利用濕式蝕刻工藝提高LED光萃取效率之產(chǎn)能與良率的方法
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VI.化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)：化學(xué)液之補充體積的精確度要高。
VII.外延片自動傳送系統(tǒng)：外延片傳送可保證連續(xù)順利傳送達400 Runs,以確保制造上之良率。
圖12、弘塑科技設(shè)計制作之高溫磷酸濕式蝕刻自動化量產(chǎn)設(shè)備。
結(jié)論
本文已針對藍寶石基板之高溫磷酸濕式蝕刻工藝，以及其工藝設(shè)備在設(shè)計制作上必須考慮哪些因素，進行詳細探討。由于LED之藍寶石基板化學(xué)濕式蝕刻工藝，可藉由基板表面幾何圖形之變化，來改變LED的散射機制，或?qū)⑸⑸涔鈱?dǎo)引至LED內(nèi)部，進而由逃逸角錐中穿出，所以成為增加LED光萃取效率的有效技術(shù)。目前LED業(yè)界特別考慮到如何降低成本與增進產(chǎn)能，并且又要合乎環(huán)保與工業(yè)安全等需求，可以預(yù)見地具備操作自動化與工藝標(biāo)準(zhǔn)化之系統(tǒng)設(shè)備，將成為未來LED生產(chǎn)線量產(chǎn)之競爭主力。
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