu)勢，且能夠在保證規(guī)格性能的同時提供高成本效益的產(chǎn)品。舉例來說，在定位系統(tǒng)產(chǎn)品的應(yīng)用上，EPCOS的壓力傳感器能夠提升精準(zhǔn)度高達25cm以內(nèi)。這有助于提高手持產(chǎn)品以及游戲機等消費性產(chǎn)品在移動中對靈敏度的判斷。在溫度及壓力的變化上也能夠以秒為單位來呈現(xiàn)差異。EPCOS公司的T5400是市場上最小型的數(shù)字壓力傳感器，專為滿足移動設(shè)備及其周邊需求而開發(fā)（圖1）。T5400使得如心率監(jiān)控、運動鞋或自行車計算機等健身與戶外領(lǐng)域的應(yīng)用程序設(shè)計更加豐富，另外還可結(jié)合高度計來追蹤高度變化。此外還有助于在無可用GPS信號的情況下改進室內(nèi)導(dǎo)航。

　　 MEMS集成化及智能化是趨勢爆發(fā)點為定時振蕩器

　　飛思卡爾已經(jīng)量產(chǎn)的FXOS8700CQ是一顆內(nèi)部集成了一個12位三軸加速度傳感器和一個三軸磁力計的6軸IMU器件，而PCB占位僅為3mm×3mm。FXOS8700具有0.1度的方向分辨率，可提供誤差低于5度的航向精確度，為高性能運動檢測和eCompass提供了理想的解決方案。FXOS8700具有低功耗特性和豐富的嵌入式功能，特別擁有磁場矢量幅度變化超限，磁場分量變化超限自動中斷輸出，內(nèi)置嵌入式硬磁自校準(zhǔn)功能，支持低功耗硬磁偏移補償?？蓮V泛應(yīng)用于智能手機、平板電腦及個人導(dǎo)航等設(shè)備，提供運動檢測、電子羅盤、游戲、增強實境及位置服務(wù)等應(yīng)用。

　　ADXL362是ADI公司推出的業(yè)界功耗最低的MEMS加速度計（圖2）。這款3軸數(shù)字MEMS加速度計在運動檢測喚醒模式下功耗僅為300nA，與最接近的競爭傳感器相比，相同模式下的功耗低60%。在全速測量模式下，數(shù)據(jù)速率為100Hz時，功耗為2μA，比相同頻率下工作的競爭MEMS加速度計低80%。除了固有的低功耗工作特性，ADXL362 MEMS加速度計還有其他能夠提高系統(tǒng)級功效的重要特性。ADXL362還內(nèi)置增強型樣本活動檢測功能，可準(zhǔn)確區(qū)分不同種類的運動。該特性可避免誤檢，防止傳感器不必要地開啟系統(tǒng)且縮短電池壽命。ADXL362可用作智能型、連續(xù)工作、運動激活開關(guān)的一部分。當(dāng)配備喚醒狀態(tài)輸出引腳時，運動傳感器可繞過處理器即時觸發(fā)啟動系統(tǒng)功能的開關(guān)，從而進一步降低系統(tǒng)功耗。極低的功耗使ADXL362適合從醫(yī)療保健到基礎(chǔ)設(shè)施監(jiān)控的各種極度注重電池壽命的應(yīng)用。

　　 MEMS集成化及智能化是趨勢爆發(fā)點為定時振蕩器

　　MEMS為汽車、工業(yè)等領(lǐng)域帶來創(chuàng)新

　　MEMS壓力傳感器主要用于檢測流體或固體的壓力，并能進行信號遠傳。它是工業(yè)應(yīng)用中最為常用的一種傳感器，常常作為一種自動化控制的前端組件，因此其廣泛應(yīng)用于各種工業(yè)控制環(huán)境，包括石油化工、造紙、水處理、電力、船舶、機床和公用設(shè)備等行業(yè)。MEMS壓力傳感器的封裝工藝，通常還可以將壓阻式敏感芯體做得體積小巧、靈敏度高，而且穩(wěn)定性好，并將壓敏電阻以惠司通電橋形式與應(yīng)變材料結(jié)合在一起，這樣就能確保壓阻式壓力傳感器過載能力強和抗沖擊壓力強。這相當(dāng)適合測量高量程范圍的壓力變化，尤其在1Mpa以上時，線性很好，精度也很高，并適合測量與應(yīng)變材料兼容的各類介質(zhì)。

　　EVG公司的Eric F. Pabo指出，除了消費電子領(lǐng)域，MEMS傳感器在汽車市場的應(yīng)用也將持續(xù)增長，因為更多的汽車市場使用系統(tǒng)諸如TMPS（胎壓監(jiān)測系統(tǒng)）和ESC（電子穩(wěn)定控制系統(tǒng)）。一些過去的專用MEMS器件如微測輻射熱計會出現(xiàn)在高端汽車應(yīng)用領(lǐng)域然后隨著器件成本的下降逐步走向中低端市場。MEMS會持續(xù)應(yīng)用于更多的工業(yè)領(lǐng)域以及出現(xiàn)在耐用消費品領(lǐng)域。不過，這兩個最新的應(yīng)用市場規(guī)模都不會大于消費類MEMS器件。

MEMS傳感器在環(huán)境和工業(yè)應(yīng)用中帶來的創(chuàng)新和突破來自于在降低成本基礎(chǔ)上的廣泛使用。對于環(huán)境應(yīng)用而言，可以想象一下如果傳感器已經(jīng)存在于全世界億萬智能手機中，那么它們可用來采集和報告環(huán)境信息。當(dāng)使用MEMS器件的傳感器每節(jié)點成本繼續(xù)下降，勢必MEMS器件的工業(yè)應(yīng)用會增加。一個MEMS麥克風(fēng)加上一個MPU（微處理單元）和一個無線電通信線路，可以用于監(jiān)控大型電機或旋轉(zhuǎn)電機的噪音級別并對噪音進行頻譜分析，當(dāng)感測到的聲音和頻譜特征出錯或探測到其他問題，就會發(fā)出信號傳送到中央監(jiān)控站要求檢修。

　　由于價格相對較高，以及在汽車、工業(yè)及醫(yī)療等領(lǐng)域的應(yīng)用范圍不斷擴大，壓力傳感器有望成為銷售額最高的MEMS器件。由于補償水平、裸片校準(zhǔn)與封裝類型的不同，MEMS壓力傳感器的平均價格目前相差很大，面向高價值工業(yè)與醫(yī)療應(yīng)用的從幾美元到幾十美元不等，而面向飛機液壓系統(tǒng)或飛行數(shù)據(jù)測量等專業(yè)應(yīng)用的則高達幾百美元，包括在惡劣的介質(zhì)、溫度和壓力條件下的工業(yè)應(yīng)用組合。MEMS壓力傳感器在汽車中的一個新應(yīng)用是傳動系統(tǒng)壓力感測。在工業(yè)領(lǐng)域，MEMS壓力傳感器的主要應(yīng)用包括采暖通風(fēng)及空調(diào)（HVAC）、水平面測量、各種工業(yè)過程與控制應(yīng)用。