Imec發(fā)布EUV掩膜缺陷評估方面的成果
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Imec聯(lián)合合作伙伴發(fā)布兩份EUV掩膜評估結(jié)果，結(jié)果顯示EUV供應(yīng)商須在檢測掩膜缺陷能力方面進(jìn)行改善。并與Zeiss SMS合作通過實驗演示了一項消除缺陷的補(bǔ)償技術(shù)。
本文引用地址：http://m.butianyuan.cn/article/118835.htm
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Imec聯(lián)合合作伙伴發(fā)布兩份EUV掩膜評估結(jié)果，結(jié)果顯示EUV供應(yīng)商須在檢測掩膜缺陷能力方面進(jìn)行改善。并與Zeiss SMS合作通過實驗演示了一項消除缺陷的補(bǔ)償技術(shù)。
本文引用地址：http://m.butianyuan.cn/article/118835.htm
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