最近大量關(guān)于哈工大突破國產(chǎn)光刻機關(guān)鍵技術(shù)：“高速超精密激光干涉儀” 項目的文章充斥網(wǎng)絡，有說這是光刻機最后難關(guān)的，有說突破了這項技術(shù)就能造EUV光刻機的，甚至說“14納米芯片即將量產(chǎn)” 、“7納米芯片即將量產(chǎn)”等等的，這個項目話題一直鬧得沸沸揚揚，有打氣的，有嘲諷的，有看熱鬧，有事不關(guān)己高高掛起的，好不熱鬧！那么，哈工大的「高速超精密激光干涉儀」項目到底是干啥的呢？怎么就火了呢？哈工大的這次突破，真的能促使中芯國際突破光刻機技術(shù)，實現(xiàn)量產(chǎn)先進工藝芯片了嗎？別著急看到最后，一一道來！
首先，哈工大「高速超精密激光干涉儀」項目，是怎么火的呢？是因為這個項目斬獲了：世界光子大會首屆中國光電儀器“金燧獎”，哈工大儀器學院胡鵬程教授團隊研制的“高速超精密激光干涉儀”獲得金獎，并且還是（排名第一）
那么這個“金燧獎又是個什么？含金量很高嗎？據(jù)了解，“金燧獎”是中國光學工程學會主辦的首屆，旨在面向國家重大戰(zhàn)略需求，突出創(chuàng)新主體地位，促進關(guān)鍵核心技術(shù)攻關(guān)，突破“卡脖子”技術(shù)難題，重點評選出我國自主研發(fā)、制造、生產(chǎn)的高端光電儀器，為助力我國自主研發(fā)的科學儀器搶占科技制高點、樹立民族品牌自信、展現(xiàn)自主核心競爭力、的中國光電儀器品牌榜評選活動。
說到這里就又不得不說主辦方：中國光學工程學會有多牛了！1997年，在我國光學界泰斗王大珩院士的建議下，國務院學位委員會同意將“光學工程”列為工學一級學科。作為一門理工交叉的學科，光學工程學科的理論體系得到了不斷地完善與發(fā)展，如今光學工程已發(fā)展為以光學為主，并與信息科學、能源科學、材料科學、生命科學、空間科學、精密機械與制造、計算機科學及微電子技術(shù)等學科緊密交叉和相互滲透的學科。2014年國家提出“增強自主創(chuàng)新能力、打造科技強國夢想”的精神，打造科技強國需要大力推動和發(fā)展光學工程事業(yè)。為提高我國光學工程技術(shù)的自主創(chuàng)新能力、完成產(chǎn)業(yè)化轉(zhuǎn)型、培養(yǎng)尖端光學工程人才實現(xiàn)我國科技強國夢想，并能更好地與國際接軌，金國藩院士、張履謙院士、杜祥琬院士、莊松林院士、姜文漢院士、龔惠興院士、王家騏院士、許祖彥院士、姜景山院士等30位光學界德高望重的院士聯(lián)名倡議，由國家民政部提出申請，國務院批準成立“中國光學工程學會” 。作為權(quán)威、專業(yè)的學術(shù)組織，中國光學工程學會在光學領(lǐng)域具有很高的聲譽和影響力。
說回正題：這次獲得金獎第一名的高速超精密激光干涉儀是什么？
首先激光干涉儀是一種利用激光的干涉原理進行長度、形狀、速度等物理量測量的儀器。它將激光分成兩束，經(jīng)過不同的光程后再匯合，這時由于兩束激光相位差異，會產(chǎn)生明暗條紋，這些條紋可以用來反映被測物體的長度、形狀或者速度等信息。而高速超精密激光干涉儀主要應用于機械、電子、光學、生物等領(lǐng)域中的高速、高精度測量。在制造業(yè)中，高速超精密激光干涉儀可以用來檢測微小的零部件尺寸和形狀，從而提高產(chǎn)品的質(zhì)量和可靠性；在生命科學中，它可以用來測量細胞和組織的運動和變形等信息。與傳統(tǒng)的激光干涉儀相比，高速超精密激光干涉儀具有更高的采樣率和更快的測量速度，并且能夠?qū)崿F(xiàn)納米級別的測量精度。它一般由激光發(fā)生器、光路系統(tǒng)、控制系統(tǒng)和信號處理系統(tǒng)等組成，其中激光發(fā)生器產(chǎn)生高能量、高穩(wěn)定性的激光，光路系統(tǒng)負責將激光分成兩束并進行干涉，控制系統(tǒng)則控制整個系統(tǒng)的運作，信號處理系統(tǒng)則將干涉條紋轉(zhuǎn)化為可視化的數(shù)據(jù)。
