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美光:成功繞過了EUV光刻技術(shù)

作者: 時(shí)間:2022-11-06 來源:泡泡網(wǎng) 收藏

本周宣布,采用全球先進(jìn)1β(1-beta)制造工藝的DRAM內(nèi)存芯片已經(jīng)送樣給部分手機(jī)制造商、芯片平臺(tái)合作伙伴進(jìn)行驗(yàn)證,并做好了量產(chǎn)準(zhǔn)備。1β工藝可將能效提高約15%,存儲(chǔ)密度提升35%以上,單顆裸片(Die)容量高達(dá)16Gb(2GB)。

本文引用地址:http://m.butianyuan.cn/article/202211/440085.htm

一個(gè)值得關(guān)注的點(diǎn)是,稱,1β繞過了(極紫外光刻)工具,而依然采用的是DUV(深紫外光刻)。這意味著相較于三星、SK海力士,需要更復(fù)雜的設(shè)計(jì)方案。畢竟,DRAM的先進(jìn)性很大程度上取決于每平方毫米晶圓面積上集成更多更快半導(dǎo)體的能力,各公司目前通過不斷縮小電路面積來進(jìn)行競(jìng)爭(zhēng)。

同時(shí),美光的產(chǎn)品最終在成本上或許也會(huì)更具比較優(yōu)勢(shì)。據(jù)悉,美光已經(jīng)在LPDDR5X移動(dòng)內(nèi)存上率先應(yīng)用1β工藝,還使用了第二代HKMG(高K金屬柵極)工藝,最 高速率8.5Gbps(等效于8500MHz)。



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