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MEMS技術(shù)發(fā)展及應(yīng)用優(yōu)勢(shì)

敘述了在微工程研究領(lǐng)域有代表性的微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)特點(diǎn)，介紹了MEMS壓力傳感器、MEMS陀螺儀、MEMS加速度計(jì)等典型的MEMS產(chǎn)品，概述了MEMS基礎(chǔ)理論研究進(jìn)展以及國(guó)外對(duì)MEMS陀螺儀、MEMS加速度計(jì)的研究和發(fā)展現(xiàn)狀，分析了MEMS技術(shù)在飛航導(dǎo)彈等飛行器上的應(yīng)用優(yōu)勢(shì)。
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MEMS傳感器的主要優(yōu)點(diǎn)

a.可提高信噪比。在同一個(gè)芯片上進(jìn)行信號(hào)傳輸前可放大信號(hào)以提高信號(hào)水平，減小干擾和傳輸?shù)脑肼?，特別是同一芯片上進(jìn)行A/D轉(zhuǎn)換時(shí)，更能改善信噪比。b.可改善傳感器悸性能。因這種傳感器集成了敏感元件、放大電路和
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MEMS技術(shù)及應(yīng)用淺談

前言:MEMS是Micro Electro Mechanical System，的英文縮寫(xiě)，也叫微電子機(jī)械系統(tǒng).它的出現(xiàn)可追溯到19世紀(jì).20世紀(jì)60年代美國(guó)人首先研發(fā)出了結(jié)晶異方向腐蝕、陽(yáng)極鍵合等早期的基本微加工技術(shù)。到了70年代，也是美國(guó)人提
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中國(guó)手機(jī)和平板電腦制造商在2012年獲得MEMS傳感器采購(gòu)的份額

根據(jù)信息及分析公司IHS(紐約證券交易所：IHS)的IHS iSuppli MEMS專(zhuān)題報(bào)告，中國(guó)手機(jī)和平板電腦制造商在2012年使他們的微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)運(yùn)動(dòng)傳感器采購(gòu)份額增加了一倍，顯著地反映了這些公司在全球市場(chǎng)中的不斷上升。
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醫(yī)療電子和工業(yè)部門(mén)疲軟導(dǎo)致高價(jià)值微電子機(jī)械系統(tǒng)市場(chǎng)增長(zhǎng)變緩

根據(jù)信息及分析公司IHS(紐約證券交易所：IHS)的IHS iSuppli MEMS高價(jià)值MEMS市場(chǎng)追蹤報(bào)告，高價(jià)值微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)市場(chǎng)去年增長(zhǎng)疲軟，其主要原因是主流醫(yī)療電子和工業(yè)部門(mén)疲軟。
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可佩戴電子產(chǎn)品及健康監(jiān)測(cè)應(yīng)用促進(jìn)MEMS運(yùn)動(dòng)傳感器增長(zhǎng)

　　從可以記錄心率的智能手表，到可以追蹤身體活動(dòng)的智能臂帶，可佩戴電子產(chǎn)品與健康監(jiān)控設(shè)備正在日益吸引關(guān)注自身健康的消費(fèi)者興趣，用于這些產(chǎn)品的MEMS傳感器的出貨量將在短短五年內(nèi)增長(zhǎng)三倍以上。　　據(jù)IHS iSuppli公司，從2000萬(wàn)美元左右的穩(wěn)定基礎(chǔ)開(kāi)始起步，預(yù)計(jì)可佩戴電子產(chǎn)品與健康監(jiān)控設(shè)備中的MEMS運(yùn)動(dòng)傳感器營(yíng)業(yè)收入今年將增至3100萬(wàn)美元，2014年上升33%至4130萬(wàn)美元。2015年將進(jìn)一步增長(zhǎng)47%至6080萬(wàn)美元。　　未來(lái)五年中，最大增幅將出現(xiàn)在2016年，屆時(shí)年度營(yíng)業(yè)收入將跳增
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蘋(píng)果與三星是手機(jī)與平板電腦MEMS動(dòng)作傳感器的最大買(mǎi)家

　　據(jù)IHS iSuppli公司的MEMS專(zhuān)題報(bào)告，蘋(píng)果與三星電子是2012年手機(jī)與平板電腦MEMS動(dòng)作傳感器的最大買(mǎi)家，合計(jì)控制了將近五分之三的市場(chǎng)，因此在與供應(yīng)商談判價(jià)格時(shí)握有巨大的籌碼。　　在采購(gòu)動(dòng)作傳感器方面，蘋(píng)果與三星都遠(yuǎn)遠(yuǎn)領(lǐng)先于諾基亞、LG電子、HTC、索尼和摩托羅拉等對(duì)手。蘋(píng)果這方面的支出是4.224億美元，市場(chǎng)份額是31%。三星的支出是3.408億美元，市場(chǎng)份額是25%。這兩家合計(jì)占有56%的份額，合計(jì)支出達(dá)到7.632億美元，讓其它廠商望塵莫及。蘋(píng)果與三星以外的買(mǎi)家包括中國(guó)的灰市手機(jī)
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意法半導(dǎo)體重申其MEMS專(zhuān)利領(lǐng)導(dǎo)廠商地位

