三星旗下Semes成功開發(fā)出一種ArF-i光刻涂膠/顯影設(shè)備

6月24日，三星電子旗下的韓國半導(dǎo)體和顯示器制造設(shè)備公司表示，第一臺名為“Omega Prime”的設(shè)備已于去年供貨，Semes正在制造第二臺設(shè)備。

Semes表示，在Omega Prime設(shè)備上應(yīng)用了噴嘴、烘烤溫度和機(jī)器人位置自動(dòng)調(diào)整系統(tǒng)，以消除涂布層的偏差。

目前，Semes已制造出KrF光刻涂膠/顯影設(shè)備，并在此基礎(chǔ)上開發(fā)了ArF版本，以支持波長更短的新型光刻機(jī)。