TFT-LCD制造技術(shù)與工藝

薄膜晶體管液晶顯示器(TFT-LCD)通常采用兩個加工過程并行進行加工成成品，如圖1所示。其基本工藝如下：

　　● 通過前玻璃基板/彩色濾光基板工藝過程形成精確排列的彩色濾光層。

　　● 薄膜基板工藝形成薄膜晶體管液晶(TFT)陣列及顯示器像素控制所用其它電子元件。每個像素一般對應(yīng)三個薄膜晶體管液晶(TFT)，每個像素控制一個共同構(gòu)成一個像素的“色點”。薄膜形成工藝采用與半導體制造技術(shù)相類似的CVD、Etch及PVD等工藝技術(shù)。此類工藝步驟應(yīng)反復數(shù)次，連續(xù)膜層方可形成一個功能元件(圖2)。

　　● 兩塊基板合二為一，中間注入液晶材料。

　　● 最后組裝背光及驅(qū)動電子元件，制造出TFT-LCD 模塊。