藍寶石基LED外延片背減薄與拋光工藝研究 作者: 時間:2011-08-28 來源:網絡 加入技術交流群 掃碼加入和技術大咖面對面交流海量資料庫查詢 收藏 速和壓力只能使其在同一個數(shù)量級內變化。通過測量經過不同拋光時間后表面粗糙度的值,發(fā)現(xiàn)拋光時表面粗糙度下降的速率逐漸變慢,最后達到一個穩(wěn)定值,其大小取決于所選擇的工藝條件。上述結論為藍寶石基LED外延片背減薄與拋光工藝的進一步優(yōu)化提供了依據(jù)。 上一頁 1 2 下一頁
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