那么高速超精密激光干涉儀與芯片制造有什么聯(lián)系？在半導體制造中，光刻機主要用來將芯片圖案投影到硅片上，而高速超精密激光干涉儀則可以用來測量制造過程中的芯片形狀、厚度等信息。例如，在晶圓磨削、CMP（化學機械拋光）、薄膜沉積等加工步驟中，利用高速超精密激光干涉儀對晶圓表面進行測量，能夠?qū)崟r檢測晶圓的形狀變化以及薄膜厚度，從而保證芯片質(zhì)量和制造效率。此外，在芯片后段的封裝和測試階段中，高速超精密激光干涉儀也可以用來測量封裝件的形狀和尺寸，確保封裝件與芯片的匹配精度。因此，高速超精密激光干涉儀在半導體制造中發(fā)揮著重要的作用。結(jié)論：簡單點說就是，高速超精密激光干涉儀并不是光刻機當中的零件，而是與光刻機共同構(gòu)成了半導體制造中不可或缺的技術(shù)鏈。
高速超精密激光干涉儀不是光刻機最后一道難關(guān)，中芯國際是不是又沒戲了？恰恰相反！雖然高速超精密激光干涉儀并不是制造光刻機核心配件，但它直接牽涉到芯片良品率問題。在整個制造流程中，最后一個環(huán)節(jié)就是芯片的測量和檢測，它能夠精確地測量納米級別的尺寸和形狀變化，以便檢測芯片是否符合設計規(guī)格。這對于保證芯片質(zhì)量和性能至關(guān)重要。如果在這個環(huán)節(jié)出現(xiàn)了問題，那么整個芯片都會被認為是廢品。因此，高速超精密激光干涉儀的準確性和穩(wěn)定性對于保證芯片的品質(zhì)和良品率非常重要。在現(xiàn)代芯片制造中，越來越多的晶體管被集成在一個非常小的芯片上，因此對于測量和檢測的要求也越來越高。高速超精密激光干涉儀可以以非常高的精度進行測量，并且可以快速地完成檢測，從而有效地提高了芯片的生產(chǎn)效率和品質(zhì)。結(jié)論：不是光刻機最后難關(guān)，而是芯片制造的最后難關(guān)，已經(jīng)直接牽涉到芯片良品率問題！
既然已經(jīng)牽涉芯片良品率問題，那么自主光刻機真的來的？目前，中芯國際官網(wǎng)，晶圓代工解決方案工藝技術(shù)欄，依然停留在28納米工藝上，并未直接上線14納米工藝代工技術(shù)服務。但是蹊蹺的事情來了：
中芯國際官網(wǎng)截圖在官網(wǎng)直接點擊晶圓代工解決方案，彈出一段這樣的介紹：中芯國際是一家純晶圓代工廠，向全球客戶提供0.35微米到14納米8寸和12寸芯片代工與技術(shù)服務。然而中芯國際沒有對此進行任何官方聲明，直接悄然上線14納米代工與技術(shù)服務，原因不得而知。
最后：中芯國際一直致力于自主研發(fā)關(guān)鍵制造技術(shù)，因此，猜測中芯國際正在秘密推進14納米工藝的自主研發(fā)和量產(chǎn)計劃，希望不是官網(wǎng)信息處錯。雖然只是14納米，如果是真的進入量產(chǎn)試錯階段，也是非常值得肯定的，相信通過技術(shù)迭代，打破14納米技術(shù)封鎖后，7納米及以上先進芯片制造工藝的研究不會像目前這樣進度緩慢！而這次“悄然上線”只是其中的一個信號。相信不久，中芯國際會為外界揭開這次“悄然上線”的真正目的和意圖，讓我們拭目以待！
來源：世界先進制造技術(shù)論壇
*博客內(nèi)容為網(wǎng)友個人發(fā)布，僅代表博主個人觀點，如有侵權(quán)請聯(lián)系工作人員刪除。
加入技術(shù)交流群
