惠普向第三方授權(quán)納米壓印光刻技術(shù)
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加州Nanolithosolutions公司日前獲得了惠普實驗室授權(quán)的一項納米壓印光刻技術(shù),該技術(shù)可用于生產(chǎn)線寬只有15納米的電路板原型。
對此,公司首席執(zhí)行官Bo Pi稱:“利用惠普的該項技術(shù),我們可以從事生物芯片、光子芯片,以及相關(guān)應(yīng)用的研究。”
利用惠普的新技術(shù),Nanolithosolutions已經(jīng)開發(fā)出一套工具。該款工具包含一個模塊和掩模對準(zhǔn)器,可用于創(chuàng)建基片上的晶體管模式。
據(jù)悉,該款工具簡單易用,成本低廉,可以將普通的掩模對準(zhǔn)器變成高分辨率的納米壓印光刻機。
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