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到10納米工藝,半導體特殊氣體純度比其他材料高1000倍以上

作者: 時間:2017-08-23 來源:EEFOCUS 收藏

  在新一輪半導體產(chǎn)業(yè)發(fā)展周期中,芯片制造得到了前所未有的重視程度。毫無疑問,這是一個正確的決策,但材料與設備等芯片制造上游,同樣需要重視。尤其是材料方面,無論是硅片還是制造所需的各種化學材料,國內(nèi)起步都比較晚,市場基本控制在國外廠商手里,國內(nèi)制造商的議價能力不高,每逢上游漲價,就面臨利潤被侵蝕的風險。

本文引用地址:http://m.butianyuan.cn/article/201708/363362.htm

  根據(jù)SEMI的數(shù)據(jù),全球電子氣體市場規(guī)模2014年已達35億美元,其中特殊氣體約占65%。博純材料董事會主席兼首席執(zhí)行官陳國富表示,半導體行業(yè)使用的高純電子特氣幾乎全部依賴進口。造成這一狀況的外因是國外公司不愿意向國內(nèi)轉(zhuǎn)移合成氣體技術(shù),也無意在中國設廠;內(nèi)因是本土氣體公司小作坊式生產(chǎn)狀況普遍,很難達到制造的要求。

  “半導體氣體生產(chǎn)的瓶頸很多,從原材料純度開始,到工藝、集成方法,以及封裝過程中對于雜質(zhì)的控制,都會影響到整個產(chǎn)品的質(zhì)量。”博純材料產(chǎn)品經(jīng)理施宏偉表示。目前,博純材料能生產(chǎn)鍺烷、砷烷、乙硼烷等技術(shù)含量最高的關鍵氣體,并已成功通過臺積電、東芝等多家電子氣體最終用戶測試和現(xiàn)場管理稽查,成為直接服務國外最終客戶的中國電子氣體品牌。這次與英特格(Entegris)合作,代工英特格在芯片制造工藝中的壟斷性專利產(chǎn)品(SDS),將進一步加強博純材料在半導體供應鏈中的地位。

  “走到節(jié)點,從顆粒和雜質(zhì)來說,半導體特殊氣體比其他任何專業(yè)都高1000倍以上。”英特格企業(yè)市場副總裁楊文革說道,“特殊氣體所需要的純度,相當于5000升水里面,不能有1滴水的雜質(zhì)。半導體特殊氣體的安全性的問題更重要,只要百萬分之三的濃度,就可以殺人,一瓶氣體,就可以把整個廈門市人口消滅。”

  那么,這樣高危險、高純度的氣體該如何存儲運輸呢?傳統(tǒng)方法是采用高壓鋼瓶,但高壓鋼瓶存在泄露風險,一旦出現(xiàn)泄露,砷烷、磷烷等高毒性氣體將將會造成極大的危害。

  英特格SDS(SafeDeliverySource,安全原料運輸)解決方案采用了負壓存儲,氣瓶壓力低于一個大氣壓或小于室壓,從根本上消除了高危氣體泄露的可能性。據(jù)楊文革介紹,SDS鋼瓶內(nèi)部放置碳基吸附劑,將特殊氣體全部吸附,使用時采用真空泵抽取。所以即使瓶口打開,危險性氣體也不會釋放出來。

  “全球只有一條生產(chǎn)線生產(chǎn)SDS鋼瓶,供應Entegris在美國、韓國與中國的三個工廠。”楊文革指出,全球半導體離子注入氣體市場80%以上由SDS方式存儲運輸。

  通過與博純材料合作,英特格成為全球首家在中國本地化生產(chǎn)特殊氣體產(chǎn)品的國際材料公司,英特格將繼續(xù)加強中國業(yè)務,為中國日益增長的半導體市場提供支持。

  在雙方合資新化學工廠的開幕式上,英特格首席運營官ToddEdlund也表示:“此次合作是我們持續(xù)計劃的一部分,通過本地化生產(chǎn)和技術(shù)支持更好地服務于中國客戶,滿足他們對于制造和工藝開發(fā)的需求”。“我們與博純材料合作,為我們的特殊化學品在中國生產(chǎn)建造出了世界一流的工廠。”



關鍵詞: 10納米 晶圓

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