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光刻機(jī)
光刻機(jī) 文章 進(jìn)入光刻機(jī)技術(shù)社區(qū)
ASML除了光刻機(jī)還有什么秘密武器
- ASML( Advanced Semiconductor Material Lithography)是半導(dǎo)體光刻系統(tǒng)的主要供應(yīng)商,也是EUV系統(tǒng)的唯一供應(yīng)商。根據(jù)Network題為“Sub 100nm光刻:市場(chǎng)分析與戰(zhàn)略問(wèn)題”的報(bào)道,ASML當(dāng)前取得的成績(jī)可以匯總為以下幾點(diǎn): 1)ASML占據(jù)EUV光刻市場(chǎng)100%的份額; 2)ASML占據(jù)浸沒(méi)式193nm DUV光刻市場(chǎng)93%的份額; 3)ASML占據(jù)248nm DUV光刻行業(yè)73%的份額?! ?016年,ASML以31億美元收購(gòu)了He
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全面起底光刻機(jī)7nm芯片制造工藝
- 對(duì)于業(yè)界傳言說(shuō)中國(guó)光刻機(jī)超越世界領(lǐng)先水平,這點(diǎn)內(nèi)容不夠準(zhǔn)確。嚴(yán)格意義上來(lái)說(shuō),中國(guó)屬于蝕刻技術(shù)達(dá)到了一定的水平,光刻機(jī)制造技術(shù)目前還是依靠荷蘭進(jìn)口。 通過(guò)引進(jìn)進(jìn)口,能夠?qū)?nm搞定,這就是一大進(jìn)步了。其實(shí)更低的制程雖然好,但良品率很重要,不能一味追求制程,還要在芯片設(shè)計(jì)創(chuàng)新上下功夫的。就像炒菜的鐵鍋,幾十塊的鐵鍋和幾千塊的鐵鍋,師傅不同,炒菜出來(lái)味道就很不一樣了哦。 只是這臺(tái)光刻機(jī)理論上確實(shí)可以達(dá)到7納米,但媒體和網(wǎng)民卻忘了有一種東西叫做工藝,這也是為什么同樣的設(shè)備臺(tái)積電的7納米可以量產(chǎn)而三星卻
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國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)真的這么厲害嗎?這些光刻機(jī)知識(shí)您得知道
- 近日,中科院研制的“超分辨光刻裝備”通過(guò)驗(yàn)收。消息傳著傳著,就成了謠言——《國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)偉大突破,國(guó)產(chǎn)芯片白菜化在即》《突破荷蘭技術(shù)封鎖,彎道超車》《厲害了我的國(guó),新式光刻機(jī)將打破“芯片荒”》……筆者幫您們捋一捋! 關(guān)于光刻機(jī),這些知識(shí)您得知道 光刻機(jī)不光是制造芯片用。一張平面(不論硅片還是什么材料)想刻出繁復(fù)的圖案,都可以用光刻——就像照相,圖像投在感光底片上,蝕掉一部分。半個(gè)多世紀(jì)前,美國(guó)人用這個(gè)原理“印刷”電路,從而有了大規(guī)模集成電路——芯片。為了節(jié)能和省硅料,芯片越做越小,逼得光刻機(jī)越做越極
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拒絕技術(shù)壟斷 國(guó)產(chǎn)首臺(tái)超分辨光刻機(jī)技術(shù)淺析
- 2018年11月29日,一則名為“寬刀雕細(xì)活 我國(guó)造出新式光刻機(jī)”的消息刷爆網(wǎng)絡(luò),援引自新聞中的消息,我們可以看到,由我國(guó)中科院光電技術(shù)研究所承擔(dān)的國(guó)家重大科研裝備研制項(xiàng)目“超分辨率裝備研制”通過(guò)驗(yàn)收。很多人振奮的原因在于這是我國(guó)自行研制的世界首臺(tái)利用紫外光源實(shí)現(xiàn)22nm分辨率的光刻機(jī),這意味著我國(guó)在微電子技術(shù)領(lǐng)域再次邁出了堅(jiān)實(shí)的一步,縮小了與全球在該領(lǐng)域的差距。在祝賀偉大祖國(guó)的同時(shí),我們總結(jié)了一下目前關(guān)于這方面的學(xué)術(shù)研究,為大家淺析該技術(shù)讓所有國(guó)人為之震動(dòng),舉國(guó)歡慶的原因。 何為光刻機(jī)?
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刷屏的“國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)”是真牛還是吹牛?
