上海松江產LED晶圓倒片機將進入規(guī)模產線運行

由上海福賽特智能設備有限公司獨立研發(fā)的LED半導體晶圓倒片機將于年內在三安生產線投入量產運營。該設備用于LED外延工藝，可實現(xiàn)晶圓從原料倉至PVD工序間，以及PVD工序到MOCVD間的周轉。

上海福賽特介紹，該設備采用行業(yè)領先的潔凈機器人、先進的激光傳感器和CCD，以及自主研發(fā)的載盤尋邊器等，配合自主研發(fā)的信息化系統(tǒng)，可自動與企業(yè)生產的MES系統(tǒng)實現(xiàn)數據交互，連接各個工藝段中的獨立設備系統(tǒng)，組成閉環(huán)的智能信息化系統(tǒng)。同時，可實現(xiàn)晶圓自動上下片、晶圓尋邊、晶圓Wafer　ID自動讀取和校對、生產工單的解批和并批等。

上海福賽特表示，即將量產的LED半導體晶圓倒片機中的機電設計、控制軟件、智能算法等十多項技術均由公司獨立自主研發(fā)，擁有自主知識產權。