ENTEGRIS 發(fā)布高純度氣體純化系統(tǒng)平臺，產(chǎn)能已擴(kuò)展到亞洲

　　Entegris, Inc.——一家為微電子行業(yè)提供特殊化學(xué)品和先進(jìn)材料處理解決方案的領(lǐng)導(dǎo)者——宣布引進(jìn)新的先進(jìn)氣體純化平臺，以提高半導(dǎo)體和 LED 應(yīng)用的晶圓良率。新系列 GateKeeper? 氣體純化系統(tǒng) (GPS) 采用新的純化介質(zhì)，可在各種流量下提供一流的氣體純度，且設(shè)備占用空間更少。隨著產(chǎn)能擴(kuò)充到了韓國，現(xiàn)在Entegris 可同時在北美和亞洲生產(chǎn) GateKeeper GPS 系統(tǒng)。

　　Entegris 微污染控制部門高級副總裁 Clint Haris 表示：“我們的客戶面臨前所未有的污染控制挑戰(zhàn)，如何高效地生產(chǎn)日益復(fù)雜的尖端設(shè)備成為一大難題。新的 Gatekeeper GPS系統(tǒng)系列為客戶提供先進(jìn)的解決方案，可在這種環(huán)境下實(shí)現(xiàn)良率最大化。配合這些新技術(shù)引進(jìn)的同時，我們將繼續(xù)投資北美和亞洲生產(chǎn)設(shè)施，進(jìn)一步擴(kuò)展全球服務(wù)和生產(chǎn)能力。”

　　先進(jìn)節(jié)點(diǎn)半導(dǎo)體工藝和 LED 生產(chǎn)要求需要更高純度以清除工藝氣體所夾帶的污染物，這些污染物會導(dǎo)致產(chǎn)品瑕疵。GateKeeper GPS系統(tǒng)系列可清除氣流中的各種污染物，使其降至萬億分之一級別，并可通過配置來適應(yīng)各種流量。經(jīng)純化的氣體包括 CDA、N2、H2、用于 EUV 的 H2、Ar、NH3。此外，制造商正在尋找附屬廠房占地面積更小的機(jī)臺。更小的占地面積可讓客戶將寶貴的附屬廠房地面空間騰出，安裝其他所需機(jī)臺或額外系統(tǒng)來提高純化產(chǎn)能。

　　- 更多 -

　　氣體純化產(chǎn)品管理部門主管 Jordan Ruple 表示：“我們和客戶緊密合作，了解和滿足客戶的純化需求，清除新污染物，增強(qiáng)對已知污染物的敏感度。我們率先為該尺寸的系統(tǒng)提供這一純度級別——涵蓋各種氣體和流量，對此我們相當(dāng)自豪?！?/p>

　　最新 GateKeeper 系統(tǒng)將于 2017 年 2 月 8-10 日在 SEMICON? Korea 展會上亮相。有關(guān)詳細(xì)信息，請參觀 D 展廳 5504 號 Entegris 展位、聯(lián)系當(dāng)?shù)?nbsp;Entegris 代表或訪問我們的網(wǎng)站。