江蘇芯夢(mèng)TSV先進(jìn)封裝研發(fā)中心揭牌

8月8日，江蘇芯夢(mèng)TSV先進(jìn)封裝研發(fā)中心揭牌儀式在中吳潤(rùn)金先進(jìn)制造產(chǎn)業(yè)園舉行。

據(jù)江蘇芯夢(mèng)介紹，其TSV先進(jìn)封裝研發(fā)中心為江蘇芯夢(mèng)半導(dǎo)體設(shè)備有限公司打造，中心以水平式電化學(xué)沉積工藝為核心，以自主研發(fā)為導(dǎo)向，構(gòu)建先進(jìn)封裝產(chǎn)業(yè)全工藝流程測(cè)試平臺(tái)。該研發(fā)中心總面積1232.8㎡，擁有千級(jí)和百級(jí)兩種測(cè)試潔凈環(huán)境。配備自研生產(chǎn)的Xtrim-ECD 電鍍?cè)O(shè)備及全套涂膠、曝光、顯影、蝕刻等先進(jìn)封裝主流程工藝設(shè)備，可實(shí)現(xiàn)先進(jìn)封裝中RDL、Bumping、TSV等電鍍工藝的打樣測(cè)試；同時(shí)還配備了Xtrim-FC 晶圓盒清洗、Xtrim-SC-CL清洗、Xtrim-SC-BR刷洗、Xtrim-SC-ET刻蝕、Xtrim-SC-BE背面腐蝕等設(shè)備，能夠滿足各產(chǎn)品新技術(shù)開發(fā)測(cè)試和客戶打樣需求。

資料顯示，江蘇芯夢(mèng)半導(dǎo)體設(shè)備有限公司致力于提供集成電路制造、先進(jìn)封裝及襯底制造等領(lǐng)域高端濕法制程裝備及工藝的綜合解決方案，主要產(chǎn)品包括全自動(dòng)晶圓級(jí)化學(xué)鍍?cè)O(shè)備、全自動(dòng)單片清洗設(shè)備、全自動(dòng)FOUP清洗設(shè)備、高深寬比TSV微盲孔填充設(shè)備等。