- 拋開唯恐天下不亂的非專業(yè)、有偏差的報(bào)道,也排除可能光電所有意或無(wú)意的誤導(dǎo),也許我們?cè)谖磥?lái)很長(zhǎng)一段時(shí)間內(nèi)都無(wú)法打破ASML的壟斷,但是也需冷靜看待成果,為實(shí)質(zhì)進(jìn)步鼓掌。既不吹??浯?,也不習(xí)慣偏見,更無(wú)需妄自菲薄。
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ASML看好中國(guó)市場(chǎng) 最先進(jìn)光刻機(jī)將入華
- 中國(guó)集成電路制造年會(huì)近日邀請(qǐng)到了光刻機(jī)霸主ASML(阿斯麥)中國(guó)區(qū)總裁沈波參加,他出面解答了一些媒體關(guān)心的話題?! ”M管UMC(聯(lián)電)和Globalfoundries(格羅方德,格芯)先后宣布放棄7nm制程及更先進(jìn)工藝的研發(fā),但ASML依然對(duì)EUV光刻機(jī)的前景表示樂(lè)觀?! 〈饲坝邢⒅赋?,中芯國(guó)際(SMIC)今年已向ASML訂購(gòu)了一臺(tái)EUV光刻機(jī),預(yù)計(jì)明年交付,用于7nm節(jié)點(diǎn)。 同時(shí),傳統(tǒng)的沉浸式光刻機(jī)方面,沈波稱,今年下半年ASML已開始出貨家族最先進(jìn)的NXT:2000i,很快會(huì)在中國(guó)市場(chǎng)上也見到
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迫于美國(guó)政府壓力,光刻機(jī)巨頭荷蘭ASML被曝不再招收中國(guó)員工 ...
- 在高科技領(lǐng)域,美國(guó)這一年來(lái)加強(qiáng)了對(duì)中國(guó)人的防范,不只限于美國(guó)本土,就連歐洲公司也受到了美國(guó)政府的壓力,荷蘭ASML被曝禁止招收中國(guó)籍員工?! ≡诠饪虣C(jī)領(lǐng)域,荷蘭ASML公司幾乎壟斷了全球高端光刻機(jī)市場(chǎng),在EUV光刻機(jī)中更是獨(dú)一份,7nm及以后的工藝都要依賴EUV光刻機(jī)。在高科技領(lǐng)域,美國(guó)這一年來(lái)加強(qiáng)了對(duì)中國(guó)人的防范,不只限于美國(guó)本土,就連歐洲公司也受到了美國(guó)政府的壓力,荷蘭ASML被曝禁止招收中國(guó)籍員工?! ∪绻f(shuō)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)是制造工業(yè)的皇冠,那么光刻機(jī)可以說(shuō)是皇冠上的明珠,因?yàn)楣饪虣C(jī)是半導(dǎo)體制造中最關(guān)
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ASML出貨新光刻機(jī)NXT2000i:用于7nm/5nm DUV工藝
- 據(jù)外媒報(bào)道,光刻機(jī)霸主ASML(阿斯麥)已經(jīng)開始出貨新品Twinscan NXT:2000i DUV(NXT:2000i雙工件臺(tái)深紫外光刻機(jī)),可用于7nm和5nm節(jié)點(diǎn)。 NXT:2000i將是NXE:3400B EUV光刻機(jī)的有效補(bǔ)充,畢竟臺(tái)積電/GF的第一代7nm都是基于DUV工藝?! ⊥瑫r(shí),NXT:2000i也成為了ASML旗下套刻精度(overlay)最高的產(chǎn)品,達(dá)到了和3400B一樣的1.9nm(5nm要求至少2.4nm,7nm要求至少3.5nm)?! SML將于本季度末開始量產(chǎn)Twin
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華虹12寸晶圓廠裝備大陸最先進(jìn)沉浸式光刻機(jī):邁向14nm
- 中芯國(guó)際花了1.2億美元從荷蘭ASML(阿斯麥)買來(lái)一臺(tái)EUV極紫外光刻機(jī),未來(lái)可用于生產(chǎn)7nm工藝芯片,長(zhǎng)江存儲(chǔ)也迎來(lái)了自己的第一臺(tái)光刻機(jī),同樣來(lái)自ASML,不過(guò)是193nm沉浸式,用于產(chǎn)20-14nm工藝的3D NAND閃存晶圓,7200萬(wàn)美元一臺(tái)?! ?jù)集微網(wǎng)報(bào)道, 5月21日上午,在上海浦東新區(qū)康橋工業(yè)園南區(qū),華虹集團(tuán)旗下上海華力集成電路制造有限公司建設(shè)和營(yíng)運(yùn)的12英寸先進(jìn)生產(chǎn)線建設(shè)項(xiàng)目(“華虹六廠”)實(shí)現(xiàn)首臺(tái)工藝設(shè)備光刻機(jī)搬入?! ∵@臺(tái)光刻機(jī)的型號(hào)是NXT 1980Di,依然是荷蘭ASML提
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光刻機(jī)介紹
國(guó)外半導(dǎo)體設(shè)備
我公司擁有國(guó)外半導(dǎo)體設(shè)備,包括臺(tái)灣3S公司生產(chǎn)的光刻機(jī),涂膠臺(tái),
金絲球焊機(jī),電子束蒸發(fā)臺(tái)。
濺射臺(tái)及探針臺(tái)等各種設(shè)備,世界知名劃片機(jī)企業(yè)英國(guó)Loadpoint公司生產(chǎn)的6英寸--12英寸
精密劃片機(jī),300毫米清洗機(jī),。
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