　　橫跨多重電子應(yīng)用領(lǐng)域、全球領(lǐng)先的半導(dǎo)體供應(yīng)商，全球最大的運(yùn)動(dòng)、環(huán)境、音頻和微射流MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))技術(shù)供應(yīng)商意法半導(dǎo)體(STMicroelectronics，簡(jiǎn)稱(chēng)ST;紐約證券交易所代碼：STM)宣布，其美國(guó)子公司向美國(guó)國(guó)際貿(mào)易委員會(huì)(ITC)起訴，指控InvenSense所有MEMS產(chǎn)品以及其兩個(gè)客戶(hù)Black and Decker與Roku的產(chǎn)品侵犯意法半導(dǎo)體的五項(xiàng)專(zhuān)利權(quán)，請(qǐng)求國(guó)際貿(mào)易委員會(huì)對(duì)此案展開(kāi)調(diào)查并發(fā)布禁止令，限制InvenSense的陀螺儀和加速度計(jì)等侵權(quán)產(chǎn)品及其客戶(hù)的含有Inven
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IDT推出業(yè)界最低抖動(dòng)MEMS振蕩器

擁有模擬和數(shù)字領(lǐng)域的優(yōu)勢(shì)技術(shù)、提供領(lǐng)先的混合信號(hào)半導(dǎo)體解決方案的供應(yīng)商 IDT?公司 (Integrated Device Technology, Inc.; NASDAQ: IDTI) 日前推出業(yè)界首款差異化MEMS振蕩器，具有100飛秒(fs)典型相位抖動(dòng)性能和集成的頻率裕量設(shè)定能力。
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MEMS市場(chǎng)逆勢(shì)增長(zhǎng) 智能手機(jī)刺激中國(guó)MEMS市場(chǎng)需求

　　盡管去年不利的宏觀經(jīng)濟(jì)環(huán)境沖擊了全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)，但中國(guó)MEMS市場(chǎng)卻逆勢(shì)增長(zhǎng)了19%，達(dá)到19億美元。消費(fèi)者熱捧裝備MEMS器件的移動(dòng)產(chǎn)品，尤其是智能手機(jī)與媒體平板。　　據(jù)IHS iSuppli公司中國(guó)研究部門(mén)的報(bào)告，今年中國(guó)MEMS采購(gòu)金額將增長(zhǎng)到23億美元，2016年達(dá)到30億美元，復(fù)合年度增長(zhǎng)率達(dá)13.4%。圖7所示為IHS對(duì)于中國(guó)MEMS傳感器消費(fèi)情況的預(yù)測(cè)。　　 ? 　　圖7：中國(guó)MEMS消費(fèi)預(yù)測(cè) (以百萬(wàn)美元計(jì)) 　　智能手機(jī)、平板電腦與其它移動(dòng)設(shè)備銷(xiāo)售暢旺，正
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如何利用MEMS麥克風(fēng)改善移動(dòng)設(shè)備聲學(xué)性能

MEMS(微型機(jī)電系統(tǒng))麥克風(fēng)外形較小，與目前廣泛采用的駐極體麥克風(fēng)相比，具備更強(qiáng)的耐熱、抗振和防射頻干擾性能...
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多傳感器集成是趨勢(shì) MEMS制造工藝是挑戰(zhàn)

　　多傳感器集成化在現(xiàn)階段對(duì)于MEMS制造工藝依然是不小的挑戰(zhàn)。近年來(lái)以陀螺儀、加速度計(jì)、壓力傳感器為代表的MEMS器件得到了快速發(fā)展，隨著生活應(yīng)用的不斷豐富與提高，也需要更多的傳感感測(cè)功能，多集成度的MEMS器件逐漸受到青睞，眾多廠商推出六軸/九軸/十軸的MEMS器件。究竟在未來(lái)多集成度MEMS器件和單純MEMS器件哪個(gè)會(huì)是主流呢? 　　MCU+Sensor組合VS單純MEMS傳感器模塊　　智能手機(jī)與平板是驅(qū)動(dòng)今年增長(zhǎng)的關(guān)鍵力量，這些產(chǎn)品中很多已經(jīng)具有3軸加速計(jì)、3軸陀螺儀、麥克風(fēng)、立體聲波濾波器
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智能手機(jī)驅(qū)動(dòng)MEMS運(yùn)動(dòng)傳感器以?xún)晌粩?shù)增長(zhǎng)

　　據(jù)IHSiSuppliMEMS特別研究報(bào)告，今年用于手機(jī)和平板的MEMS運(yùn)動(dòng)傳感器收入將達(dá)15億美元，同比2012年的13億美元增長(zhǎng)13%。雖然相比于2012年21%、2011年85%的增長(zhǎng)有些下滑，但和大多數(shù)電子元件不溫不火的增長(zhǎng)比起來(lái)，這仍然是一股強(qiáng)勁的增長(zhǎng)。　　2013年之后，還將有兩年市場(chǎng)會(huì)以?xún)晌粩?shù)增長(zhǎng)，之后開(kāi)始放緩，到2016年，市場(chǎng)收入將達(dá)22.1億美元。屆時(shí)，將有超過(guò)60億的運(yùn)動(dòng)傳感器用于手機(jī)和平板，多于2011年的16億。　　IHSMEMS與傳感器首席高級(jí)分析師Jé
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DigitalOptics公司推出mems|cam

Tessera Technologies, Inc.(納斯達(dá)克上市代碼：TSRA)的全資子公司，DigitalOptics 公司(DigitalOptics 或 DOCTM)，日前宣布推出用于智能手機(jī)的微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)自動(dòng)對(duì)焦攝像頭模塊 mems|cam?。
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