國家科技重大專項極紫外光刻膠項目通過驗收

　　5月24日，國家科技重大專項“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”專項(以下簡稱02重大專項)實施管理辦公室組織任務(wù)驗收專家組、財務(wù)驗收專家組對02重大專項“極紫外光刻膠材料與實驗室檢測技術(shù)研究”項目進行了任務(wù)驗收和財務(wù)驗收。與會專家聽取了項目負責(zé)人和課題負責(zé)人對項目和課題完成情況的匯報、測試組的現(xiàn)場測試報告、財務(wù)執(zhí)行情況報告等，審閱了驗收資料。經(jīng)過認真討論，與會專家一致同意該項目通過驗收。

　　《國家中長期科學(xué)技術(shù)發(fā)展規(guī)劃綱要(2006-2020年)》在重點領(lǐng)域中確定一批優(yōu)先主題的同時，圍繞國家目標，進一步突出重點，篩選出若干重大戰(zhàn)略產(chǎn)品、關(guān)鍵共性技術(shù)或重大工程作為重大專項，力爭取得突破，努力實現(xiàn)以科技發(fā)展的局部躍升帶動生產(chǎn)力的跨越發(fā)展。

　　“極大規(guī)模集成電路制造裝備與成套工藝”專項(02專項)項目“極紫外光刻膠材料與實驗室檢測技術(shù)研究”由中國科學(xué)院化學(xué)研究所、中國科學(xué)院理化技術(shù)研究所、北京科華微電子材料有限公司聯(lián)合承擔。經(jīng)過項目組全體成員的努力攻關(guān)，完成了EUV光刻膠關(guān)鍵材料的設(shè)計、制備和合成工藝研究、配方組成和光刻膠制備、實驗室光刻膠性能的初步評價裝備的研發(fā)，達到了任務(wù)書中規(guī)定的材料和裝備的考核指標。項目共申請發(fā)明專利15項(包括國際專利5項)，截止到目前，共獲得授權(quán)專利10項(包括國際專利授權(quán)3項);培養(yǎng)了博士研究生9名，碩士研究生1名。

　　與會專家對項目取得的研發(fā)成果給予了充分肯定，指出開展極紫外光刻膠的研發(fā)具有戰(zhàn)略眼光，經(jīng)過項目組成員幾年的努力，圓滿地完成了研發(fā)任務(wù)，達到了項目任務(wù)書中規(guī)定的指標;建立了一支在高檔光刻膠領(lǐng)域的研發(fā)隊伍，為我國的半導(dǎo)體集成電路產(chǎn)業(yè)的穩(wěn)定發(fā)展提供了人才支持。

　　課題承擔單位中科院理化所和項目負責(zé)單位中科院化學(xué)所的相關(guān)負責(zé)人在致辭中對專家組多年來對光刻膠研發(fā)團隊的支持表示衷心的感謝。我國的高檔電子化學(xué)品的研發(fā)正處于高速發(fā)展期，該項目的完成將對我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的穩(wěn)定發(fā)展提供重要保證，希望對高檔光刻膠的研發(fā)給予持續(xù)的支持;鼓勵研發(fā)團隊繼續(xù)努力，發(fā)揮在特殊材料領(lǐng)域設(shè)計和制備的優(yōu)勢，為我國半導(dǎo)體工業(yè)的發(fā)展做出自己的貢獻。

　　科技部重大專項辦公室、北京市經(jīng)濟和信息化委員會、02重大專項辦公室、02重大專項總體組及02重大專項辦公室聘請的任務(wù)驗收專家和財務(wù)驗收專家等有關(guān)單位的負責(zé)人和專家參加了本次驗收會。