智能IMU增長快，F(xiàn)airchild九軸MEMS蘊含多種技術

　　據IHS，IMU(慣性測量單元)預計2019年將達到20億件市場規(guī)模，主要應用于增強現(xiàn)實與虛擬現(xiàn)實、智能手機、無人機、自動機器人/掃地機器人、智能手表和健身腕帶、3D人體跟蹤等。IMU對整體算法要求較高，因為傳感器往往是六軸、九軸等多軸產品。

　　為了適合這種發(fā)展趨勢，近日Fairchild公司推出 FIS1100六軸 MEMS IMU，集成了專有的AttitudeEngine運動處理器以及九軸傳感器融合算法，實現(xiàn)了低至1/10的處理功耗，可用于支持運動、采用電池供電的應用中。

　　飛兆半導體市場發(fā)展總監(jiān)陳俊稱，結合 XKF3 傳感器融合算法后，F(xiàn)IS1100 成為首款符合定位(四元素)規(guī)范的完整消費電子慣性測量裝置，具有±3°的俯仰和側滾準確度，以及±5°的偏航準確度。

　　另外，F(xiàn)IS1100 采用 Fairchild 的專有 MEMS 工藝，專門針對慣性傳感器而設計。該工藝包括業(yè)界領先的 60 μm器件層(注：MEMS與AttitudeEngine之間)，具有高縱橫比、硅通孔 (TSV) 互聯(lián)和垂直電極，以及具有雙真空設計的獨特單芯片陀螺儀和加速計。

進軍MEMS的背景

　　Fairchild是一家電源類公司，此次之所以推出傳感器類產品，源于對Xsens(傳感器融合算法XKF3)、Jyve(MEMS陀螺儀初創(chuàng)公司)等公司的收購。Fairchild 董事長和首席執(zhí)行官 Mark Thompson 指出：“Fairchild 推出首款 MEMS 產品，這是個關鍵的里程碑，意味著公司將獨特設計和制造專長應用到除電源以外的系統(tǒng)級解決方案。憑借因收購Xsens獲得的先進算法和深度應用技術，我們支持客戶開發(fā)針對各類快速增長的細分市場(如消費電子、工業(yè)和健康)的先進運動解決方案?！?br />