北京爍科中科信多臺(tái)離子注入機(jī)順利交付

近日，北京爍科中科信電子裝備有限公司通過(guò)官方微信宣布，公司多臺(tái)離子注入機(jī)順利完成交付。

資料顯示，北京爍科中科信自成立之日起，就以攻克離子注入裝備關(guān)鍵技術(shù)瓶頸，支撐我國(guó)電子元器件制造工藝裝備自立自強(qiáng)為主責(zé)，以離子注入機(jī)裝備研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化為主業(yè)，全力保障我國(guó)產(chǎn)業(yè)鏈供應(yīng)鏈安全與穩(wěn)定，成功入選第五批國(guó)家級(jí)專(zhuān)精特新“小巨人”企業(yè)培育名單。

目前，北京爍科中科信中束流及大束流設(shè)備均已達(dá)成工藝指標(biāo)，且工藝水準(zhǔn)經(jīng)過(guò)了先進(jìn)集成電路產(chǎn)線驗(yàn)證，兩種設(shè)備產(chǎn)線晶圓制備累計(jì)超過(guò)2000萬(wàn)片。高能離子注入機(jī)作為剛上線不久的兆伏級(jí)設(shè)備同樣打通了28納米節(jié)點(diǎn)，且與同類(lèi)型設(shè)備相比，能量范圍更寬、注入均一性能更好。

編輯：芯智訊-林子