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ENTEGRIS 發(fā)布高純度氣體純化系統(tǒng)平臺(tái),產(chǎn)能已擴(kuò)展到亞洲

作者: 時(shí)間:2017-02-13 來(lái)源:電子產(chǎn)品世界 收藏

  Entegris, Inc.——一家為微電子行業(yè)提供特殊化學(xué)品和先進(jìn)材料處理解決方案的領(lǐng)導(dǎo)者——宣布引進(jìn)新的先進(jìn)氣體純化平臺(tái),以提高半導(dǎo)體和 LED 應(yīng)用的良率。新系列 GateKeeper? 氣體純化系統(tǒng) (GPS) 采用新的純化介質(zhì),可在各種流量下提供一流的氣體純度,且設(shè)備占用空間更少。隨著產(chǎn)能擴(kuò)充到了韓國(guó),現(xiàn)在Entegris 可同時(shí)在北美和亞洲生產(chǎn) GateKeeper GPS 系統(tǒng)。

本文引用地址:http://m.butianyuan.cn/article/201702/343908.htm

  Entegris 微污染控制部門(mén)高級(jí)副總裁 Clint Haris 表示:“我們的客戶(hù)面臨前所未有的污染控制挑戰(zhàn),如何高效地生產(chǎn)日益復(fù)雜的尖端設(shè)備成為一大難題。新的 Gatekeeper GPS系統(tǒng)系列為客戶(hù)提供先進(jìn)的解決方案,可在這種環(huán)境下實(shí)現(xiàn)良率最大化。配合這些新技術(shù)引進(jìn)的同時(shí),我們將繼續(xù)投資北美和亞洲生產(chǎn)設(shè)施,進(jìn)一步擴(kuò)展全球服務(wù)和生產(chǎn)能力?!?/p>

  先進(jìn)節(jié)點(diǎn)半導(dǎo)體工藝和 LED 生產(chǎn)要求需要更高純度以清除工藝氣體所夾帶的污染物,這些污染物會(huì)導(dǎo)致產(chǎn)品瑕疵。GateKeeper GPS系統(tǒng)系列可清除氣流中的各種污染物,使其降至萬(wàn)億分之一級(jí)別,并可通過(guò)配置來(lái)適應(yīng)各種流量。經(jīng)純化的氣體包括 CDA、N2、H2、用于 EUV 的 H2、Ar、NH3。此外,制造商正在尋找附屬?gòu)S房占地面積更小的機(jī)臺(tái)。更小的占地面積可讓客戶(hù)將寶貴的附屬?gòu)S房地面空間騰出,安裝其他所需機(jī)臺(tái)或額外系統(tǒng)來(lái)提高純化產(chǎn)能。

  - 更多 -

  氣體純化產(chǎn)品管理部門(mén)主管 Jordan Ruple 表示:“我們和客戶(hù)緊密合作,了解和滿足客戶(hù)的純化需求,清除新污染物,增強(qiáng)對(duì)已知污染物的敏感度。我們率先為該尺寸的系統(tǒng)提供這一純度級(jí)別——涵蓋各種氣體和流量,對(duì)此我們相當(dāng)自豪?!?/p>

  最新 GateKeeper 系統(tǒng)將于 2017 年 2 月 8-10 日在 SEMICON? Korea 展會(huì)上亮相。有關(guān)詳細(xì)信息,請(qǐng)參觀 D 展廳 5504 號(hào) Entegris 展位、聯(lián)系當(dāng)?shù)?nbsp;Entegris 代表或訪問(wèn)我們的網(wǎng)站。



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